一种靶材打磨机构的粉末回收装置制造方法及图纸

一种靶材打磨机构的粉末回收装置，其特征在于靶材轴、升降装置杆、打磨板、回收罩、金属滤网板、吹风机、进风管、回收盒、粗弹簧、支撑杆、电动推杆，长伸缩杆、短伸缩杆、伸缩弹簧，实现靶材打磨过程中产生的粉末进行回收再利用，环保节约；通过安装吹风机和进风管可以更好地将打磨板上掉落的粉尘吹到回收罩的右壁上，随着重力和回收罩抖动因素都回收到盒中，避免打磨板上粉尘积累；通过伸缩杆、电动推杆和伸缩弹簧实现回收罩的震动，可以更好地把回收罩上的粉尘抖落下来，落入金属滤网板上，再回收到回收盒内。回收盒内。回收盒内。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材打磨机构的粉末回收装置


[0001]本技术涉及靶材制造设备
，特别涉及一种靶材打磨机构的粉末回收装置。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，
[0003]目前靶材打磨制造过程中，在靶材轴旋转打磨时两侧会伴随溅射粉末产生的，长时间会造成工厂设备环境的污染，并且有些金属材质的粉末也有回收再利用的价值，避免资源浪费。

技术实现思路

[0004]根据以上存在的技术问题，本技术提供一种靶材打磨机构的粉末回收装置，其特征在于靶材轴、升降装置杆、打磨板、回收罩、金属滤网板、吹风机、进风管、回收盒、粗弹簧、支撑杆、电动推杆，长伸缩弹簧、短伸缩弹簧、底板，所靶材轴安装在升降装置杆的的上端，所述升降装置杆下端固定连接打磨板，所述回收罩的侧横截面积呈梯形状，所述金属滤网板固定连接在防护罩低端，所述回收盒由内盒和外盒组成，所述内盒位于外盒内部，所述内盒与外盒滑动连接，所述内盒上设有固定快，所述吹风机固定连接在外盒上，所述进风管一端套接吹风机，所述进风管一端伸入到防护罩内部，所述外盒通过粗弹簧固定与金属滤网板安装，所述外盒顶面两端设有金属滤网条，所述粗弹簧一端焊接在金属滤网板，粗弹簧一端焊接在金属滤网条上，所述支撑杆呈“L”形状，所述支撑杆一端固定连接外盒的后侧，所述电动推杆固定连接在支撑杆上，所述电动推杆前面粘接橡胶垫，所述底板固定在支撑杆上，所述短伸缩弹簧固定连接在回收罩的上端靠近罩口处，所述短伸缩弹簧另一端固定连接在底板上，所述长伸缩弹簧固定连接在回收罩下端处，所述长伸缩弹簧另一端固定连接在底板上。
[0005]本技术的有益效果：
[0006]实现靶材打磨过程中产生的粉末进行回收再利用，环保节约；
[0007]通过安装吹风机和进风管可以更好地将打磨板上掉落的粉尘吹到回收罩的右壁上，随着重力和回收罩抖动因素都回收到盒中，避免打磨板上粉尘积累；
[0008]通过电动推杆、粗弹簧、伸缩弹簧实现回收罩的震动，可以更好地把回收罩上的粉末抖落下来，回收罩的震动也会带动金属滤网板震动，溅射粉末更好地回收到回收盒内。
附图说明
[0009]图1为本技术靶材打磨机构的粉末回收装置的整体结构示意图；
[0010]图2为本技术靶材打磨机构的粉末回收装置的整体结构侧视图；
[0011]图3为本技术靶材打磨机构的粉末回收装置的局部结构细节图；
[0012]图4为本技术靶材打磨机构的粉末回收装置的A放大图；
[0013]如图：1.回收罩、11.吹风机、12.进风管、13.粗弹簧、14.金属滤网板2.靶材轴、21.升降装置杆、22.打磨板、3.外盒、31.固定块、32.内盒、33.金属滤网条、4.支撑杆、41.电动推杆、42.底板、43.短伸缩弹簧、44.长伸缩弹簧、45.橡胶垫。
具体实施方式
[0014]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0017]实施例1
[0018]一种靶材打磨机构的粉末回收装置，其特征在于靶材轴2、升降装置杆21、打磨板22、回收罩1、金属滤网板14、吹风机11、进风管12、回收盒、粗弹簧13、支撑杆4、电动推杆41，长伸缩弹簧44、短伸缩弹簧43、底板42，所靶材轴2安装在升降装置杆21的的上端，所述升降装置杆21下端固定连接打磨板22，所述回收罩1的侧横截面积呈梯形状，所述金属滤网板24固定连接在防护罩1低端，所述回收盒由内盒3和外盒32组成，所述内盒32位于外盒3内部，所述内盒3与外盒32滑动连接，所述内盒32上设有固定快31，所述吹风机11固定连接在外盒3上，所述进风管12一端套接吹风机11，所述进风管12一端伸入到防护罩内部，所述外盒3通过粗弹簧13固定与金属滤网板14安装，所述外盒3顶面两端设有金属滤网条33，所述粗弹簧13一端焊接在金属滤网板14，粗弹簧13一端焊接在金属滤网条33上，所述支撑杆4呈“L”形状，所述支撑杆4一端固定连接外盒3的后侧，所述电动推杆41固定连接在支撑杆4上，所述电动推杆41前面粘接橡胶垫45，所述底板42固定在支撑杆4上，所述短伸缩弹簧43固定连接在回收罩1的上端靠近罩口处，所述短伸缩弹簧43另一端固定连接在底板上，所述长伸缩弹簧44固定连接在回收罩1下端处，所述长伸缩弹簧44另一端固定连接在底板42上。
[0019]实施例2
[0020]当使用本技术时，这个回收罩1可以从打磨板的下面穿过，将靶材打磨机构包围在内部，当靶材轴2在升降装置杆21上向下移动，靶材轴2旋转会在打磨板22上进行打磨，打磨时溅射的粉末都会溅射到回收罩1上，由于重力因素会向下滑动，掉落到内盒32内，吹风机11连接电源，进风管12会把打磨板上的粉末吹下来，电动推杆41连接电源后，会向前移动顶撞到回收罩1，由于橡胶垫46会有一些缓冲减小力，回收罩1下端的粗弹簧14会向左侧移动，弹簧又会把回收罩1向右侧移动，然后短伸缩弹簧43和长伸缩弹簧44也会向右侧伸展，电动推杆41收回后，短伸缩弹簧43和长伸缩弹簧44会伸缩，在电动推杆的反复推动下，回收罩1会在粗弹簧14和伸缩弹簧的作用下震动，会使回收罩1，金属滤网版14上的粉末更容易掉落，当内盒32里面积累很多粉末后，人工拉动固定块31，拉出内盒32，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材打磨机构的粉末回收装置，其特征在于靶材轴、升降装置杆、打磨板、回收罩、金属滤网板、吹风机、进风管、回收盒、粗弹簧、支撑杆、电动推杆，长伸缩弹簧、短伸缩弹簧、底板，所靶材轴安装在升降装置杆的上端，所述升降装置杆下端固定连接打磨板，所述回收罩的侧横截面积呈梯形状，所述金属滤网板固定连接在防护罩低端，所述回收盒由内盒和外盒组成，所述内盒位于外盒内部，所述内盒与外盒滑动连接，所述内盒上设有固定快，所述吹风机固定连接在外盒上，所述进风管一端套接吹风机，所述进风管一端伸入到防护罩内部，所述外盒通过粗弹簧固定与金属滤网板安装，所述外盒顶面两端设有金属滤网条...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓龙，
申请(专利权)人：天津市勤伟科技有限公司，
类型：新型
国别省市：