脉冲宽度测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供脉冲宽度测量装置，其无需在激光加工装置外使脉冲激光束分支而能够高效地实施脉冲宽度的测量。该脉冲宽度测量装置包含：偏振分束器，其将脉冲激光束分支至第一光路和第二光路；第一反射镜，其使分支至第一光路的第一激光束朝向偏振分束器反射；第二反射镜，其使分支至第二光路的第二激光束朝向偏振分束器反射；第一1/4波长板，其配设于偏振分束器与第一反射镜之间；第二1/4波长板，其配设于偏振分束器与第二反射镜之间；非线性晶体，其允许被第一反射镜和第二反射镜反射且通过偏振分束器合流而得的第一激光束的返回光与第二激光束的返回光的合成激光束通过；以及光探测器，其测量通过了非线性晶体的合成激光束的光强度。光强度。光强度。

【技术实现步骤摘要】
脉冲宽度测量装置


[0001]本专利技术涉及测量脉冲激光束的脉冲宽度的由多个光学部件构成的脉冲宽度测量装置。

技术介绍

[0002]由交叉的多条分割预定线划分而在正面上形成有IC、LSI等多个器件的晶片通过激光加工装置分割成各个器件芯片，分割得到的器件芯片被用于移动电话、个人计算机等电子设备。
[0003]激光加工装置包含：卡盘工作台，其对晶片进行保持；激光照射单元，其对该卡盘工作台所保持的晶片照射脉冲激光束；以及移动机构，其使该卡盘工作台和该激光照射单元在X轴方向和Y轴方向上相对地移动。该激光照射单元具有：激光振荡器，其射出脉冲激光束；聚光器，其使该激光振荡器射出的脉冲激光束会聚于该卡盘工作台所保持的晶片；以及光学系统，其配设于该激光振荡器与该聚光器之间(例如参照专利文献1)。
[0004]专利文献1：日本特开2012
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002604号公报
[0005]在上述激光加工装置中，为了维持激光加工的加工品质，定期地或在任意的时机进行激光照射单元的光学系统的维护，在该维护中，测量通过激光振荡器射出的脉冲激光束的脉冲宽度，进行该脉冲宽度是否是期望的脉冲宽度的检查。
[0006]但是，关于在以往的脉冲宽度的测量中使用的脉冲宽度测量装置，装置规模大，将该脉冲宽度测量装置定位于进行维护的激光加工装置的附近，使用另外的分支单元将从激光加工装置的激光照射单元照射的脉冲激光束分支，并引导至与激光加工装置相邻地配置的该脉冲宽度测量装置而测量脉冲宽度，该脉冲宽度测量装置存在如下的问题：至测量为止，该装置的设置及调整麻烦，不胜其烦。

技术实现思路

[0007]由此，本专利技术的目的在于提供脉冲宽度测量装置，其无需在激光加工装置外使脉冲激光束分支而能够高效地实施脉冲宽度的测量。
[0008]根据本专利技术，提供脉冲宽度测量装置，其由多个光学部件构成，测量脉冲激光束的脉冲宽度，其中，该脉冲宽度测量装置具有：入射部，其接受脉冲激光束；偏振分束器，其将从该入射部入射的脉冲激光束分支至第一光路和第二光路；第一反射镜，其使分支至该第一光路的第一激光束朝向该偏振分束器反射；第二反射镜，其使分支至该第二光路的第二激光束朝向该偏振分束器反射；第一1/4波长板，其配设于该偏振分束器与该第一反射镜之间；第二1/4波长板，其配设于该偏振分束器与该第二反射镜之间；光路长度变更单元，其使该第一反射镜或该第二反射镜中的任意反射镜在激光束的光路方向上移动而能够改变光路长度；非线性晶体，其允许被该第一反射镜和该第二反射镜反射且通过该偏振分束器合流而得的该第一激光束的返回光与该第二激光束的返回光的合成激光束通过；以及光探测器，其测量通过了该非线性晶体的合成激光束的光强度，从该入射部到该光探测器的光学
部件配设于同一平面上。
[0009]根据本专利技术的脉冲宽度测量装置，从该入射部至光探测器的光学部件配设于同一平面上，因此能够平面地载置于激光加工装置的卡盘工作台而测量脉冲宽度，消除了必须从构成激光照射单元的光学系统使激光光线分支来测量脉冲宽度而不胜其烦的问题。
附图说明
[0010]图1是本专利技术实施方式的脉冲宽度测量装置和激光加工装置的立体图。
[0011]图2是将图1所示的脉冲宽度测量装置放大而示出的立体图。
[0012]图3是示出使用图2所示的脉冲宽度测量装置来测量脉冲宽度的方式的立体图。
[0013]标号说明
[0014]1：激光加工装置；2：基台；3：保持单元；31：X轴方向可动板；32：Y轴方向可动板；33：支柱；34：罩板；35：卡盘工作台；35a：吸附卡盘；36：导轨；4：移动机构；42：X轴进给机构；42a：电动机；42b：滚珠丝杠；44：Y轴进给机构；44a：电动机；44b：滚珠丝杠；5：框体；6：激光照射单元；6a：聚光器；7：对准单元；7a：照相机；8：显示单元；10：脉冲宽度测量装置；11：圆形基板；11a：平面；12：入射部；12a：反射面；13：偏振分束器；13a：反射面；14A：第一1/4波长板；14B：第二1/4波长板；15A：第一反射镜；15B：第二反射镜；16：光路长度变更单元；161：步进电动机；162：外螺纹；163：螺母部；17：非线性晶体；18：光探测器；L1：第一光路；L2：第二光路。
具体实施方式
[0015]以下，参照附图对本专利技术实施方式的脉冲宽度测量装置进行详细说明。
[0016]在图1中示出本实施方式的脉冲宽度测量装置10以及使用该脉冲宽度测量装置10测量脉冲激光束的脉冲宽度的激光加工装置1的整体立体图。
[0017]激光加工装置1具有：保持单元3，其配置于基台2上，对板状的被加工物进行保持；激光照射单元6，其对板状的被加工物照射脉冲激光束；对准单元7，其具有对保持单元3所保持的被加工物进行拍摄的照相机7a；移动机构4，其将激光照射单元6和保持单元3相对地进行加工进给，并且使对准单元7和保持单元3相对地移动；以及框体5，其包含在基台2上立设于移动机构4的里侧的垂直壁部5a和从垂直壁部5a的上端部沿水平方向延伸的水平壁部5b。
[0018]如图1所示，保持单元3包含：矩形状的X轴方向可动板31，其在X轴方向上移动自如地搭载于基台2上；矩形状的Y轴方向可动板32，其在与X轴方向垂直的Y轴方向上移动自如地搭载于X轴方向可动板31上；圆筒状的支柱33，其固定于Y轴方向可动板32的上表面上；以及矩形状的罩板34，其固定于支柱33的上端。在罩板34上配设有通过形成于罩板34上的长孔而向上方延伸的卡盘工作台35。卡盘工作台35构成为能够通过内置于支柱33内的未图示的旋转驱动单元进行旋转。在卡盘工作台35上配设有圆形状的吸附卡盘35a，该吸附卡盘35a由具有通气性的多孔质材料形成，实质上水平地延伸。吸附卡盘35a通过经由支柱33的流路而与未图示的吸引单元连接。
[0019]移动机构4包含X轴进给机构42和Y轴进给机构44。X轴进给机构42将电动机42a的旋转运动借助滚珠丝杠42b转换成直线运动而传递至X轴方向可动板31，使X轴方向可动板
31沿着沿X轴方向配设于基台2上的一对导轨2a、2a在X轴方向上进退。Y轴进给机构44将电动机44a的旋转运动借助滚珠丝杠44b转换成直线运动而传递至Y轴方向可动板32，使Y轴方向可动板32沿着沿Y轴方向配设于X轴方向可动板31上的一对导轨36、36在Y轴方向上进退。
[0020]在框体5的水平壁部5b的内部收纳有构成激光照射单元6的光学系统(省略图示)。在水平壁部5b的前端部下表面侧配设有构成激光照射单元6的一部分的聚光器6a。对准单元7的照相机7a配设于相对于聚光器6a在图中箭头X所示的X轴方向上相邻的位置。照相机7a包含：通过可见光线进行拍摄的通常的拍摄元件(CCD)；对被加工物照射红外线的红外线照射单元；捕捉通过红外线照射单元照射的红外线的光学系统；以及输出与该光学系统所捕捉的红外线对应的电信号的拍摄元件(红外线CCD)等。
[0021]在激本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脉冲宽度测量装置，其由多个光学部件构成，测量脉冲激光束的脉冲宽度，其中，该脉冲宽度测量装置具有：入射部，其接受脉冲激光束；偏振分束器，其将从该入射部入射的脉冲激光束分支至第一光路和第二光路；第一反射镜，其使分支至该第一光路的第一激光束朝向该偏振分束器反射；第二反射镜，其使分支至该第二光路的第二激光束朝向该偏振分束器反射；第一1/4波长板，其配设于该偏振分束器与该第一反射镜之间；第二1/4波长板，...

【专利技术属性】
技术研发人员：外山宏慈，木村展之，片山浩一，能丸圭司，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：