一种高效散热的半导体氧化设备箱体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效散热的半导体氧化设备箱体，其技术方案要点是：包括半导体氧化设备箱本体，所述半导体氧化设备箱本体的一侧开设有若干个散热孔，所述半导体氧化设备箱本体的一侧开设有若干个通风口；通过第二挡板、散热孔、第一挡板、连接板、PLC控制器、吹风扇、通风口与半导体氧化设备箱本体的相互配合使用，可以加快半导体氧化设备箱本体内部的空气循环，使半导体氧化设备箱本体内部的热气快速的排出去，从而达到了对半导体氧化设备箱本体内部的高效散热效果，通过设置限制柱，工作人员可以翻转第二挡板，使第二挡板将散热孔遮挡起来，之后把限制柱从连接孔放进连接槽的内部，从而对第二挡板进行限制。从而对第二挡板进行限制。从而对第二挡板进行限制。

【技术实现步骤摘要】
一种高效散热的半导体氧化设备箱体


[0001]本技术涉及半导体氧化设备
，具体涉及一种高效散热的半导体氧化设备箱体。

技术介绍

[0002]半导体设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的关键支撑环节，半导体设备主要应用在半导体产业链中的晶圆制造和封装测试环节，晶圆制造主要的工艺流程包括热处理、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨和清洗，热处理主要包括氧化、扩散和退火工艺，氧化是一种添加工艺，是将硅片放入高温炉中，加入氧气与之反应，在晶圆表面形成二氧化硅。
[0003]现有的半导体氧化设备箱体在进行散热时一般通过散热孔或打开箱门来进行散热，该方式无法使箱体内的热气无法快速排出，导致散热效果慢。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种高效散热的半导体氧化设备箱体，解决了现有的半导体氧化设备箱体在进行散热时一般通过散热孔或打开箱门来进行散热，该方式无法使箱体内的热气无法快速排出，导致散热效果慢的问题。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种高效散热的半导体氧化设备箱体，包括：半导体氧化设备箱本体，所述半导体氧化设备箱本体的一侧开设有若干个散热孔，所述半导体氧化设备箱本体的一侧开设有若干个通风口；散热组件，所述散热组件设置在所述半导体氧化设备箱本体的一侧，用于对半导体氧化设备箱本体的内部进行高效散热，所述散热组件包括：第二挡板，所述第二挡板设置在所述半导体氧化设备箱本体的一侧，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有两个铰链，所述第二挡板与所述半导体氧化设备箱本体通过铰链相连接，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有两个合页，所述半导体氧化设备箱本体的一侧设置有连接盒，所述半导体氧化设备箱本体与所述连接盒通过合页相连接，所述连接盒的一侧开设有固定口，所述固定口的内部固定套接有吹风扇，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有PLC控制器，所述PLC控制器与所述吹风扇电性连接，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有连接板，所述连接板的顶面设置有第一挡板。
[0007]为了对第二挡板进行限制，作为本技术的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，较佳的，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有U形板，所述U形板的顶面开设有连接孔，所述连接孔的内圆壁面活动套接有限制柱，所述第二挡板的顶面开设有连接槽，所述连接槽与所述限制柱活动套接。
[0008]为了对第一挡板进行限制，作为本技术的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，较佳的，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有两个弹簧，弹簧的一端固定安装有限制板，所述限制板的一侧固定安装有卡柱，所述第一挡板的一侧开设有两个卡接槽。
[0009]为了防止卡柱在卡接槽内部晃动，作为本技术的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，较佳的，所述卡接槽的内圆壁面固定套接有橡胶圈，所述橡胶圈与所述卡柱活动套接。
[0010]为了对连接盒进行固定，作为本技术的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，较佳的，所述半导体氧化设备箱本体的一侧固定安装有两个第二固定板，所述连接盒的两侧分别固定安装有第一固定板，所述第一固定板与所述第二固定板的顶面分别开设有固定孔，所述固定孔的内部设置有固定柱。
[0011]为了防止固定柱在固定孔内晃动，作为本技术的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，较佳的，所述固定柱的外圆壁面固定套接有橡胶套，所述橡胶套与所述固定孔活动套接。
[0012]为了保持限制板的平衡，作为本技术的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，较佳的，所述限制板的一侧固定安装有连接柱。
[0013]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0014]通过第二挡板、散热孔、第一挡板、连接板、PLC控制器、吹风扇、通风口与半导体氧化设备箱本体的相互配合使用，可以加快半导体氧化设备箱本体内部的空气循环，使半导体氧化设备箱本体内部的热气快速的排出去，从而达到了对半导体氧化设备箱本体内部的高效散热效果。
[0015]通过设置限制柱，工作人员可以翻转第二挡板，使第二挡板将散热孔遮挡起来，之后把限制柱从连接孔放进连接槽的内部，从而对第二挡板进行限制，避免半导体氧化设备箱本体内的热气从散热孔涌出，导致第二挡板向外翻转。
附图说明
[0016]图1是本技术的立体结构示意图；
[0017]图2是本技术的半导体氧化设备箱本体结构示意图；
[0018]图3是本技术的连接板结构示意图；
[0019]图4是本技术的第一挡板结构示意图；
[0020]图5是本技术的限制板结构示意图；
[0021]图6是图1中A的局部结构示意图；
[0022]图7是图1中B的局部结构示意图。
[0023]附图标记：1、半导体氧化设备箱本体；2、连接盒；3、固定口；4、吹风扇；5、通风口；6、散热孔；7、连接板；8、第一挡板；9、橡胶圈；10、卡接槽；11、限制板；12、连接柱；13、卡柱；14、第二挡板；15、U形板；16、连接孔；17、连接槽；18、限制柱；19、第一固定板；20、固定孔；21、橡胶套；22、固定柱；23、第二固定板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参考图1、图2、图3和图4，一种高效散热的半导体氧化设备箱体，包括半导体氧化设备箱本体1，所述半导体氧化设备箱本体1的一侧开设有若干个散热孔6，半导体氧化设备箱本体1的一侧开设有若干个通风口5，半导体氧化设备箱本体1的一侧设置有散热组件，用于对半导体氧化设备箱本体1的内部进行高效散热，散热组件包括第二挡板14，第二挡板14设置在半导体氧化设备箱本体1的一侧，半导体氧化设备箱本体1的一侧固定安装有两个铰链，第二挡板14与半导体氧化设备箱本体1通过铰链相连接，半导体氧化设备箱本体1的一侧固定安装有两个合页，半导体氧化设备箱本体1的一侧设置有连接盒2，连接盒2为中空矩形结构一侧为敞口，半导体氧化设备箱本体1与连接盒2通过合页相连接，连接盒2的一侧开设有固定口3，固定口3的内部固定套接有吹风扇4，半导体氧化设备箱本体1的一侧固定安装有PLC控制器，PLC控制器与吹风扇4电性连接，半导体氧化设备箱本体1的一侧固定安装有连接板7，连接板7的顶面设置有第一挡板8，通过设置第二挡板14，在需要对半导体氧化设备箱本体1的内部进行散热时，工作人员先通过铰链翻转第二挡板14，使第二挡板14向外打开，使限制板11内的热气从散热孔6散出来，在打开第二挡板14后，工作人员先向上翻转连接盒2，之后将第一挡板8从连接板7上取下来，使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效散热的半导体氧化设备箱体，其特征在于，包括：半导体氧化设备箱本体(1)，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧开设有若干个散热孔(6)，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧开设有若干个通风口(5)；散热组件，所述散热组件设置在所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧，用于对半导体氧化设备箱本体(1)的内部进行高效散热，所述散热组件包括：第二挡板(14)，所述第二挡板(14)设置在所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧固定安装有两个铰链，所述第二挡板(14)与所述半导体氧化设备箱本体(1)通过铰链相连接，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧固定安装有两个合页，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧设置有连接盒(2)，所述半导体氧化设备箱本体(1)与所述连接盒(2)通过合页相连接，所述连接盒(2)的一侧开设有固定口(3)，所述固定口(3)的内部固定套接有吹风扇(4)，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧固定安装有PLC控制器，所述PLC控制器与所述吹风扇(4)电性连接，所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧固定安装有连接板(7)，所述连接板(7)的顶面设置有第一挡板(8)。2.根据权利要求1所述的一种高效散热的半导体氧化设备箱体，其特征在于：所述半导体氧化设备箱本体(1)的一侧固定安装有U形板(15)，所述U形板(15)的顶面开设有连接孔(16)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆建军，余新建，张志东，李建飞，
申请(专利权)人：南通通州东大机械有限公司，
类型：新型
国别省市：