一种PECVD反应室电极杆制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；内绝缘座和外绝缘座套设在连接杆上，外锁紧筒套设于接线杆和外绝缘座上，锁紧筒与轴环外侧相抵，锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，第一限位槽内设置有限位板，接线杆的一端设置有第二限位槽，当接线杆的一端螺纹连接至连接杆的螺纹孔后，限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；锁紧筒中间为方形孔，接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，轴肩穿设在锁紧筒的方形孔内。本实用新型专利技术具有结构简单、改造简便、连接可靠等优点。靠等优点。靠等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD反应室电极杆


[0001]本技术主要涉及PECVD设备
，具体涉及一种PECVD反应室电极杆。

技术介绍

[0002]PECVD是等离子体增强化学气相沉积设备，主要用于电池片表面沉积钝化薄膜，为了改善薄膜物理性能及光学性能，需在石墨舟上引入电场。因此，电极杆作为PECVD反应室重要部件，在实施工艺过程中的作用至关重要。
[0003]目前本专利申请人所设计的PECVD反应室电极杆结构如图1所示，其具体包括部件：接线杆1、防护罩2、螺钉3、压紧套4、内绝缘座5、绝缘帽6、螺母7、锁紧筒8、外绝缘座9、电极法兰10、电极头连接杆11和不同规格的密封圈。在进行安装时，首先接线杆1与电极头连接杆11连接；然后依次装入密封圈、外绝缘座9、密封圈、内绝缘座5、密封圈、电极法兰10和锁紧筒8；装入压紧套4后用螺钉3将其固定在电极法兰10上，接着将两个螺母7装到接线杆上；最后，依次将防护罩2和绝缘帽6装到接线杆1上。
[0004]从上述结构可知，电极杆结构存在以下缺点和不足：在PECVD设备工艺过程中，反应室内部温度达600
°
以上，由于受热胀冷缩影响，电极杆螺母7极易松动，引起接线杆1径向旋转，存在电极杆接触不良隐患，进而严重影响PECVD工艺结果。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本技术提供一种连接可靠、提高放电可靠性的PECVD反应室电极杆。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提出的技术方案为：/>[0007]一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；所述接线杆的一端与所述接线杆的一端螺纹连接，所述内绝缘座套设在所述连接杆上，所述外绝缘座套设于接线杆上轴环与内绝缘座之间的连接杆上，所述锁紧筒套设于所述接线杆和外绝缘座上，所述锁紧筒的一端内侧与接线杆上的轴环外侧相抵，所述锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，所述连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，所述第一限位槽内设置有限位板，所述接线杆的一端设置有第二限位槽，当所述接线杆的一端螺纹连接至所述连接杆的螺纹孔后，所述限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；所述锁紧筒中间为方形孔，所述接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，所述轴肩穿设在所述锁紧筒的方形孔内。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进：
[0009]所述外绝缘座的一端与轴环内侧相抵，所述外绝缘座另一端的环形挡部与内绝缘座一端的环形挡部相抵，所述外绝缘座和内绝缘座的环形挡部均位于锁紧筒与电极法兰之间，所述内绝缘座的另一端则穿过所述电极法兰的法兰孔。
[0010]所述锁紧筒的另一端设置有环形挡部，所述锁紧筒的环形挡部内侧与外绝缘座的
环形挡部相抵。
[0011]所述压紧组件包括环形的压紧套和螺钉，所述压紧套的截面呈L形，所述压紧套的一边与锁紧筒的环形挡部的外侧相抵，所述螺钉穿过压紧套的一边后与电极法兰螺纹连接。
[0012]所述锁紧筒的环形挡部的圆周方向上开设有多个缺口，各所述缺口与所述螺钉一一对应，所述螺钉则位于所述缺口内。
[0013]所述限位板的形状为弓形。
[0014]所述第二限位槽为环形槽。
[0015]所述外绝缘座与轴环之间设置有第一密封件。
[0016]所述内绝缘座的环形挡部与电极法兰之间设置有第二密封件。
[0017]所述外绝缘座的环形挡部与内绝缘座的环形挡部和连接杆之间设置有第三密封件。
[0018]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0019]本技术的PECVD反应室电极杆，通过限位板卡设于连接杆的第一限位槽和接线杆的第二限位槽内，从而对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位，在此基础上，通过锁紧筒的方形孔对接线杆的方形轴肩进行径向限位；通过上述的轴向限位和径向限位，进而保证连线杆与连接杆之间连接的可靠性，防止连线杆与连接杆松动，提高电极杆放电可靠性。
[0020]本技术在锁紧筒的环形挡部的圆周方向上开设有多个缺口，各缺口与螺钉一一对应，螺钉则位于缺口内，进一步实现对锁紧筒径向方向的限位；故通过上述的压紧组件与缺口的配合，一方面可以对连线杆在轴向方向的限位，另一方面也可以实现其径向方向的限位。
附图说明
[0021]图1为现有技术中的电极杆结构剖视图。
[0022]图2为本技术的电极杆在实施例的剖视图。
[0023]图3为图2的A
‑
A视图。
[0024]图4为图3的局部视图。
[0025]图5为本技术中的连接杆在实施例的结构示意图。
[0026]图6为本技术中的限位板在实施例的结构示意图。
[0027]图7为本技术中的锁紧筒在实施例的结构示意图。
[0028]图8为本技术中的接线杆在实施例的结构示意图。
[0029]图例说明：1、接线杆；101、第二限位槽；102、轴环；103、轴肩；2、防护罩；3、螺钉；4、压紧套；5、内绝缘座；6、绝缘帽；7、螺母；8、锁紧筒；801、方形孔；802、缺口；9、外绝缘座；10、电极法兰；11、连接杆；1101、第一限位槽；12、限位板；13、第一密封件；14、第二密封件；15、第三密封件。
具体实施方式
[0030]以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步描述。
[0031]如图2所示，本技术实施例的PECVD反应室电极杆，包括接线杆1、连接杆11、内绝缘座5、外绝缘座9、锁紧筒8、压紧组件和电极法兰10；接线杆1的一端与接线杆1的一端螺纹连接，接线杆1的另一端则设有绝缘帽6；其中内绝缘座5套设在连接杆11上，外绝缘座9套设于接线杆1上轴环102与内绝缘座5之间的连接杆11上，即外绝缘座9的一端与轴环102内侧相抵，外绝缘座9的另一端则与内绝缘座5的一端相抵，内绝缘座5的另一端则穿过电极法兰10的法兰孔；连接杆11的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽1101(如图5所示)，第一限位槽1101内设置有限位板12，接线杆1的一端设置有第二限位槽101(如图8所示)，当接线杆1的一端螺纹连接至连接杆11的螺纹孔后，限位板12卡设于第一限位槽1101和第二限位槽101内，以对接线杆1与连接杆11之间的轴向运动进行限位；锁紧筒8套设于接线杆1和外绝缘座9上，锁紧筒8的一端内侧与接线杆1上的轴环102外侧相抵，锁紧筒8的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座9上，进而将外绝缘座9和内绝缘座5均压设在电极法兰10上；其中锁紧筒8中间为方形孔801(如图7所示)，接线杆1于轴环102的一侧设置有方形轴肩103(如图8所示)，方形轴肩103穿设在锁紧筒8的方形孔801内。
[0032]本技术的PECVD反应室电极杆，通过限位板12卡设于连接杆11的第一限位槽1101和接线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD反应室电极杆，其特征在于，包括接线杆(1)、连接杆(11)、内绝缘座(5)、外绝缘座(9)、锁紧筒(8)、压紧组件和电极法兰(10)；所述接线杆(1)的一端与所述接线杆(1)的一端螺纹连接，所述内绝缘座(5)套设在所述连接杆(11)上，所述外绝缘座(9)套设于接线杆(1)上轴环(102)与内绝缘座(5)之间的连接杆(11)上，所述锁紧筒(8)套设于所述接线杆(1)和外绝缘座(9)上，所述锁紧筒(8)的一端内侧与接线杆(1)上的轴环(102)外侧相抵，所述锁紧筒(8)的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座(9)上，所述连接杆(11)的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽(1101)，所述第一限位槽(1101)内设置有限位板(12)，所述接线杆(1)的一端设置有第二限位槽(101)，当所述接线杆(1)的一端螺纹连接至所述连接杆(11)的螺纹孔后，所述限位板(12)卡设于第一限位槽(1101)和第二限位槽(101)内，以对接线杆(1)与连接杆(11)之间的轴向运动进行限位；所述锁紧筒(8)中间为方形孔(801)，所述接线杆(1)于轴环(102)的一侧设置有方形轴肩(103)，所述轴肩(103)穿设在所述锁紧筒(8)的方形孔(801)内。2.根据权利要求1所述的PECVD反应室电极杆，其特征在于，所述外绝缘座(9)的一端与轴环(102)内侧相抵，所述外绝缘座(9)另一端的环形挡部与内绝缘座(5)一端的环形挡部相抵，所述外绝缘座(9)和内绝缘座(5)的环形挡部均位于锁紧筒(8)与电极法兰(10)之间，所述内绝缘座(5)的另一端则穿过...

【专利技术属性】
技术研发人员：王随心，刘舟，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：