一种用于探针卡的水平调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于探针卡的水平调节机构，包括连接座、调节块、调节螺丝和探针卡主体，所述调节块上设有四个第一调节螺孔；所述连接座中间为调节区域，调节区域设有四个第二调节螺孔；所述调节块置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔与第二调节螺孔位置相对，调节螺丝与第一调节螺孔、第二调节螺孔均螺纹配合，旋转调节螺丝即可调整调节块的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。本实用新型专利技术利用调节螺丝来改变调节块的水平度，从而灵活调节与调节块抵接的探针卡的水平度，保证探针卡处于水平状态，保证探针卡与晶圆能够更好地接触，保证晶圆测试精准度。保证晶圆测试精准度。保证晶圆测试精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于探针卡的水平调节机构


[0001]本技术涉及晶圆测试
，特别涉及一种用于探针卡的水平调节机构。

技术介绍

[0002]探针卡是一种用于晶圆检测的测试装置，通过将测试机的测试信号通过自身传递给被测对象，并将被测对象的响应信号经由自身回传给测试机，实现芯片性能的测试，配合其他测试及分析仪器可以实现完整的芯片优劣、性能高低的测试，实现不良品的筛选，降低不必要的封装成本。探针卡在与晶圆接触时，探针卡的水平度十分重要，水平度越好，探针与晶圆的接触更好，保证晶圆测试的准确性。而现有探针卡安装到测试机上后，往往没有单独的调平操作，使得探针卡的水平度有轻微偏差，虽然探针卡仍可以进行晶圆检测，但是检测精度会有影响。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提供了一种用于探针卡的水平调节机构，可以微调探针卡的水平度，提高晶圆检测精度。
[0004]为此，本技术的技术方案是：一种用于探针卡的水平调节机构，包括连接座、调节块、调节螺丝和探针卡主体，所述调节块上设有四个第一调节螺孔；所述连接座中间为调节区域，调节区域设有四个第二调节螺孔；所述调节块置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔与第二调节螺孔位置相对，调节螺丝与第一调节螺孔、第二调节螺孔均螺纹配合，旋转调节螺丝即可调整调节块的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。
[0005]本技术放置在探针卡上使用，探针卡主体包括PCB基板、转接板、探针模组等，探针卡装配好后，再通过连接座安装到测试机上。连接座与调节块事先通过调节螺丝固定在一起，连接座与探针卡之间通过安装螺丝连接，调平时，安装螺丝不拧紧，在显微镜下贯穿探针卡的水平度，然后根据观察的结果，轻微旋转相应位置的调节螺丝，使得调节块发生轻微倾斜，从而改变与调节块抵触的探针卡主体的水平度，保证探针卡与晶圆能够更好的接触。
[0006]优选地，还包括水平垫块，水平垫块置于调节块与探针卡主体之间；所述水平垫块由优力胶制成，为圆形结构。水平垫块可以隔开调节螺丝和探针卡主体之间的接触，保证调节水平时，调节螺丝不会损伤探针卡主体，且优力胶材质的垫块强度好，压缩变形小，既具有塑料的刚性，又有橡胶的弹性。
[0007]优选地，所述调节块为亚克力材质，调节块为圆形结构，调节块上的四个第一调节螺孔呈正方形分布。四个第一调节螺钉构成的正方形对角线交点即为调节块的圆心，保证四个第一调节螺孔位置对称，可以改动调节块的四个对称点的高度，从而改变调节块的整体倾斜度。
[0008]优选地，所述连接座上还设有若干安装螺孔，探针卡主体与连接座通过若干安装螺丝固定连接。探针卡主体通过安装螺丝与连接座固定，连接座再安装到测试机上。
[0009]优选地，所述连接座的调节区域为圆形结构，调节区域外侧为镂空结构。连接座的调节区域与调节块的尺寸形状相匹配，镂空结构可以减轻连接座的重量。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：在连接座和探针卡主体之间设置调节块，利用调节螺丝来改变调节块的水平度，从而灵活调节与调节块抵接的探针卡的水平度，保证探针卡处于水平状态，保证探针卡与晶圆能够更好地接触，保证晶圆测试精准度。
附图说明
[0011]以下结合附图和本技术的实施方式来作进一步详细说明
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的结构剖视图；
[0014]图3为本技术的零件爆炸图；
[0015]图4为本技术工作状态图；
[0016]图5为本技术工作状态的零件爆炸图。
[0017]图中标记为：连接座1、调节区域11、镂空结构12、第二调节螺孔13、安装螺孔14、调节块2、第一调节螺孔21、水平垫块3、调节螺丝4、PCB基板5、PCB转接板6、探针模组7。
具体实施方式
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。
[0019]此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]参见附图。本实施例所述水平调节机构，用于连接探针卡主体和测试机，包括连接座1、调节块2、水平垫块3和调节螺丝4。
[0021]所述连接座1整体为正方形结构，四个端点为倒角，连接座中间为调节区域11，调节区域为圆形结构，调节区域外侧为镂空结构12，镂空结构可以减轻连接座的重量。所述调节区域11设有四个第二调节螺孔13，四个第二调节螺孔呈正方形分布，即四个第二调节螺孔构成正方形的端点；所述连接座1上还设有若干安装螺孔14，探针卡主体与连接座通过若干安装螺丝固定连接。探针卡主体通过安装螺丝与连接座固定，连接座再安装到测试机上。
[0022]所述调节块2为亚克力材质，调节块为圆形结构，调节块2上的四个第一调节螺孔21呈正方形分布。四个第一调节螺钉21构成的正方形对角线交点即为调节块的圆心，保证四个第一调节螺孔位置对称，可以改动调节块的四个对称点的高度，从而改变调节块的整体倾斜度。
[0023]所述水平垫块3置于调节块与探针卡主体之间，水平垫块3由优力胶制成，为圆形
结构。水平垫块可以隔开调节螺丝和探针卡主体之间的接触，保证调节水平时，调节螺丝不会损伤探针卡主体，且优力胶材质的垫块强度好，压缩变形小，既具有塑料的刚性，又有橡胶的弹性。
[0024]所述调节块2置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔21与第二调节螺孔13位置相对，调节螺丝4与第一调节螺孔21、第二调节螺孔13均螺纹配合，旋转调节螺丝4即可调整调节块2的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。
[0025]探针卡主体包括PCB基板5、PCB转接板6、探针模组7等，探针卡装配好后，再通过连接座安装到测试机上。连接座1与调节块2事先通过调节螺丝4固定在一起，连接座与探针卡之间通过安装螺丝连接，调平时，安装螺丝不拧紧，在显微镜下贯穿探针卡的水平度，然后根据观察的结果，轻微旋转相应位置的调节螺丝，使得调节块发生轻微倾斜，从而改变与调节块抵触的探针卡主体的水平度，保证探针卡与晶圆能够更好的接触。
[0026]以上所述仅是本技术的优选实施方式，本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：包括连接座、调节块、调节螺丝和探针卡主体，所述调节块上设有四个第一调节螺孔；所述连接座中间为调节区域，调节区域设有四个第二调节螺孔；所述调节块置于连接座和探针卡主体之间，第一调节螺孔与第二调节螺孔位置相对，调节螺丝与第一调节螺孔、第二调节螺孔均螺纹配合，旋转调节螺丝即可调整调节块的倾斜度，调节块与探针卡主体相抵接。2.如权利要求1所述的一种用于探针卡的水平调节机构，其特征在于：还包括水平垫块，水平垫块置于调节块与探针卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，
申请(专利权)人：浙江微针半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：