一种半导体基板光学检查机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体基板光学检查机构，包括第一底座，第一底座上表面并列固定安装有第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板，第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板上端设置有对中结构，对中结构包括放置座，放置座一侧固定安装有从动板，另一侧设置有主动板，放置座底部固定安装有下连接板。该装置结构简单，设计新颖，通过设计基板防磨损结构，可避免半导体基板在移动过程中与工作台的直接接触，降低半导体基板在移动过程中由于磨损导致后期无法使用的现象，而离子风力和气孔的设计，可在半导体移动过程中去除半导体基板表面存在的静电现象，从而二次降低半导体基板受到的损伤，因此该装置适合广泛推广。因此该装置适合广泛推广。因此该装置适合广泛推广。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体基板光学检查机构


[0001]本技术涉及半导体检测设备
，尤其涉及一种半导体基板光学检查机构。

技术介绍

[0002]半导体基板检测可使用光学检测，基于光学原理来对生产中遇到的常见缺陷进行检测；检测时，机器通过摄像头自动扫描半导体基板，采集图像，测试的数据与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出半导体基板的缺陷，并通过显示器把缺陷显示出来，供维修人员修整。
[0003]现有的半导体光学检查机构在使用时，由于需要对半导体基板进行运输至摄像头下方，在运输过程中会对半导体基板产生一定磨损，严重时会影响半导体基板后期的使用，同时由于半导体基板在运输过程中会产生静电现象，进而二次提高了半导体基板在检测过程中的损伤现象，针对上述问题，我们提出一种半导体基板光学检查机构解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)技术目的
[0005]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种半导体基板光学检查机构，该装置结构简单，设计新颖，通过设计基板防磨损结构，可避免半导体基板在移动过程中与工作台的直接接触，降低半导体基板在移动过程中由于磨损导致后期无法使用的现象，而离子风力和气孔的设计，可在半导体移动过程中去除半导体基板表面存在的静电现象，从而二次降低半导体基板受到的损伤，因此该装置适合广泛推广。
[0006](二)技术方案
[0007]本技术提供了一种半导体基板光学检查机构，包括第一底座，所述第一底座上表面并列固定安装有第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板，所述第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板上端设置有对中结构，所述对中结构包括放置座，所述放置座一侧固定安装有从动板，另一侧设置有主动板，所述放置座底部固定安装有下连接板，所述放置座上表面开设有滑轨槽，所述滑轨槽内部设置有基板运输装置，所述放置座上表面位于主动板和从动板之间设置有第一夹持装置和第二夹持装置，所述第一夹持装置和第二夹持装置分别与主动板和从动板固定连接，所述第一夹持装置和第二夹持装置结构相同，所述第一夹持装置和第二夹持装置内部均设置有基板防磨损结构，两组所述基板防磨损结构之间设置于半导体基板。
[0008]优选的，所述第一底座上表面位于第一支撑板和第二支撑板之间固定安装有第二底座，所述第二底座两端分别固定安装有第一高清摄像仪和第二高清摄像仪，所述第一高清摄像仪和第二高清摄像仪均与外界pc端连接，第一高清摄像仪和第二高清摄像仪起到对半导体基板进行检测的作用。
[0009]优选的，所述第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板和下连接板之间插接有固定
杆，所述第二支撑板与下连接板之间还插接有限位杆，固定杆起到支撑的作用，而限位杆起到锁定防止对中结构旋转的作用。
[0010]优选的，所述放置座内部设置有第一电动推杆，所述主动板远离放置座的一侧外壁固定安装有锁扣，所述第一电动推杆一端通过锁扣与主动板固定连接，所述放置座上表面位于滑轨槽的两侧开设有气孔，所述放置座内部位于第一电动推杆的两端安装有离子风机，所述离子风机与气孔贯通，第一电动推杆可带动主动板靠拢从动板，从而将半导体基板自动对中。
[0011]优选的，所述基板运输装置包括固定块，所述固定块的大小与滑轨槽相适配，所述固定块固定安装在滑轨槽内部，两组所述固定块之间设置有电动滑轨，所述电动滑轨上表面滑动连接有滑块，所述滑块顶部固定安装有支撑板和第二电动推杆，所述支撑板顶部固定安装有上压板，所述第二电动推杆顶部固定安装有下压板，所述下压板上表面安装有橡胶块，所述下压板与上压板为上下垂直分布，上压板与半导体基板上表面等高，第二电动推杆可带动下压板上移从而配合上压板对半导体基板进行固定。
[0012]优选的，所述第一夹持装置包括第一夹持板，所述第一夹持板内部开设有滑槽，所述滑槽远离开口的一侧开设有第一限位槽，所述滑槽上下侧内壁开设有凹槽，所述凹槽内部安装有滚轮，所述滚轮的数量为若干组，滚轮可降低夹持块在第一夹持装置和第二夹持装置内部运动时的摩擦力。
[0013]优选的，所述基板防磨损结构包括夹持块，所述夹持块的大小与滑槽相适配，所述夹持块上下外壁开设有第二限位槽，所述第二限位槽与滚轮相互贴合，所述夹持块靠近第一限位槽的一侧外壁固定安装有限位块，所述限位块的大小与第一限位槽相适配，两组夹持块可对半导体基板进行夹持，避免半导体基板与第一夹持装置和第二夹持装置的直接接触，降低半导体基板在移动过程中的磨损现象。
[0014]与现有技术相比，本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
[0015]1、该装置通过设置对中结构、基板运输装置、基板防磨损结构、离子风机和气孔，使用时，通过机械手将半导体基板放置在第一夹持装置和第二夹持装置之间，之后启动第一电动推杆，第一电动推杆带动主动板和第一夹持装置向从动板和第二夹持装置靠拢，从而将半导体基板夹持在两组夹持块之间，当半导体基板固定完成后，此时启动电动滑轨和第二电动推杆，第二电动推杆可带动下压板上移从而配合上压板固定半导体基板，而电动滑轨可带动半导体基板在第一夹持装置和第二夹持装置内部通过夹持块滑动，避免半导体基板与第一夹持装置和第二夹持装置的直接接触，降低半导体基板在移动过程中的磨损现象，从而将半导体基板移动至第一高清摄像仪和第二高清摄像仪之间，进而对半导体基板进行检测，而在半导体基板移动的过程中，离子风机可通过气孔去除半导体基板表面的静电现象，进一步降低半导体基板在检测过程中的损伤现象。
[0016]综上所述，该装置结构简单，设计新颖，通过设计基板防磨损结构，可避免半导体基板在移动过程中与工作台的直接接触，降低半导体基板在移动过程中由于磨损导致后期无法使用的现象，而离子风力和气孔的设计，可在半导体移动过程中去除半导体基板表面存在的静电现象，从而二次降低半导体基板受到的损伤，因此该装置适合广泛推广。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种半导体基板光学检查机构的整体结构示意图。
[0018]图2为本技术提出的一种半导体基板光学检查机构的对中结构示意图。
[0019]图3为本技术提出的一种半导体基板光学检查机构的基板运输装置结构示意图。
[0020]图4为本技术提出的一种半导体基板光学检查机构的第一夹持装置和第二夹持装置结构示意图。
[0021]图5为本技术提出的一种半导体基板光学检查机构的第一夹持装置内部结构示意图。
[0022]图6为本技术提出的一种半导体基板光学检查机构的基板防磨损结构示意图。
[0023]附图标记；1、第一底座；2、第一支撑板；3、第二支撑板；4、第三支撑板；5、对中结构；501、放置座；502、从动板；503、主动板；504、第一电动推杆；505、锁扣；506、滑轨槽；507、离子风机；508、气孔；6、下连接板；7、基板运输装置；701、固定块；702、电动滑轨；703、滑块；704、支撑板；705、上压板；706、第二电动推杆；707、下压板；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体基板光学检查机构，包括第一底座(1)，其特征在于，所述第一底座(1)上表面并列固定安装有第一支撑板(2)、第二支撑板(3)和第三支撑板(4)，所述第一支撑板(2)、第二支撑板(3)和第三支撑板(4)上端设置有对中结构(5)，所述对中结构(5)包括放置座(501)，所述放置座(501)一侧固定安装有从动板(502)，另一侧设置有主动板(503)，所述放置座(501)底部固定安装有下连接板(6)，所述放置座(501)上表面开设有滑轨槽(506)，所述滑轨槽(506)内部设置有基板运输装置(7)，所述放置座(501)上表面位于主动板(503)和从动板(502)之间设置有第一夹持装置(8)和第二夹持装置(9)，所述第一夹持装置(8)和第二夹持装置(9)分别与主动板(503)和从动板(502)固定连接，所述第一夹持装置(8)和第二夹持装置(9)结构相同，所述第一夹持装置(8)和第二夹持装置(9)内部均设置有基板防磨损结构(13)，两组所述基板防磨损结构(13)之间设置于半导体基板(14)。2.根据权利要求1所述的一种半导体基板光学检查机构，其特征在于，所述第一底座(1)上表面位于第一支撑板(2)和第二支撑板(3)之间固定安装有第二底座(10)，所述第二底座(10)两端分别固定安装有第一高清摄像仪(11)和第二高清摄像仪(12)，所述第一高清摄像仪(11)和第二高清摄像仪(12)均与外界pc端连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体基板光学检查机构，其特征在于，所述第一支撑板(2)、第二支撑板(3)、第三支撑板(4)和下连接板(6)之间插接有固定杆，所述第二支撑板(3)与下连接板(6)之间还插接有限位杆。4.根据权利要求1所述的一种半导体基板光学检查机构，其特征在于，所述放置座(501)内部设置有第一电动推杆(504)，所述主动板(503)远离放置座(501)的一侧外壁固定安装有锁扣(505)，所述第一电动推杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕平，秦志强，岳诗磊，
申请(专利权)人：津上智造智能科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：