一种高效加热的控制箱制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种高效加热的控制箱，包括加热座以及多个收纳盒；所述收纳盒内设有收纳腔；所述收纳腔内设有电路板；所述加热座内设有加热腔；所述加热座设有加热件；所述收纳盒的顶部设有与收纳腔连通的进气口；所述加热座的底部设有多个与加热腔连通的出气槽；所述进气口与出气槽连通。本实用新型专利技术通过将每个电路板分别放置在每个收纳盒中，加热件将热风吹入加热腔中，加热腔的热风通过多个出气槽分别输送至各个收纳盒的进气口中，从而使得热风进入各个收纳盒的收纳腔中对电路板进行加热，能够有效地减少热风流向无效区，并且将多个电路板充分分隔开，能够对每个电路板进行充分地加热干燥，大大地提高了加热效率。提高了加热效率。提高了加热效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效加热的控制箱


[0001]本技术涉及晶圆测试
，具体涉及一种高效加热的控制箱。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]在对晶圆进行检测时，需要用到芯片测试设备，如专利号为CN202123232740.2的中国专利公开了一种芯片测试设备，通过测试机构的探针对晶圆进行测试，为了防止空气中的水份对测试机构内的电路板造成损坏，需要在测试机构的控制箱设置吹热风机构，而由于电路板的数量较多，故控制箱的体积较大，并且电路板的间隔较小，这就导致了吹热风的加热干燥效果不佳。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种高效加热的控制箱，能够有效地提高加热效率。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案实现：一种高效加热的控制箱，包括加热座以及多个收纳盒；所述收纳盒内设有收纳腔；所述收纳腔内设有电路板；所述收纳盒设于加热座的底部；所述加热座内设有加热腔；所述加热座设有与加热腔连通的加热件；
[0006]所述收纳盒的顶部设有与收纳腔连通的进气口；所述加热座的底部设有多个与加热腔连通的出气槽；所述进气口与出气槽连通。
[0007]本技术进一步设置为，所述加热件为加热风扇；所述加热风扇设于加热座的顶部；所述加热风扇与加热座可拆卸连接。
[0008]本技术进一步设置为，所述收纳盒与加热座可拆卸连接。
[0009]本技术进一步设置为，所述高效加热的控制箱还包括连接块；所述连接块的一端与加热座的侧面可拆卸连接；所述连接块的另一端与收纳盒的侧面可拆卸连接。
[0010]本技术进一步设置为，所述连接块设有固定孔；所述加热座的侧面设有与固定孔配合的第一螺孔；所述收纳盒的侧面设有与固定孔配合的第二螺孔。
[0011]本技术进一步设置为，所述高效加热的加热座包括顶板以及与顶板可拆卸连接的底板；所述加热腔设于顶板与底板之间；所述出气槽设于底板的底部。
[0012]本技术进一步设置为，所述收纳盒的顶部设有多个进气口；所述进气口呈蜂窝状分布。
[0013]本技术进一步设置为，所述高效加热的控制箱还包括与加热座连接的升降座以及用于驱动升降座升降的升降机构。
[0014]本技术进一步设置为，所述收纳盒的材料为不锈钢。
[0015]本技术进一步设置为，所述高效加热的控制箱还包括与出气槽可拆卸连接的
堵头。
[0016]本技术的有益效果：本技术通过将每个电路板分别放置在每个收纳盒中，加热件将热风吹入加热腔中，加热腔的热风通过多个出气槽分别输送至各个收纳盒的进气口中，从而使得热风进入各个收纳盒的收纳腔中对电路板进行加热，能够有效地减少热风流向无效区，并且将多个电路板充分分隔开，能够对每个电路板进行充分地加热干燥，大大地提高了加热效率。
附图说明
[0017]利用附图对技术作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本技术的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[0018]图1是本技术的结构示意图；
[0019]图2是本技术隐藏升降座以及升降机构后的结构示意图；
[0020]图3是本技术隐藏升降座以及升降机构后的截面图；
[0021]图4是本技术加热座的结构示意图；
[0022]图5是本技术收纳盒的结构示意图；
[0023]其中：1、加热座；11、加热腔；2、收纳盒；21、收纳腔；22、电路板；23、进气口；3、加热件；4、连接块；41、第一螺孔；42、第二螺孔；43、固定孔；51、顶板；52、底板；53、出气槽；6、升降座；7、升降机构；8、堵头。
具体实施方式
[0024]结合以下实施例对本技术作进一步描述。
[0025]由图1至图5可知，本实施例所述的一种高效加热的控制箱，包括加热座1以及多个收纳盒2；所述收纳盒2内设有收纳腔21；所述收纳腔21内设有电路板22；所述收纳盒2设于加热座1的底部；所述加热座1内设有加热腔11；所述加热座1设有与加热腔11连通的加热件3；
[0026]所述收纳盒2的顶部设有与收纳腔21连通的进气口23；所述加热座1的底部设有多个与加热腔11连通的出气槽53；所述进气口23与出气槽53连通。
[0027]具体地，本实施例所述的高效加热的控制箱，通过将每个电路板22分别放置在每个收纳盒2中，在对电路板22进行加热干燥的时候，通过启动加热件3，加热件3将热风吹入加热腔11中，加热腔11的热风通过多个出气槽53分别输送至各个收纳盒2的进气口23中，从而使得热风进入各个收纳盒2的收纳腔21中对电路板22进行加热，能够有效地减少热风流向无效区，并且将多个电路板22充分分隔开，能够对每个电路板22进行充分地加热干燥，大大地提高了加热效率。
[0028]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述加热件3为加热风扇；所述加热风扇设于加热座1的顶部；所述加热风扇与加热座1可拆卸连接。通过上述设置能够有效地对电路板22进行加热干燥，并且能够节省空间。
[0029]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述收纳盒2与加热座1可拆卸连接。通过上述设置，当电路板22损坏的时候，能够对整个收纳盒2进行拆卸，便于用户进行拆装。
[0030]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述高效加热的控制箱还包括连接块4；所述连接块4的一端与加热座1的侧面可拆卸连接；所述连接块4的另一端与收纳盒2的侧面可拆卸连接。通过上述设置使得收纳盒2与加热座1连接稳固。
[0031]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述连接块4设有固定孔43；所述加热座1的侧面设有与固定孔43配合的第一螺孔41；所述收纳盒2的侧面设有与固定孔43配合的第二螺孔42。通过上述设置便于用户对收纳盒2与加热座1进行拆装。
[0032]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述高效加热的加热座1包括顶板51以及与顶板51可拆卸连接的底板52；所述加热腔11设于顶板51与底板52之间；所述出气槽53设于底板52的底部。通过上述设置，便于用户根据收纳盒2的大小以及收纳盒2的数量更换不同的底板52，从而带有不同的出气槽53，适配不同的收纳盒2。
[0033]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述收纳盒2的顶部设有多个进气口23；所述进气口23呈蜂窝状分布。通过上述设置使得收纳盒2具有足够的强度并且使得热风有效地进入收纳盒2的收纳腔21。
[0034]本实施例所述的一种高效加热的控制箱，所述高效加热的控制箱还包括与加热座1连接的升降座6以及用于驱动升降座6升降的升降机构7。通过上述设置便于加热座1进行升降。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效加热的控制箱，其特征在于：包括加热座(1)以及多个收纳盒(2)；所述收纳盒(2)内设有收纳腔(21)；所述收纳腔(21)内设有电路板(22)；所述收纳盒(2)设于加热座(1)的底部；所述加热座(1)内设有加热腔(11)；所述加热座(1)设有与加热腔(11)连通的加热件(3)；所述收纳盒(2)的顶部设有与收纳腔(21)连通的进气口(23)；所述加热座(1)的底部设有多个与加热腔(11)连通的出气槽(53)；所述进气口(23)与出气槽(53)连通。2.根据权利要求1所述的一种高效加热的控制箱，其特征在于：所述加热件(3)为加热风扇；所述加热风扇设于加热座(1)的顶部；所述加热风扇与加热座(1)可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的一种高效加热的控制箱，其特征在于：所述收纳盒(2)与加热座(1)可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的一种高效加热的控制箱，其特征在于：所述高效加热的控制箱还包括连接块(4)；所述连接块(4)的一端与加热座(1)的侧面可拆卸连接；所述连接块(4)的另一端与收纳盒(2)的侧面可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的一种高效...

【专利技术属性】
技术研发人员：令龙军，钟国华，周军，李雄，廖大军，
申请(专利权)人：纳美半导体设备东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：