本实用新型专利技术涉及一种能够调节磁场强度的平面阴极结构。传统的平面磁控溅射阴极均为固定磁场，在使用时，均匀性的调节手段较少。本实用新型专利技术包括阴极体，阴极体的上部设置导电导热件，导电导热件的上部设置靶材，阴极体内的多个密封方管内分别设置磁铁，磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁和两个外部磁铁，两个中间磁铁的极性相同，两个外部磁铁与中间磁铁的磁性相反，位于两个中间磁铁之间设置一个第一调节磁铁或者在位于两个外部磁铁的外部分别设置第二调节磁铁，第一调节磁铁的磁性与中间磁铁一致，第二调节磁铁的磁性与外部磁铁一致，第一磁铁和第二磁铁的高度可调。本实用新型专利技术结构简单合理，能够有效解决普通的平面阴极磁场强度无法调整的问题。无法调整的问题。无法调整的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种能够调节磁场强度的平面阴极结构
[0001]本技术涉及一种能够调节磁场强度的平面阴极结构。
技术介绍
[0002]传统的平面磁控溅射阴极均为固定磁场，导致平面阴极在使用时，均匀性的调节手段较少，主要用固定挡板的修正以及气氛的调节。固定挡板的调节相当于用挡板挡住溅射下来的物质，随着挡板的不断使用，挡板上的沉积物变多，改变了挡板的尺寸导致变化与预期发生改变。而通过气体调节，由于真空中气体的扩散速度较快，只能用于较大范围内的调节。因此如何能够精确的调节针对位置的均匀性成为该行业中的空缺。
技术实现思路
[0003]本技术针对现有技术存在的缺点，提供一种能够调节磁场强度的平面阴极结构，能够有效而且简单地解决平面阴极磁场强度无法调整的问题。
[0004]为此，本技术采取如下的技术方案：一种能够调节磁场强度的平面阴极结构，包括阴极体，所述阴极体的上部设置导电导热件，所述导电导热件的上部设置靶材，其特征在于所述阴极体内的多个密封方管内分别设置磁铁，所述的磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁和两个外部磁铁，所述的两个中间磁铁的极性相同，所述的两个外部磁铁与中间磁铁的磁性相反，位于两个中间磁铁之间设置一个第一调节磁铁或者在位于两个外部磁铁的外部分别设置第二调节磁铁，第一调节磁铁的磁性与中间磁铁一致，第二调节磁铁的磁性与外部磁铁一致，所述的第一磁铁和第二磁铁的高度可调。
[0005]作为优选，所述的第一调节磁铁和第二调节磁铁均设置在磁铁磁轭上，所述磁轭的下部连接调节螺杆，所述的调节螺杆连接调节螺母。
[0006]作为优选，所述阴极体的下部通过固定螺丝连接调节支撑块，所述调节支撑块的中部设置所述的调节螺杆和调节螺母。
[0007]作为优选，所述导电导热件的下部形成密封槽，所述的密封槽内设置密封圈用于隔绝于导电导热件下部的冷却水。
[0008]作为优选，所述中间磁铁的N级朝上，两个外部磁铁的S级朝上。
[0009]作为优选，所述的导电导热件为铜板。
[0010]本技术的有益效果在于：通过对调节磁铁的高度调节以改变整体平面阴极的均匀性，结构简单，调节方便。且由于整个调节结构独立于冷却水路外，不影响整体阴极的密封性能。能够有效解决普通的平面阴极磁场强度无法调整的问题。
附图说明
[0011]图1为本技术实施例1的剖面示意图。
[0012]图2为实施例1的立体结构示意图。
[0013]图3为实施例2的剖面示意图。
[0014]图4为实施例2的立体结构示意图。
[0015]图5为实施例2底面结构示意图。
具体实施方式
[0016]下面结合附图对本技术作进一步详细描述。
[0017]实施例1：如图1
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图2所示的一种能够调节磁场强度的平面阴极结构，包括阴极体7，所述阴极体的上部设置导电导热件2，导电导热件2的上部设置靶材1，阴极体内的多个密封方管4内分别设置磁铁5，所述的磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁14和两个外部磁铁5，所述的两个中间磁铁的极性相同，所述的两个外部磁铁与中间磁铁的磁性相反，位于两个中间磁铁之间设置一个第一调节磁铁13，第一调节磁铁的磁性与中间磁铁一致，该第一磁铁的高度可调。
[0018]具体的，第一调节磁铁设置在磁铁磁轭12上，磁轭下部连接调节螺杆11，所述的调节螺杆连接调节螺母10。阴极体的下部通过固定螺丝9连接调节支撑块8，所述调节支撑块的中部设置所述的调节螺杆和调节螺母。旋开调节螺母解除其锁定状态后，能够轻易对调节螺杆的伸出高度调节，以改变第一调节磁铁的位置。
[0019]具体的，导电导热件的下部形成密封槽3，所述的密封槽3内设置密封圈用于隔绝于导电导热件下部的冷却水。
[0020]具体的，中间磁铁的N级朝上，两个外部磁铁的S级朝上。导电导热件为铜板。
[0021]实施例2
[0022]如图3
‑
图5所示，该实施例和实施例1的区别在于，该实施例中位于两个中间磁铁之间没有设置第一调节磁铁13，但其在位于两个外部磁铁的外部分别设置第二调节磁铁16，第二调节磁铁的磁性与外部磁铁一致，所述的第一磁铁和第二磁铁的高度可调。
[0023]本技术通过对调节磁铁的高度调节以改变整体平面阴极的均匀性，结构简单，调节方便。调节磁铁可以设置在中部也可以设置在两侧。且由于整个调节结构独立于冷却水路外，不影响整体阴极的密封性能。能够有效解决普通的平面阴极磁场强度无法调整的问题。
[0024]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够调节磁场强度的平面阴极结构，包括阴极体(7)，所述阴极体(7)的上部设置导电导热件(2)，所述导电导热件(2)的上部设置靶材(1)，其特征在于所述阴极体(7)内的多个密封方管(4)内分别设置磁铁(5)，所述的磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁(14)和两个外部磁铁(5)，所述的两个中间磁铁(14)的极性相同，所述的两个外部磁铁(5)与中间磁铁(14)的磁性相反，位于两个中间磁铁(14)之间设置一个第一调节磁铁(13)或者在位于两个外部磁铁(5)的外部分别设置第二调节磁铁(16)，第一调节磁铁(13)的磁性与中间磁铁(14)一致，第二调节磁铁(16)的磁性与外部磁铁(5)一致，所述的第一调节磁铁(13)和第二调节磁铁(16)的高度可调。2.根据权利要求1所述的平面阴极结构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：文继志，高畅，
申请(专利权)人：晓睿真空设备嘉兴有限公司，
类型：新型
国别省市：
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