一种晶棒竖直放置的检测台制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶棒竖直放置的检测台，包括检测台本体、旋转机构、升降机构和扶棒机构，所述检测台本体包括检测台面，所述检测台面下方设有支架，所述旋转机构设置在所述检测台面上，所述晶棒可竖直放置在所述旋转机构上进行轴向旋转，所述升降机构设置在所述检测台面下方与所述支架连接，所述升降机构可上下移动，所述扶棒机构设置在所述升降机构上，所述扶棒机构贯穿于所述检测台面设置在所述晶棒四周，所述晶棒轴向旋转时，所述升降机构可带动所述扶棒机构上移，使所述扶棒机构与所述晶棒接触，防止所述晶棒倾倒。本实用新型专利技术的有益效果是有效的避免了晶棒竖直放置时易倾倒的问题，增强了竖直晶棒的稳固性，且保证了晶棒表面的完整性。棒表面的完整性。棒表面的完整性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒竖直放置的检测台


[0001]本技术属于晶棒检测台
，尤其是涉及一种晶棒竖直放置的检测台。

技术介绍

[0002]晶棒是由单晶炉直拉单晶的方式生成的圆柱形棒体，为了保证后面工序的生产质量，需要对晶棒进行一系列的检测。在检测过程中，为了方便检测，有时需要将晶棒竖直放置。由于晶棒的长度较长，竖直放置时尤其是旋转时很容易倾倒，为了防止晶棒倾倒影响检测，在现有技术中，通常在晶棒的一个端面设置类似机床的三爪卡盘的夹具，将晶棒的一个端面夹住，但由于夹具与晶棒端面刚性接触，应力过于集中，很容易造成晶棒崩边，损坏晶棒。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种晶棒竖直放置的检测台，有效的解决了晶棒竖直放置时，表面容易被夹具损坏的问题，克服了现有技术的不足。
[0004]本技术采用的技术方案是：一种晶棒竖直放置的检测台，包括：
[0005]检测台本体，包括检测台面，所述检测台面下方设有支架；
[0006]旋转机构，设置在所述检测台面上，所述晶棒可竖直放置在所述旋转机构上进行轴向旋转；
[0007]升降机构，设置在所述检测台面下方与所述支架连接，所述升降机构可上下移动；
[0008]扶棒机构，设置在所述升降机构上，所述扶棒机构贯穿于所述检测台面设置在所述晶棒四周，所述晶棒轴向旋转时，所述升降机构可带动所述扶棒机构上移，使扶棒机构与所述晶棒接触，防止所述晶棒倾倒。
[0009]进一步，所述扶棒结构包括扶棒本体，所述扶棒本体沿所述晶棒周向均布，所述扶棒本体底部与所述升降机构连接，所述升降机构带动所述扶棒本体穿过所述检测台面上下移动。
[0010]进一步，所述扶棒本体内部设有滚轮，所述滚轮可伸出所述扶棒本体，与所述晶棒接触。
[0011]进一步，所述滚轮上设有连接杆，所述连接杆设置在所述扶棒本体内部，所述连接杆一端设有所述滚轮，另外一端设有驱动装置，所述连接杆设有中心轴，所述中心轴与所述扶棒本体内部连接，所述驱动装置可带动所述连接杆围绕所述中心轴转动，带动所述滚轮伸出所述扶棒本体，与所述晶棒接触。
[0012]进一步，所述驱动装置设置在所述扶棒本体内部，包括驱动电机和内部丝杠，所述连接杆远离所述滚轮的一端与所述内部丝杠的移动滑块连接，所述驱动电机带动所述内部丝杠的螺杆转动，所述内部丝杠的移动滑块向上移动，从而驱动所述连接杆转动。
[0013]进一步，所述旋转机构包括旋转台，所述旋转台下部设有旋转底座，所述旋转底座设置在所述检测台上方，所述旋转底座下方设有旋转电机，用于带动所述旋转台转动。
[0014]进一步，所述升降机构包括升降台和丝杠，所述丝杠的螺杆一端与所述检测台面连接，另外一端与所述支架底部连接且设有升降电机，所述升降台穿过所述丝杠的螺杆，与所述丝杠的移动螺母连接，所述升降台上设有所述扶棒机构，所述升降电机驱动所述丝杠的螺杆旋转，移动螺母带动所述升降台和扶棒机构上下移动。
[0015]进一步，所述升降台上设有导向轴，所述导向轴贯穿所述升降台，一端与所述检测台面连接，另外一端与所述支架底部连接。
[0016]进一步，所述导向轴上设有滑套，所述滑套套设在所述导向轴外部，与所述导向轴间隙配合，所述滑套与所述升降台连接，所述升降台上下移动时可带动所述滑套沿所述导向轴上下移动。
[0017]进一步，所述旋转机构中部设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端贯穿于所述旋转机构和检测台面，所述伸缩杆的固定端与所述支架底部连接，所述伸缩杆可在所述旋转机构上部伸长或缩短
[0018]本技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，有效的避免了晶棒竖直放置时易倾倒的问题，增强了竖直晶棒的稳固性，且保证了晶棒表面的完整性。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台的整体结构示意图。
[0020]图2是本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台的正视图。
[0021]图3是本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台的右视图。
[0022]图4是本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台的后视图。
[0023]图5是本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台的俯视图。
[0024]图6是本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台扶棒机构去掉外部扶棒本体的结构示意图。
[0025]图中：
[0026]10、检测台本体
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11、检测台面
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
12、支架
[0027]20、旋转机构
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
21、旋转台
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
22、旋转底座
[0028]23、旋转电机
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
24、电缸
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
25、伸缩杆
[0029]30、升降机构
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
31、升降台
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
32、丝杠
[0030]33、升降电机
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
34、减速器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
35、带轮
[0031]36、拖链
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
37、导向轴
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
38、底板
[0032]39、滑套
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
40、扶棒机构
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
41、扶棒本体
[0033]411、导套
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
412、支座
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
42、滚轮
[0034]43、连接杆
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
44、限位杆
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
45、内部丝杠
[0035]46、移动滑块
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
47、驱动电机
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
48、联轴器
[0036]49、滑动导轨
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
50、晶棒
具体实施方式
[0037]本技术实施例提供了一种晶棒竖直放置的检测台，下面结合附图对本技术的实施例做出说明。
[0038]如图1
‑
6所示，本技术实施例一种晶棒竖直放置的检测台，包括检测台本体10，旋转机构20，升降机构30和扶棒机构40，检测台用于放置待测晶棒50，检测台包括检测台面11，检测台面11下方设有用于支撑检测台面11的支架12。旋转机构20设置在检测台面11上方，晶棒50可竖直放置在旋转机构20上，晶棒50的端面与旋转机构20上方接触，旋转机构20旋转时可带动晶棒50轴向旋转。升降机构30设置在检测台面11下方与支架12连接，升降机构30可上下移动。扶棒机构40，设置在升降机构30上，扶棒机构4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒竖直放置的检测台，其特征在于，包括：检测台本体，包括检测台面，所述检测台面下方设有支架；旋转机构，设置在所述检测台面上，所述晶棒可竖直放置在所述旋转机构上进行轴向旋转；升降机构，设置在所述检测台面下方与所述支架连接，所述升降机构可上下移动；扶棒机构，设置在所述升降机构上，所述扶棒机构贯穿于所述检测台面设置在所述晶棒四周，所述晶棒轴向旋转时，所述升降机构可带动所述扶棒机构上移，使所述扶棒机构与所述晶棒接触。2.根据权利要求1所述的一种晶棒竖直放置的检测台，其特征在于：所述扶棒结构包括扶棒本体，所述扶棒本体沿所述晶棒周向均布，所述扶棒本体底部与所述升降机构连接，所述升降机构带动所述扶棒本体穿过所述检测台面上下移动。3.根据权利要求2所述的一种晶棒竖直放置的检测台，其特征在于：所述扶棒本体内部设有滚轮，所述滚轮可伸出所述扶棒本体，与所述晶棒接触。4.根据权利要求3所述的一种晶棒竖直放置的检测台，其特征在于：所述滚轮上设有连接杆，所述连接杆设置在所述扶棒本体内部，所述连接杆一端设有所述滚轮，另外一端设有驱动装置，所述连接杆设有中心轴，所述中心轴与所述扶棒本体内部连接，所述驱动装置可带动所述连接杆围绕所述中心轴转动，带动所述滚轮伸出所述扶棒本体，与所述晶棒接触。5.根据权利要求4所述的一种晶棒竖直放置的检测台，其特征在于：所述驱动装置设置在所述扶棒本体内部，包括驱动电机和内部丝杠，所述连接杆远离所述滚轮的一端与所述内部丝杠的移动滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，王德智，耿名强，任宇晨，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：