电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法制造方法及图纸

电阻率值调整装置具备：中空纤维膜组件；液体供给管；液体排出管；气体供给管；气体排出管；旁通管，其以绕过中空纤维膜组件的方式与液体供给管以及液体排出管连通；以及第一止回阀，其设置于旁通管，并且流路的开度根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法


[0001]本专利技术涉及一种调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法。

技术介绍

[0002]在半导体或液晶的制造工序中，使用超纯水来清洗基板。在该情况下，若超纯水的电阻率值高，则会产生静电。由此，发生绝缘破坏或者微粒子再附着，对产品成品率显著地造成不良影响。为了解决这样的问题，提出了使用疏水性的中空纤维膜组件的方法。该方法使用中空纤维膜组件使二氧化碳或氨气等气体溶解于超纯水中。于是，通过解离平衡产生离子，通过该产生的离子，从而超纯水的电阻率值下降。
[0003]此外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动剧烈。因此，在专利文献1中，提出了即使流量变动也使电阻率值稳定的技术。在专利文献1所记载的技术中，设置生成小流量的气体附加超纯水的中空纤维膜组件、和使大流量的超纯水通过的旁通管。然后，将所生成的气体附加超纯水和通过了旁通管的超纯水合流。由此，能够容易地调整超纯水的电阻率值。
[0004]但是，在专利文献1所记载的技术中，若超纯水成为低流量，则有时相对于绕过中空纤维膜组件的超纯水的流量，向中空纤维膜组件供给的超纯水的流量降低，从而超纯水的电阻率值上升。因此，在专利文献2的技术中，提出了设置多个旁通管，在一个或多个旁通管设置断流阀的技术。在专利文献2所记载的技术中，若超纯水的流量下降，则关闭一部分或全部的断流阀。由此，即使超纯水成为低流量，也能够抑制相对于绕过中空纤维膜组件的超纯水的流量而向中空纤维膜组件供给的超纯水的流量下降，能够抑制超纯水的电阻率值上升。在先技术文献专利文献
[0005]专利文献1：日本特许第3951385号公报专利文献2：日本特开2012
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223725号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的课题
[0006]但是，在专利文献2所记载的技术中，由于需要进行根据超纯水的流量将安装于多个旁通管的断流阀开闭的控制，因此存在装置复杂、成本增高这样的问题。此外，在专利文献2所记载的技术中，还存在若所供给的流量变化，则伴随断流阀的开闭而旁通管的压力损失急剧变化这样的问题。
[0007]因此，本专利技术的目的在于，提供一种通过简易的结构，即使所供给的液体成为低流量也能够抑制液体的电阻率值上升的电阻率值调整装置。用于解决课题的手段
[0008]本专利技术的一个方面所涉及的电阻率值调整装置具备：中空纤维膜组件，其通过中空纤维膜而划分为被供给调整电阻率值的液体的液相侧区域和被供给调整电阻率值的调整气体的气相侧区域；液体供给管，其为了向液相侧区域供给液体而与液相侧区域连通；液体排出管，其为了从液相侧区域排出液体而与液相侧区域连通；气体供给管，其为了向气相侧区域供给调整气体而与气相侧区域连通；气体排出管，其为了从气相侧区域排出调整气体而与气相侧区域连通；旁通管，其以绕过中空纤维膜组件的方式与液体供给管以及液体排出管连通；以及第一止回阀，其设置于旁通管，并且流路的开度根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。
[0009]在该电阻率值调整装置中，在旁通管设置有流路的开度根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变化的第一止回阀。当所供给的液体的流量变小时，液体供给管侧与液体排出管侧的差压变小，因此第一止回阀的开度变小。当第一止回阀的开度变小时，在旁通管中流动的液体的压力损失变大，因此能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量相对于绕过中空纤维膜组件的液体的流量下降。由此，通过比专利文献2所记载的技术简易的结构，即使所供给的液体成为低流量，也能够抑制液体的电阻率值上升。而且，由于第一止回阀的开度基于液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变化，因此即使所供给的流量变化，与专利文献2所记载的技术相比，也能够抑制旁通管的压力损失急剧变化。
[0010]作为一个实施方式，也可以构成为，在第一止回阀中，当液体供给管侧与液体排出管侧的差压成为第一工作开始压以下时，第一止回阀的流路开始变窄。在所供给的液体的流量大的情况下，不会产生向中空纤维膜组件供给的液体的流量相对于绕过中空纤维膜组件的液体的流量下降的问题。此外，在所供给的液体的流量大的情况下，第一止回阀的液体供给管侧与液体排出管侧的差压大。在该电阻率值调整装置中，当液体供给管侧与液体排出管侧的差压成为第一工作开始压以下时，第一止回阀的流路开始变窄，因此能够有效地抑制伴随所供给的液体的流量下降的液体的电阻率值的上升。
[0011]此外，作为一个实施方式，也可以构成为，第一止回阀具有：主体，其具有朝向液体排出管侧的阀座；阀芯，其配置于阀座的液体排出管侧；以及弹簧，其将阀芯向阀座侧按压。在该电阻率值调整装置中，第一止回阀具有：主体，其具有朝向液体排出管侧的阀座；阀芯，其配置于阀座的液体排出管侧；以及弹簧，其将阀芯向阀座侧按压。因此，根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压，弹簧的伸缩的程度变化，由此阀座与阀芯之间的间隙的大小变化。由此，能够根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压，适当地改变流路的开度。
[0012]此外，作为一个实施方式，也可以构成为，旁通管具有相互并联地配置的第一旁通管以及第二旁通管，在第一旁通管配置有第一止回阀，在第二旁通管未配置第一止回阀。在该电阻率值调整装置中，由于在第一旁通管配置有第一止回阀，因此即使所供给的液体成为低流量，也能够抑制液体的电阻率值上升。另一方面，由于在第二旁通管未配置第一止回阀，因此能够抑制在第一止回阀的流路变窄时在旁通管中流动的液体的压力损失变大。
[0013]此外，作为一个实施方式，也可以构成为，还具备第二止回阀，该第二止回阀设置于液体排出管的、位于旁通管与液体排出管连接的下游侧连接部与中空纤维膜组件之间的第一上游侧液体排出管部，并且流路的开度根据中空纤维膜组件侧与中空纤维膜组件的相反侧的差压而变化。在该电阻率值调整装置中，在第一上游侧液体排出管部设置有流路的开度根据中空纤维膜组件侧与中空纤维膜组件的相反侧的差压而变化的第二止回阀。因
此，通过调整第一止回阀以及第二止回阀的设定，能够调整向中空纤维膜组件供给的液体与绕过中空纤维膜组件的液体的分配比率。
[0014]此外，作为一个实施方式，也可以构成为，第一止回阀的流路关闭的第一开启压与第二止回阀的流路关闭的第二开启压相同。在该电阻率值调整装置中，由于第一止回阀的流路关闭的第一开启压与第二止回阀的流路关闭的第二开启压相同，因此能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体与绕过中空纤维膜组件的液体的分配比率的偏颇。
[0015]此外，作为一个实施方式，也可以构成为，在第二止回阀中，当中空纤维膜组件侧与中空纤维膜组件的相反侧的差压成为第二工作开始压以下时，第二止回阀的流路开始变窄。在所供给的液体的流量大的情况下，不会产生向中空纤维膜组件供给的液体的流量相对于绕过中空纤维膜组件的液体的流量下降的问题。此外，在所供给的液体的流量大的情况下，第二止回阀的中空纤维膜组件侧与中空纤维膜组件的相反侧的差压大。在该电阻率值调整装置中，当中空纤维膜组件侧与中空纤维膜组件的相反侧的差压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电阻率值调整装置，其具备：中空纤维膜组件，其通过中空纤维膜而划分为被供给调整电阻率值的液体的液相侧区域和被供给调整电阻率值的调整气体的气相侧区域；液体供给管，其为了向所述液相侧区域供给所述液体而与所述液相侧区域连通；液体排出管，其为了从所述液相侧区域排出所述液体而与所述液相侧区域连通；气体供给管，其为了向所述气相侧区域供给所述调整气体而与所述气相侧区域连通；气体排出管，其为了从所述气相侧区域排出所述调整气体而与所述气相侧区域连通；旁通管，其以绕过所述中空纤维膜组件的方式与所述液体供给管以及所述液体排出管连通；以及第一止回阀，其设置于所述旁通管，并且流路的开度根据所述液体供给管侧与所述液体排出管侧的差压而变化。2.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，在所述第一止回阀中，当所述液体供给管侧与所述液体排出管侧的差压成为第一工作开始压以下时，所述第一止回阀的所述流路开始变窄。3.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，所述第一止回阀具有：主体，其具有朝向所述液体排出管侧的阀座；阀芯，其配置于所述阀座的所述液体排出管侧；以及弹簧，其将所述阀芯向所述阀座侧按压。4.根据权利要求1至3中任一项所述的电阻率值调整装置，其中，所述旁通管具有相互并联地配置的第一旁通管以及第二旁通管，在所述第一旁通管配置有所述第一止回阀，在所述第二旁通管未配置所述第一止回...

【专利技术属性】
技术研发人员：安西大二郎，羽田尚树，大井和美，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：