一种提高探针空间的晶圆测试探针卡制造技术

本实用新型专利技术涉及探针卡技术领域，且公开了一种提高探针空间的晶圆测试探针卡，包括外壳，所述外壳的两侧端夹角处贯穿连接有弹压机构，所述弹压机构包括插接卡、支撑网和支撑块，所述插接卡的内侧壁处卡接于支撑网的外侧端，所述支撑块的侧壁活动连接于插接卡的侧壁处，所述外壳的侧壁处贯穿连接有活动框。针杆靠近推板的内端可带动推板的侧壁转动，在针杆调整角度的过程中避免受到上下端口处连接口处的遮挡限制，在弹性碰撞的过程中，也就给针杆的内侧端在插接的过程中增加了弹力，针杆的侧壁在插接到设备接口内时可减少用力插接时的磨损，弹力块的侧壁偏移至活动块和卡条的侧壁之间时，在针杆的周围活动范围内提供有效的活动空间。空间。空间。

【技术实现步骤摘要】
一种提高探针空间的晶圆测试探针卡


[0001]本技术涉及探针卡
，具体为一种提高探针空间的晶圆测试探针卡。

技术介绍

[0002]根据芯片晶圆测试，探针卡属于定制器件，探针卡内部的探针头部位在和对接器插接的过程中，探针头和探针卡连接之间是固定的，在插接的过程中，探针头和探针卡的连接点之间用力按紧的时候，会让针头和对接器的孔之间卡接在一起，这个过程需要两侧稍微摆动插接，这就很容易使得针头的周围空间受到限制且不易操作。

技术实现思路

[0003]为解决上述将芯片晶圆测试针头的过程中会出现摆动空间不足而无法插紧的问题，实现以上增大探针头摆动空间可易操作的目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0004]一种提高探针空间的晶圆测试探针卡，包括外壳，所述外壳的两侧端夹角处贯穿连接有弹压机构，所述弹压机构包括插接卡、支撑网和支撑块，所述插接卡的内侧壁处卡接于支撑网的外侧端，所述支撑块的侧壁活动连接于插接卡的侧壁处，所述外壳的侧壁处贯穿连接有活动框，所述活动框处贯穿连接有牵引线，所述牵引线远离活动框的一端贯穿连接有移位机构，所述移位机构包括弹力片、对接板，所述弹力片的侧壁顶端贯穿连接于对接板的侧壁顶端，所述对接板远离弹力片的一端贯穿连接有推板，所述推板远离对接板的一侧贯穿连接有针杆，所述外壳的侧壁前端处设置的夹缝处贯穿连接有对条机构。
[0005]进一步的，所述弹压机构还包括弹力条，所述弹力条的侧壁贯穿连接于支撑网的侧壁间隙之间交叉组成，支撑块的侧壁倾斜向支撑网的侧边推动支撑网的侧壁，支撑网的侧壁和弹力板的侧壁之间空隙缩减。
[0006]进一步的，所述移位机构还包括活动杆，所述活动杆的侧端贯穿连接于对接板的侧壁顶端，所述活动杆远离对接板的一端滑动连接于弹力片的内侧壁处，所述活动杆远离对接板的一端活动连接于推板的侧壁顶端处，推板的侧壁会顺着移位机构的侧壁处向下滑动，向下拽动弹力片的侧壁，弹力片的侧壁处从向上弯曲的状态被逐渐拉至直线状态。
[0007]进一步的，所述外壳的两侧壁内侧贯穿连接有弹力块，所述弹力块的内侧壁处滑动连接于推板的侧端处，针杆靠近推板的内端可带动推板的侧壁转动。
[0008]进一步的，所述对条机构包括活动块和卡条，所述卡条的侧壁贯穿连接于外壳的底层内侧壁处，所述活动块贯穿连接于外壳的顶层内侧壁处，弹力块的侧壁可偏移至活动块和卡条的侧壁之间。
[0009]进一步的，所述活动块的底侧壁处活动连接于卡条的顶侧壁处，推板的侧端活动时推动弹力块的侧壁，弹力块的侧壁可偏移至活动块和卡条的侧壁之间。
[0010]进一步的，所述针杆远离推板的一端活动连接于活动块、卡条的侧壁之间。
[0011]进一步的，所述弹力条的侧端贯穿连接于插接卡的内侧壁处，所述弹力条的侧壁
处活动连接于支撑网的侧壁处，支撑网的侧壁和弹力板的侧壁之间空隙缩减后，弹力板的侧壁处可和支撑网的侧壁处之间相互碰撞有弹性。
[0012]本技术提供了一种提高探针空间的晶圆测试探针卡。具备以下有益效果：
[0013]1、该提高探针空间的晶圆测试探针卡，通过弹力片的侧壁处从向上弯曲的状态被逐渐拉至直线状态，弹力片的侧壁处和对接板的侧壁之间的内夹角缩小，针杆靠近推板的内端可带动推板的侧壁转动，在针杆调整角度的过程中避免受到上下端口处连接口处的遮挡限制。
[0014]2、该提高探针空间的晶圆测试探针卡，通过支撑网的侧壁和弹力条的侧壁之间空隙缩减后，弹力条的侧壁处可和支撑网的侧壁处之间相互碰撞有弹性，在弹性碰撞的过程中，也就给针杆的内侧端在插接的过程中增加了弹力，针杆的侧壁在插接到设备接口内时可减少用力插接时的磨损。
[0015]3、该提高探针空间的晶圆测试探针卡，通过当针杆的侧壁旋转时，带动推板转动时，推板的侧端活动时推动弹力块的侧壁，弹力块的侧壁可偏移至活动块和卡条的侧壁之间，在针杆的周围活动范围内提供有效的活动空间。
附图说明
[0016]图1为本技术整体结构示意图；
[0017]图2为本技术移位机构内部相关结构示意图；
[0018]图3为本技术弹压机构内部相关结构连接右侧示意图。
[0019]图中：1、外壳；2、弹压机构；211、插接卡；212、支撑网；213、支撑块；214、弹力条；3、活动框；4、牵引线；5、移位机构；511、弹力片；512、活动杆；513、对接板；6、推板；7、针杆；8、对条机构；811、活动块；812、卡条；9、弹力块。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]该提高探针空间的晶圆测试探针卡的实施例如下：
[0022]请参阅图1
‑
图3，一种提高探针空间的晶圆测试探针卡，包括外壳1，外壳1的两侧端夹角处贯穿连接有弹压机构2，弹压机构2包括插接卡211、支撑网212和支撑块213，插接卡211的内侧壁处卡接于支撑网212的外侧端，支撑块213的侧壁活动连接于插接卡211的侧壁处，弹压机构2还包括弹力条214，弹力条214的侧壁贯穿连接于支撑网212的侧壁间隙之间交叉组成，支撑块213的侧壁倾斜向支撑网212的侧边推动支撑网212的侧壁，支撑网212的侧壁和弹力条214的侧壁之间空隙缩减，弹力条214的侧端贯穿连接于插接卡211的内侧壁处，弹力条214的侧壁处活动连接于支撑网212的侧壁处，支撑网212的侧壁和弹力条214的侧壁之间空隙缩减后，弹力条214的侧壁处可和支撑网212的侧壁处之间相互碰撞有弹性；
[0023]外壳1的侧壁处贯穿连接有活动框3，活动框3处贯穿连接有牵引线4，牵引线4远离
活动框3的一端贯穿连接有移位机构5，移位机构5包括弹力片511、对接板513，弹力片511的侧壁顶端贯穿连接于对接板513的侧壁顶端，对接板513远离弹力片511的一端贯穿连接有推板6，移位机构5还包括活动杆512，活动杆512的侧端贯穿连接于对接板513的侧壁顶端，活动杆512远离对接板513的一端滑动连接于弹力片511的内侧壁处，活动杆512远离对接板513的一端活动连接于推板6的侧壁顶端处，推板6的侧壁会顺着移位机构5的侧壁处向下滑动，向下拽动弹力片511的侧壁，弹力片511的侧壁处从向上弯曲的状态被逐渐拉至直线状态；
[0024]推板6远离对接板513的一侧贯穿连接有针杆7，外壳1的侧壁前端处设置的夹缝处贯穿连接有对条机构8，对条机构8包括活动块811和卡条812，卡条812的侧壁贯穿连接于外壳1的底层内侧壁处，活动块811贯穿连接于外壳1的顶层内侧壁处，弹力块9的侧壁可偏移至活动块811和卡条812的侧壁之间，活动块811的底侧壁处活动连接于卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高探针空间的晶圆测试探针卡，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的两侧端夹角处贯穿连接有弹压机构(2)，所述弹压机构(2)包括插接卡(211)、支撑网(212)和支撑块(213)，所述插接卡(211)的内侧壁处卡接于支撑网(212)的外侧端，所述支撑块(213)的侧壁活动连接于插接卡(211)的侧壁处，所述外壳(1)的侧壁处贯穿连接有活动框(3)，所述活动框(3)处贯穿连接有牵引线(4)，所述牵引线(4)远离活动框(3)的一端贯穿连接有移位机构(5)，所述移位机构(5)包括弹力片(511)、对接板(513)，所述弹力片(511)的侧壁顶端贯穿连接于对接板(513)的侧壁顶端，所述对接板(513)远离弹力片(511)的一端贯穿连接有推板(6)，所述推板(6)远离对接板(513)的一侧贯穿连接有针杆(7)，所述外壳(1)的侧壁前端处设置的夹缝处贯穿连接有对条机构(8)。2.根据权利要求1所述的一种提高探针空间的晶圆测试探针卡，其特征在于：所述弹压机构(2)还包括弹力条(214)，所述弹力条(214)的侧壁贯穿连接于支撑网(212)的侧壁间隙之间交叉组成。3.根据权利要求1所述的一种提高探针空间的晶圆测试探针卡，其特征在于：所述移位机构(5)还包括活动杆(512)，所述活动杆(512)的侧端贯穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁超，秦海波，刘少丽，袁泉，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：