一种水平检测装置制造方法及图纸

本申请提出了一种水平检测装置，包括：载具平台；水平测量仪，设置于所述载具平台上；固定件，将所述水平测量仪固定于所述载具平台上；支撑杆，所述支撑杆的一端与所述载具平台固定；显示组件，设置于所述支撑杆上，用于显示水平测量仪的数据。本申请可以无需对检测区域锁轨道即可对OHB进行水平检测，且避免高空作业及其带来的风险。业及其带来的风险。业及其带来的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种水平检测装置


[0001]本申请涉及水平检测
，具体涉及一种水平检测装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造技术高速发达的今天，12寸晶圆半导体工厂已经成为全球半导体行业的主流。相比于8寸晶圆，12寸晶圆拥有更大的尺寸及重量，人工搬送晶圆载体FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)或其它晶圆载体的效率，已经远远无法满足生产要求。为了解决该问题，AMHS(Automatical Material Handling System，自动物料搬运系统)应运而生。AMHS主要包括OHT(Overhead Hoist Transfer，空中走行式无人搬送车)、STK(Stocker，洁净室用自动仓储)、AGV(Automated Guided Vehicles，自动导向小车)、以及OHB(天车货架)。OHT为主要搬运设备，OHB为OHT车提供水平行驶轨道，因此其水平检测非常重要。
[0003]目前对OHB进行水平检测的场景中，OHB距离地面较高，检测人员需要使用高空车上升到OHB所在高度(一般高度为2.8米)去手动量测水平数据，并且作业时会对该区域锁轨道，导致该区域无法执行搬送。可见，这种作业方式不仅效率低下，影响生产效率，而且涉及高空作业带来的风险。

技术实现思路

[0004]鉴于此，本申请提供一种水平检测装置，无需对检测区域锁轨道即可对OHB进行水平检测，且避免高空作业及其带来的风险。
[0005]本申请提供的一种水平检测装置，包括：
[0006]载具平台；
[0007]水平测量仪，设置于所述载具平台上；
[0008]固定件，将所述水平测量仪固定于所述载具平台上；
[0009]支撑杆，所述支撑杆的一端与所述载具平台固定；
[0010]显示组件，设置于所述支撑杆上，用于显示水平测量仪的数据。
[0011]可选地，所述支撑杆为可伸缩杆，所述可伸缩杆上设置有调节旋钮，允许旋拧所述调节旋钮以调节所述支撑杆的长度，以此调节所述载具平台和所述水平测量仪的高度。
[0012]可选地，所述支撑杆包括依次套设的多个杆体，所述显示组件设置于所述最外侧的杆体上。
[0013]可选地，所述水平检测装置包括四个所述固定件，两两设置于所述水平测量仪的两侧。
[0014]可选地，所述固定件为夹爪。
[0015]可选地，沿所述支撑杆的延伸方向，所述水平测量仪的正投影位于所述载具平台的正投影内。
[0016]可选地，所述载具平台的宽度为40mm，所述水平测量仪的宽度为30mm，所述宽度为
沿第三方向的长度，所述第三方向与所述支撑杆的延伸方向相垂直。
[0017]可选地，所述水平检测装置用于检测天车货架是否水平，所述天车货架包括沿第一方向相对设置的两个滑轨，所述两个滑轨之间的距离小于所述载具平台沿所述第一方向的长度。
[0018]可选地，所述载具平台沿所述第一方向的两端部突出于所述水平测量仪，以分别承载于所述两个滑轨上。
[0019]可选地，所述载具平台沿所述第一方向的长度为150mm。
[0020]如上所述，本申请的水平检测装置包括载具平台、水平测量仪、固定件、支撑杆及显示组件，最少仅需一名检测人员站在地面，即可通过支撑杆将固定于载具平台的水平测量仪升举至OHB所在的高度，显示组件设置于支撑杆上，例如可以设置于支撑杆的下端以与检测人员的身高匹配，检测人员通过读取显示组件显示的水平测量仪的数据，即可快速获知水平数据，从而完成对OHB进行水平检测，避免高空作业及其带来的风险；另外，单人即可操作所带来的效率提高，可以无需对检测区域锁轨道，可进一步提高生产效率。
附图说明
[0021]图1为本申请实施例提供的一种水平检测装置的结构立体示意图；
[0022]图2为图1所示的水平检测装置的结构前视图；
[0023]图3为图1所示的水平检测装置的结构右视图；
[0024]图4为图1所示的水平检测装置的结构俯视图；
[0025]图5为本申请实施例提供的一种通过水平检测装置对OHB进行水平检测作业的场景示意图。
具体实施方式
[0026]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合具体实施例及相应的附图，对本申请的技术方案进行清楚地描述。显然，下文所描述实施例仅是本申请的一部分实施例，而非全部的实施例。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可相互组合，且亦属于本申请的技术方案。
[0027]应理解，在本申请实施例的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅为便于描述本申请相应实施例的技术方案和简化描述，而非指示或暗示装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0028]请一并参阅图1至图4，为本申请实施例提供的一种水平检测装置1，包括载具平台11、水平测量仪12、固定件13、支撑杆14及显示组件15。
[0029]载具平台11设置有用于承载水平测量仪12的承载区。例如，载具平台11可以为图中所示的板体，板体呈矩形仅为示例性展示，提供有相对平整的承载面，可以称之为水平面，该承载面上可以通过虚线定位标识出承载区(图未示出)，以便于测试人员可以快速的将水平测量仪12放置于合适位置。可选地，沿支撑杆14的延伸方向(即图中所示的第二方向y)观察，水平测量仪12的正投影位于载具平台11的正投影内，此时，所述承载区位于载具平
台11的承载面的正中部，可以稳定承载水平测量仪12。
[0030]水平测量仪12设置于载具平台11上。
[0031]固定件13将水平测量仪12固定于载具平台11上，以提高水平测量仪12在载具平台11上的稳定性，以及姿态稳定性。
[0032]可选地，水平检测装置1包括四个固定件13，其中两个固定件13设置于水平测量仪12的一侧，其他两个固定件13设置于水平测量仪12的另一侧，即两两设置于水平测量仪12沿第三方向z的相对两侧，各个固定件13可以抵接于水平测量仪12的相对两个侧面，从而防止水平测量仪12移位。
[0033]在实际场景中，固定件13可以为夹爪。
[0034]第三方向z可视为水平检测装置1的厚度方向，水平检测装置1的宽度方向为第一方向x，水平检测装置1的高度方向为第二方向y。第一方向x、第二方向y、第三方向z可以两两垂直。考虑到工艺、测量等误差，本申请全文所谓的垂直并非要求两个方向之间的夹角必须为90
°
，而是允许存在
±
10
°
的偏差，即所谓垂直可理解为任意两个方向之间的夹角为80
°
至100
°
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水平检测装置，其特征在于，包括：载具平台；水平测量仪，设置于所述载具平台上；固定件，将所述水平测量仪固定于所述载具平台上；支撑杆，所述支撑杆的一端与所述载具平台固定；显示组件，设置于所述支撑杆上，用于显示水平测量仪的数据。2.根据权利要求1所述的水平检测装置，其特征在于，所述支撑杆为可伸缩杆，所述可伸缩杆上设置有调节旋钮，允许旋拧所述调节旋钮以调节所述支撑杆的长度，以此调节所述载具平台和所述水平测量仪的高度。3.根据权利要求2所述的水平检测装置，其特征在于，所述支撑杆包括依次套设的多个杆体，所述显示组件设置于所述最外侧的杆体上。4.根据权利要求1所述的水平检测装置，其特征在于，所述水平检测装置包括四个所述固定件，两两设置于所述水平测量仪的两侧。5.根据权利要求4所述的水平检测装置，其特征在于，所述固定件为夹爪。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈冲，李佰干，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：