本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜机用冷却装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体外部固定安装有散热管，所述底板上设置有冷却机构，所述冷却机构上设置有清洗组件，所述清洗组件包括隔板，所述隔板固定安装在冷却机构上，所述冷却机构上固定安装有与隔板固定连接的超声波换能器。该真空镀膜机用冷却装置，通过设置清洗组件，可对冷却机构内部进行自动超声波振动清洗，从而提高对冷却机构的清洗效率和清洗效果，降低对冷却机构维护的难度，方便使用者使用，解决了现有的冷却装置上的水箱会产生大量的水垢，不定时进行清洗，水垢进入水冷管会使其发生堵塞，降低水冷管的使用效果的问题。降低水冷管的使用效果的问题。降低水冷管的使用效果的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用冷却装置
[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机用冷却装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。
[0003]真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，目前常见的冷却装置一般是在真空镀膜机腔体外部焊接水冷管进行循环水冷散热，然而提供冷水的水箱在长时间使用后内部会产生大量的水垢，若不定时对水箱进行清洗，水垢进入水冷管后会使其发生堵塞，进而会降低水冷管的使用效果。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜机用冷却装置，具备便于对水箱内壁的水垢进行及时清洗等优点，解决了现有的冷却装置上提供冷水的水箱在长时间使用后内部会产生大量的水垢，若不定时对水箱进行清洗，水垢进入水冷管后会使其发生堵塞，进而会降低水冷管的使用效果的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机用冷却装置，包括底板，所述底板的顶部固定安装有真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体外部固定安装有散热管，所述底板上设置有冷却机构，所述冷却机构上设置有清洗组件；
[0006]所述清洗组件包括隔板，所述隔板固定安装在冷却机构上，所述冷却机构上固定安装有与隔板固定连接的超声波换能器。
[0007]进一步，所述冷却机构包括冷却水箱，所述冷却水箱固定安装在底板的顶部且位于真空镀膜机本体的左侧，所述冷却水箱内壁的左侧固定安装有制冷内机，所述冷却水箱的左侧固定安装有与制冷内机相匹配的散热外机，所述冷却水箱的顶部固定安装有分别与冷却水箱和散热管相连通的第一水泵，所述底板的顶部且位于真空镀膜机本体的前侧固定安装有分别与冷却水箱和散热管相连通的第二水泵。
[0008]进一步，所述冷却水箱的内部且位于制冷机的上方活动安装有活性炭过滤网，所述活性炭过滤网的底部固定安装有安装盒，所述安装盒的内部固定安装有固定块，所述固定块的左右两侧均固定安装有支撑杆，两个所述支撑杆的外部均套接有一端贯穿安装盒并与冷却水箱内壁活动连接的插板，两个所述插板的底部均固定安装有一端贯穿并延伸到安装盒下方的拉板，所述支撑杆的外部且位于两个插板相对的一侧套接有弹簧。
[0009]进一步，所述隔板固定安装在冷却水箱的内部位于制冷内机的下方，所述超声波换能器固定安装在冷却水箱的内底壁且顶部与隔板的底部固定连接，所述隔板为不锈钢
板，所述散热管为金属管。
[0010]进一步，所述第一水泵的进水口通过第一抽水管与散热管的一端相连通，所述第一水泵的出水口通过排水管与冷却水箱的顶部相连通，所述第二水泵的进水口通过第二抽水管与冷却水箱的右侧相连通，所述第二水泵的出水口通过输水管与散热管远离第一抽水管的一端相连通，所述第二抽水管位于活性炭过滤网和隔板之间。
[0011]进一步，所述安装盒的底部开设有与两个拉板相匹配的活动孔，所述冷却水箱内壁的左右两侧均开设有插槽，所述插板相背的一侧延伸至插槽的内部，所述插槽与插板相匹配。
[0012]进一步，两个所述弹簧相对的一侧分别与固定块的左右两侧固定连接，所述弹簧相背的一侧与插板相对的一侧固定连接。
[0013]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0014]1、该真空镀膜机用冷却装置，通过设置清洗组件，可对冷却机构内部进行自动超声波振动清洗，从而提高对冷却机构的清洗效率和清洗效果，降低对冷却机构维护的难度，方便使用者使用。
[0015]2、该真空镀膜机用冷却装置，通过在冷却机构的内部活动安装有活性炭过滤网，可对冷却水过滤后再对真空镀膜机本体循环水冷散热，同时方便使用者对活性炭过滤网进行拆卸维护，进一步方便使用者使用。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中A处放大图；
[0018]图3为本技术图1中B处放大图。
[0019]图中：1底板、2真空镀膜机本体、3散热管、4冷却机构、41冷却水箱、42制冷内机、43散热外机、44第一水泵、45第二水泵、5活性炭过滤网、51安装盒、52固定块、53支撑杆、54插板、55拉板、56弹簧、6清洗组件、61隔板、62超声波换能器。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
3，本实施例中的一种真空镀膜机用冷却装置，包括底板1，底板1的顶部固定安装有真空镀膜机本体2，真空镀膜机本体2外部固定安装有散热管3，底板1上设置有冷却机构4，冷却机构4上设置有清洗组件6，通过设置清洗组件6，可对冷却机构4内部进行自动超声波振动清洗，从而提高对冷却机构4的清洗效率和清洗效果，降低对冷却机构4维护的难度，方便使用者使用。
[0022]其中，清洗组件6包括隔板61，隔板61固定安装在冷却机构4上，冷却机构4上固定安装有与隔板61固定连接的超声波换能器62。
[0023]具体的，通过开启超声波换能器62将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过
隔板61将超声波辐射到冷却机构4内的清洗液中，由于受到超声波的辐射，使冷却机构4内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动，破坏水垢与冷却机构4内壁的吸附能力，引起污物层的疲劳破坏而将水垢驳离，从而完成对冷却机构4内的清洗，如此，可对冷却机构4内部进行自动超声波振动清洗，防止水垢进入散热管3内使其发生堵塞的情况，提高散热管3使用的效果。
[0024]参阅图1，本实施例中，冷却机构4包括冷却水箱41，冷却水箱41固定安装在底板1的顶部且位于真空镀膜机本体2的左侧，冷却水箱41内壁的左右两侧均开设有插槽，冷却水箱41内壁的左侧固定安装有制冷内机42，冷却水箱41的内部且位于制冷内机42的上方活动安装有活性炭过滤网5，冷却水箱41的左侧固定安装有与制冷内机42相匹配的散热外机43，冷却水箱41的顶部固定安装有分别与冷却水箱41和散热管3相连通的第一水泵44，底板1的顶部且位于真空镀膜机本体2的前侧固定安装有分别与冷却水箱41和散热管3相连通的第二水泵45。
[0025]具体的，通过开启制冷内机42和散热外机43对冷却水箱41内的水进行冷却，启动第二水泵45将冷却水通进散热管3内，散热管3对真空镀膜机本体2散发的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用冷却装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有真空镀膜机本体(2)，所述真空镀膜机本体(2)外部固定安装有散热管(3)，所述底板(1)上设置有冷却机构(4)，所述冷却机构(4)上设置有清洗组件(6)；所述清洗组件(6)包括隔板(61)，所述隔板(61)固定安装在冷却机构(4)上，所述冷却机构(4)上固定安装有与隔板(61)固定连接的超声波换能器(62)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用冷却装置，其特征在于：所述冷却机构(4)包括冷却水箱(41)，所述冷却水箱(41)固定安装在底板(1)的顶部且位于真空镀膜机本体(2)的左侧，所述冷却水箱(41)内壁的左侧固定安装有制冷内机(42)，所述冷却水箱(41)的左侧固定安装有与制冷内机(42)相匹配的散热外机(43)，所述冷却水箱(41)的顶部固定安装有分别与冷却水箱(41)和散热管(3)相连通的第一水泵(44)，所述底板(1)的顶部且位于真空镀膜机本体(2)的前侧固定安装有分别与冷却水箱(41)和散热管(3)相连通的第二水泵(45)。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用冷却装置，其特征在于：所述冷却水箱(41)的内部且位于制冷内机(42)的上方活动安装有活性炭过滤网(5)，所述活性炭过滤网(5)的底部固定安装有安装盒(51)，所述安装盒(51)的内部固定安装有固定块(52)，所述固定块(52)的左右两侧均固定安装有支撑杆(53)，两个所述支撑杆(53)的外部均套接有一端贯穿安装盒(51)并与冷却水箱(41)内壁活动连...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢学东，谢辉东，
申请(专利权)人：丹阳市宝来利真空机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。