金属蒸镀机的坩埚清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及LED技术领域，尤其涉及金属蒸镀机的坩埚清洁装置，包括上夹板、下夹板和调节杆；所述上夹板和下夹板相互平行，所述上夹板和下夹板滑动连接；所述调节杆的一端与下夹板转动连接，所述调节杆的另一端与上夹板螺纹连接；所述上夹板设有坩埚放置槽。本实用新型专利技术提供的金属蒸镀机的坩埚清洁装置可以避免卡坩埚导致片源返工，避免坩埚在受到撞击时发生开裂的问题，节约了成本，保证了机台的稳定性，提高了产品的质量，有利于提高产能。有利于提高产能。有利于提高产能。

【技术实现步骤摘要】
金属蒸镀机的坩埚清洁装置


[0001]本技术涉及LED
，尤其涉及金属蒸镀机的坩埚清洁装置。

技术介绍

[0002]电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。金属蒸镀装置的结构可以参考申请号为201920305346.0、名称为蒸发台坩埚装置及蒸发台系统的中国技术专利。在电子束加热装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，可避免蒸发材料与坩埚壁发生反应影响薄膜的质量，因此，电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发。
[0003]蒸发铂金时需要用钨坩埚装起来用电子束进行加热，电子束在加热铂金的过程中会出现边缘凸起的现象，凸起的部分会刮到冷却水盘，因此需要用工具把凸出部分敲掉，否则会降低作业的可靠性。现有的做法是将坩埚放置在地面上，利用錾子和铁锤对坩埚进行敲击，这种作业方式的可靠性较低，容易造成坩埚被敲裂。

技术实现思路

[0004]为了克服上述现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种避免坩埚受损的金属蒸镀机的坩埚清洁装置，
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：金属蒸镀机的坩埚清洁装置，包括上夹板、下夹板和调节杆；
[0006]所述上夹板和下夹板相互平行，所述上夹板和下夹板滑动连接；
[0007]所述调节杆的一端与下夹板转动连接，所述调节杆的另一端与上夹板螺纹连接；
[0008]所述上夹板设有坩埚放置槽。
[0009]进一步地，所述上夹板包括连接板和铝制底座，所述连接板与所述调节杆螺纹连接，所述连接板与所述铝制底座连接，所述坩埚放置槽设置在所述铝制底座上。
[0010]进一步地，所述调节杆的另一端设有旋钮。
[0011]进一步地，还包括导杆，所述导杆平行于所述调节杆，所述导杆的一端与所述下夹板固定连接，所述导杆的另一端与所述上夹板滑动连接。
[0012]进一步地，所述上夹板和所述下夹板均设有橡胶防滑层。
[0013]本技术的有益效果在于：提供一种金属蒸镀机的坩埚清洁装置，将坩埚放置在坩埚放置槽中，转动调节杆使上夹板和下夹板配合夹紧台面，保证坩埚放置后的稳定性，即可利用工具对坩埚上凸起的铂金部分进行敲击，避免卡坩埚导致片源返工，避免坩埚在受到撞击时发生开裂的问题，节约了成本，保证了机台的稳定性，提高了产品的质量，有利于提高产能。
附图说明
[0014]图1所示为本技术实施例的金属蒸镀机的坩埚清洁装置的主视图；
[0015]图2所示为本技术实施例的金属蒸镀机的坩埚清洁装置的俯视图；
[0016]标号说明：
[0017]1、上夹板；11、坩埚放置槽；12、连接板；13、铝制底座；2、下夹板；21、橡胶防滑层；3、调节杆；31、旋钮；4、导杆。
具体实施方式
[0018]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0019]本技术提供一种金属蒸镀机的坩埚清洁装置，应用在金属蒸镀机设备当中。
[0020]请参照图1至图2所示，本技术的金属蒸镀机的坩埚清洁装置，包括上夹板1、下夹板2和调节杆3；
[0021]所述上夹板1和下夹板2相互平行，所述上夹板1和下夹板2滑动连接；
[0022]所述调节杆3的一端与下夹板2转动连接，所述调节杆3的另一端与上夹板1螺纹连接；
[0023]所述上夹板1设有坩埚放置槽11。
[0024]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：提供一种金属蒸镀机的坩埚清洁装置，将坩埚放置在坩埚放置槽11中，转动调节杆3使上夹板1和下夹板2配合夹紧台面，保证坩埚放置后的稳定性，即可利用工具对坩埚上凸起的铂金部分进行敲击，避免卡坩埚导致片源返工，避免坩埚在受到撞击时发生开裂的问题，节约了成本，保证了机台的稳定性，提高了产品的质量，有利于提高产能。
[0025]在可选实施例中，所述上夹板1包括连接板12和铝制底座13，所述连接板12与所述调节杆3螺纹连接，所述连接板12与所述铝制底座13连接，所述坩埚放置槽11设置在所述铝制底座13上。
[0026]从上述描述可知，连接板12起到支撑连接的作用，利用铝制底座13盛放坩埚，减少敲打时带来的冲击把钨坩埚敲裂，使用铝制底座13也易于加工和降低成本。
[0027]在可选实施例中，所述调节杆3的另一端设有旋钮31。
[0028]从上述描述可知，旋钮31起到方便能操作的作用。
[0029]在可选实施例中，还包括导杆4，所述导杆4平行于所述调节杆3，所述导杆4的一端与所述下夹板2固定连接，所述导杆4的另一端与所述上夹板1滑动连接。
[0030]从上述描述可知，导杆4起到导向定位的作用。
[0031]在可选实施例中，所述上夹板1和所述下夹板2均设有橡胶防滑层21。
[0032]从上述描述可知，橡胶防滑层21起到增大摩擦系数，防止打滑的作用。
[0033]本技术的工作原理是：使用时，先将上夹板1和下夹板2分别放置在待夹持台面的上下两侧，将下夹板2的上部顶靠在台面的下部，转动旋钮31控制上夹板1下降至抵靠在台面的上部，完成装夹，然后将坩埚放置在坩埚放置槽11中，保证坩埚放置后的稳定性后即可利用工具对坩埚上凸起的铂金部分进行敲击。
[0034]请参照图1至图2所示，本技术的实施例一为：金属蒸镀机的坩埚清洁装置，包
括上夹板1、下夹板2和调节杆3；
[0035]所述上夹板1和下夹板2相互平行，所述上夹板1和下夹板2滑动连接；
[0036]所述调节杆3的一端与下夹板2转动连接，所述调节杆3的另一端与上夹板1螺纹连接；
[0037]所述上夹板1设有坩埚放置槽11。
[0038]所述上夹板1包括连接板12和铝制底座13，所述连接板12与所述调节杆3螺纹连接，所述连接板12与所述铝制底座13连接，所述坩埚放置槽11设置在所述铝制底座13上。所述调节杆3的另一端设有旋钮31。还包括导杆4，所述导杆4平行于所述调节杆3，所述导杆4的一端与所述下夹板2固定连接，所述导杆4的另一端与所述上夹板1滑动连接。所述上夹板1和所述下夹板2均设有橡胶防滑层21。
[0039]综上所述，本技术提供一种金属蒸镀机的坩埚清洁装置，将坩埚放置在坩埚放置槽中，转动调节杆使上夹板和下夹板配合夹紧台面，保证坩埚放置后的稳定性，即可利用工具对坩埚上凸起的铂金部分进行敲击，避免卡坩埚导致片源返工，避免坩埚在受到撞击时发生开裂的问题，节约了成本，保证了机台的稳定性，提高了产品的质量，有利于提高产能。
[0040]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.金属蒸镀机的坩埚清洁装置，其特征在于，包括上夹板(1)、下夹板(2)和调节杆(3)；所述上夹板(1)和下夹板(2)相互平行，所述上夹板(1)和下夹板(2)滑动连接；所述调节杆(3)的一端与下夹板(2)转动连接，所述调节杆(3)的另一端与上夹板(1)螺纹连接；所述上夹板(1)设有坩埚放置槽(11)。2.根据权利要求1所述的金属蒸镀机的坩埚清洁装置，其特征在于，所述上夹板(1)包括连接板(12)和铝制底座(13)，所述连接板(12)与所述调节杆(3)螺纹连接，所述连接板(12)与所述铝制底座(13)连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾淮海，刘莹，黄自培，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：