一种OHT轨道天车轨道对接维修车制造技术

本发明专利技术公开了一种OHT轨道天车轨道对接维修车，包括车体，还包括限位部、对接部和对位部，所述车体上设有用于对接维修区轨道的维修车轨道，所述限位部设置于所述车体两侧并位于所述维修车轨道的上方，所述对接部固定设置于所述维修车轨道的前端，所述对位部设置于所述车体的前下端两侧，所述维修车轨道有两根，固定安装在车体上中部并对称分布。通过对位部达到指定位置，完成第一层对位，同时通过轨道对接部将OHT升降轨道与维修车轨道进行对接，保证两轨道两侧都在同一平面，且在天车行驶时对接处不出现变形，完成第二次对位，最后通过天车限位部确保天车在维修车中部进行维修工作，不出现滑出事故。不出现滑出事故。不出现滑出事故。

【技术实现步骤摘要】
一种OHT轨道天车轨道对接维修车


[0001]本专利技术涉及半导体自动化领域，具体是一种OHT轨道天车轨道对接维修车。

技术介绍

[0002]半导体自动化领域中，空中运输装置(OHT:Overhead Hoist Transport)是一种晶圆盒的传输装置，广泛应用于大型自动化晶圆厂内，其中轨道天车的行驶是其中重要的一个环节。在使用过程中，轨道天车由于故障必须进行维修或者定期维护保养，这时天车需要通过OHT升降系统传至下方，同时通过一种维修车与升降系统对接，将天车移送至维修车上进行维护。现有技术的不足之处在于：1、传统的OHT未发现轨道对接式维修车；2、轨道对接结构容易造成传感器断裂，出现异常报警。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种OHT轨道天车轨道对接维修车，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]一种OHT轨道天车轨道对接维修车，包括车体，还包括限位部、对接部和对位部，所述车体上设有用于对接维修区轨道的维修车轨道，所述限位部设置于所述车体两侧并位于所述维修车轨道的上方，所述对接部固定设置于所述维修车轨道的前端，所述对位部设置于所述车体的前下端两侧。
[0006]作为本专利技术进一步的方案：所述维修车轨道有两根，固定安装在车体上中部并对称分布。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述轨道对接部包括定位销和第一固定块构成，所述定位销通过第一固定块固定安装在所述维修车轨道的前端，当维修车轨道与维修区轨道对接时，定位销插接于维修区套筒部的套筒内。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：所述限位部包括限位块，固定手柄和滑轨，所述滑轨分别固定安装在车体上，所述限位块沿左右向滑动安装在滑轨上，所述固定手柄的端部穿过限位块上的长孔并与滑轨螺纹固定。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述车体由铝型材框构成。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述车体的底部安装有脚轮和高度调整块。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述车体的前端设置有用于判断对接位置正确性的传感器。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0013]本专利提出了一种OHT维修用轨道对接式维修车，含有双层对位系统。用于与OHT升降轨道对接，使天车可以行驶至维修车上进行维修工作。维修车主要由车体，天车限位部，轨道对接部，对位部组成。首先将维修车移送至OHT升降系统前，通过对位部达到指定位置，完成第一层对位。同时通过轨道对接部将OHT升降轨道与维修车轨道进行对接，保证两
轨道两侧都在同一平面，且在天车行驶时对接处不出现变形。完成第二次对位。最后通过天车限位部确保天车在维修车中部进行维修工作，不出现滑出事故。双层对接方案，提升对接效率，使用更加简便，轨道对接部由定位销和定位套筒组成，不会出现部件已损坏的情况，减少部件损坏几率，降低使用成本。
附图说明
[0014]图1为OHT维修用轨道对接式维修车立体图；
[0015]图2为OHT升降维修区与维修车对位俯视图；
[0016]图3为OHT升降维修区与维修车轨道对接俯视图；
[0017]图4为OHT升降维修区与维修车轨道对接截面图；
[0018]图5为运载轨道天车的维修车正视图；
[0019]图6为维修车限位部立体图。
[0020]图中：轨道天车100；
[0021]维修车200、车体10、脚轮11、维修车轨道12、对位传感器13；
[0022]限位部20、限位块21、固定手柄22、滑轨23；
[0023]轨道对接部30、定位销31、第一固定块32；
[0024]对位部40；滑轮50、套筒部60、套筒61、第二固定块62、升降维修区轨道70。
具体实施方式
[0025]为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
[0026]请参阅图1～6，本实施例提出的一种OHT轨道天车轨道对接维修车。用于与OHT升降维修区轨道对接，使轨道天车100可以安全行驶至维修车200上进行维修工作。维修车200主要由车体10，天车限位部20，轨道对接部30，对位部40组成。
[0027]图1为OHT维修用轨道对接式维修车立体图。
[0028]车体10由铝型材框构成，其底部有脚轮11和高度调整块，用于维修车的移动以及对接时轨道高度的调节。轨道天车100不管是从组装完成运往OHT升降系统，去往空中轨道工作；或者是由于故障原因，轨道天车100需传送下来进行维修，都需要通过这种维修车200进行运输。
[0029]如图所示，维修车轨道12有两根，固定安装在车体10上中部并对称分布，其上方安装有天车限位部20，其前端安装有轨道对接部30。维修车前下端两侧安装有对位部40。另外，下前端铝型材上有传感器13，用于判断对接位置的正确性。
[0030]当轨道天车通过OHT升降维修区轨道传送至下部时，工作人员需将维修车移送至正确位置与维修区轨道对接。
[0031]图2为OHT升降维修区与维修车对位俯视图；
[0032]如图所示，首先通过维修车对位部40与OHT升降维修区滑轮50对接，使维修车在滑轮50限定的位置内进行前移。此时维修车轨道12与维修区轨道70相对而言是在通过一平面上。如果轨道不在同一平面上，可通过维修车200下部水平调整快进行高度调节，最终完成轨道初次对接。
[0033]图3，4为OHT升降维修区与维修车轨道对接图。
[0034]在前移过程中完成维修车轨道对接部30与维修区套筒部60的对接，轨道对接部30由定位销31和第一固定块32构成，维修区套筒部60由套筒61和第二固定块62构成。若轨道未调节至同一平面时，定位销31和套筒部60无法对接，则需要将维修率轨道12进行高度调节，使两个轨道调节至高度一致，最终完成轨道二次对接，同时不会出现部件已损坏的情况，减少部件损坏几率，降低使用成本。需要提醒的是，本实施例中的定位销31同样可以使用气缸代替。
[0035]轨道完成二次对接后，通过传感器13判断维修车200与维修区轨道70对接位置是否完成。在通过气爪气缸等方式固定维修车200和维修区轨道70。使得轨道天车100可在轨道上安全行驶。
[0036]轨道对接部30与维修区套筒部60分别位于轨道两侧，可防止轨道对接处的翘曲。通过在轨道天车通过时保证轨道连接处始终保持在同一平面。不出现行驶卡顿，颠簸等状况。
[0037]图5为运载轨道天车的维修车正视图；
[0038]图6为维修车限位部立体图。
[0039]在轨道天车100安全行驶至维修车200中部后，需使用通过一对限位部20将其进行阻挡固定，两个限位部20分别设置于所述车体10的两侧并对称分布，限位部20由限位块21，固定手柄22，滑轨23组成。所述滑轨23分别固定安装在车体10上，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OHT轨道天车轨道对接维修车，包括车体，其特征在于：还包括限位部、对接部和对位部，所述车体上设有用于对接维修区轨道的维修车轨道，所述限位部设置于所述车体两侧并位于所述维修车轨道的上方，所述对接部固定设置于所述维修车轨道的前端，所述对位部设置于所述车体的前下端两侧。2.根据权利要求1所述的OHT轨道天车轨道对接维修车，其特征在于：所述维修车轨道有两根，固定安装在车体上中部并对称分布。3.根据权利要求2所述的OHT轨道天车轨道对接维修车，其特征在于：所述轨道对接部包括定位销和第一固定块构成，所述定位销通过第一固定块固定安装在所述维修车轨道的前端，当维修车轨道与维修区轨道对接时，定位销插接于维修区...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪易，刘保千，金虎，金敏衡，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：