一种晶圆甩干设备制造技术

本实用新型专利技术属于半导体晶片制造技术领域，具体涉及一种晶圆甩干设备，包括箱体、设备门、第一感应器、第二感应器、电机、传动层、工作层和送风夹层，所述箱体外壁设置有暖风机、控制器，所述第一感应器和第二感应器能检测置物篮与设备门状态，第一感应器、第二感应器、暖风机、电机均与控制器相连，从而实现甩干设备自启动，其目的在于提高晶圆甩干效率、降低成本以及降低人为操作的触电风险。以及降低人为操作的触电风险。以及降低人为操作的触电风险。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆甩干设备


[0001]本技术属于半导体晶片制造
，具体涉及一种晶圆甩干设备。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，半导体行业也进入了蓬勃发展的阶段，而在半导体领域中，晶圆在生产工序中所遗留的残留物要进行清洗去除，在清洗后需对晶圆进行甩干处理。
[0003]从结构上而言，现有晶圆甩干设备的类型主要是滚筒式甩干设备或者单箱式甩干设备，少数多腔室晶圆甩干设备均是在二者的结构基础上进行拼合、重复，本质上仍是设备与晶圆的一一对应关系，存在高成本、低效率、难制造的问题。
[0004]从工作原理而言，现有晶圆甩干设备中滚筒式甩干设备需将晶圆放置在滚筒内，通过齿轮传动、链传动或带传动的方式共同作用，进而带动滚筒旋转实现离心甩干，箱式甩干设备则是通过齿轮传动的方式旋转晶圆，达到离心甩干的目的。二者均需操作人员手动放置晶圆并开启设备，由于清洗后的晶圆通常带有大量水渍，操作人员在执行上述步骤时，存在较高的触电风险。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的是提供一种晶圆甩干设备，用来缩短晶圆甩干时间、实现设备感应自启动，进而提升晶圆甩干质量、提高工作效率并降低人为操作的触电风险。
[0006]为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
[0007]一种晶圆甩干设备，包括箱体和设备门，所述箱体包括传动层、工作层、送风夹层，所述传动层与工作层之间设置有第一隔板，所述第一隔板上转动穿设有若干转动轴，位于工作层内的转动轴上设置有置物篮，所有转动轴均传动连接有同一套位于传动层的传动系统，所述送风夹层内竖向设置有与转动轴相对应的圆筒，所述箱体的顶部与转动轴相对应位置穿设有第一感应器，所述设备门铰接于工作层的箱体侧壁边，所述设备门与箱体闭合处设置有第二感应器，所述箱体的外壁设置有控制器和暖风机，所述位于送风夹层的箱体的侧壁连通有送风管，所述送风管与暖风机相连，所述送风管远离暖风机的一端穿设在送风夹层内，所述传动系统包括电机，所述电机、第一感应器、第二感应器、暖风机均与控制器电连接。
[0008]第一感应器可以通过圆筒感知置物篮的放置状态，第二感应器可以感知设备门的闭合状态，二者实时向控制器发送信号，当控制器接收到正确的信号后发出启动指令，开启电机转动转动轴从而带动置物篮旋转，以及开启暖风机向送风夹层输送暖风。
[0009]进一步限定，所述传动系统包括设置于电机输出轴末端的主动齿轮，所述传动系统还包括从动齿轮，所述从动齿轮固定连接于位于传动层中的转动轴的底部，所述从动齿轮与主动齿轮相啮合，所述传动层的底部与转动轴相对应位置设置有承重柱，所述承重柱上端与转动轴连接处设置有滚动轴承。传动系统由电机输出动能，通过一个主动齿轮带动
多个由承重柱支撑的从动齿轮，从而转动位于从动齿轮上方的转动轴。
[0010]进一步限定，所述工作层设置有用于分隔转动轴的第二隔板，所述第二隔板与第一隔板连接处开设有流水孔。第二隔板可以阻挡不同转动轴上飞溅的水渍，流水孔便于水渍的合流和排出。
[0011]进一步限定，所述置物篮内部设置有若干相互对应的限位柱和限位板，所述置物篮还设置有多个固定脚，所述转动轴位于工作层的部分环绕开设有若干与固定脚相匹配的卡槽。限位柱和限位板意在固定放置在置物篮中的晶圆，固定脚卡设在转动轴上的卡槽中便于安装和固定。
[0012]进一步限定，所述位于工作层的箱体远离设备门的壁面与第一隔板连接处开设有排水口，所述位于工作层的箱体两侧对称开设有不低于排水口的排气口。排水口主要用于排出工作层内产出的水渍，排气口主要用于保持暖风的流动性以及排出多余水蒸气。
[0013]进一步限定，所述工作层和送风夹层之间设置有第三隔板，所述第三隔板上开设有若干送风孔。所述暖风机与送风管相连接，暖风机通过送风管向送风夹层输送暖风，送风孔能使得送风夹层的暖风均匀吹向工作层，有助于提高设备工作效率。
[0014]进一步限定，所述设备门上开设有与第二感应器相匹配的闭合凹槽，所述第一感应器为距离传感器，所述第二感应器为门磁。闭合凹槽用于配合安装门磁，进而感知设备门闭合状态，同时防止突起的门磁与设备门发生碰撞，距离传感器可以检测传感器本身与转动轴之间的距离，通过距离变化判断置物篮的放置状态。
[0015]进一步限定，所述箱体的顶部设置有报警器，所述报警器与控制器电连接。设备完成甩干任务后控制器控制报警器启动，进而提醒操作人员取出晶圆。
[0016]采用上述技术方案的技术，具有如下优点：
[0017]1、通过在一个电机输出轴上设置主动齿轮，带动与之相啮合的齿轮传动系统，从而带动与传动系统相连的多个转动轴，进而带动安装在转动轴顶端的置物篮旋转，实现对单片或多片晶圆的甩干处理，提高了生产效率且降低了成本；
[0018]2、在连接杆正上方和设备门闭合处加装感应启动装置，感应装置分别为设置在设备的箱体顶部并与转动轴相对应的距离传感器，以及设置在设备门闭合处的门磁，当距离传感器感知到传感器本身和转动轴之间的距离参数产生变化，且在一定时间后趋于稳定，即置物篮安装完毕，同时门磁感知到设备门处于闭合状态时，与两种感应器电连接的控制器接收到相应信号，进而设备控制器向电机和暖风机发出启动指令，实现设备自启动，达到了节约启动时间和降低人为操作触电风险的效果；
[0019]3、通过暖风机向送风夹层输送暖风，进而暖风通过若干送风孔均匀的吹向工作层，蒸干不易排出的细小水滴，再由排气口排出水蒸气，具有缩短甩干时间、提升甩干质量的有益效果。
附图说明
[0020]本技术可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
[0021]图1为本技术一种晶圆甩干设备实施例的内部结构示意图；
[0022]图2为本技术一种晶圆甩干设备实施例的外部结构示意图；
[0023]图3为本技术一种晶圆甩干设备实施例的背部结构示意图；
[0024]图4为本技术一种晶圆甩干设备实施例的置物篮放大图；
[0025]主要元件符号说明如下：
[0026]传动层1、控制器11、电机12、主动齿轮13、从动齿轮14；
[0027]工作层2、暖风机21、送风管211、第一感应器23、第二感应器22、闭合凹槽221、送风夹层24、第三隔板241、送风孔25、排水口26、排气口27、承重柱28、滚动轴承29；
[0028]第一隔板3、第二隔板4、流水孔41、转动轴5、卡槽51、置物篮6、固定脚61、限位柱62、限位板63、固定丝64、通孔7、圆筒8、报警器9。
具体实施方式
[0029]以下将结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明，需要说明的是，在附图或说明书描述中，相似或相同的部分都使用相同的图号，附图中未绘示或描述的实现方式，为所属
中普通技术人员所知的形式。另外，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”等，仅是参考附图的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆甩干设备，包括箱体和设备门，其特征在于：所述箱体包括传动层(1)、工作层(2)、送风夹层(24)，所述传动层(1)与工作层(2)之间设置有第一隔板(3)，所述第一隔板(3)上转动穿设有若干转动轴(5)，位于工作层(2)内的转动轴(5)上设置有置物篮(6)，所有转动轴(5)均传动连接有同一套位于传动层(1)的传动系统，所述送风夹层(24)内竖向设置有与转动轴(5)相对应的圆筒(8)，所述箱体的顶部与转动轴(5)相对应位置穿设有第一感应器(23)，所述设备门铰接于工作层(2)的箱体侧壁边，所述设备门与箱体闭合处设置有第二感应器(22)，所述箱体的外壁设置有控制器(11)和暖风机(21)，所述位于送风夹层(24)的箱体的侧壁连通有送风管(211)，所述送风管(211)与暖风机(21)相连，所述送风管(211)远离暖风机(21)的一端穿设在送风夹层(24)内，所述传动系统包括电机(12)，所述电机(12)、第一感应器(23)、第二感应器(22)、暖风机(21)均与控制器(11)电连接。2.根据权利要求1所述晶圆甩干设备，其特征在于：所述传动系统包括设置于电机(12)输出轴末端的主动齿轮(13)，所述传动系统还包括从动齿轮(14)，所述从动齿轮(14)固定连接于位于传动层(1)中的转动轴(5)的底部，所述从动齿轮(14)与主动齿轮(13)相啮合，所述传动层(1)的底部与转动轴(5)相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐久林，张鹏程，马睿，蒋昌朋，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：