公开了一种干式气体洗涤器。所述干式气体洗涤器用于处理流出物流，并且包括：室，所述室具有：用于接收所述流出物流的入口；与所述入口耦接并且被配置成冷却所述流出物流的冷却器；以及在所述冷却器的下游并且被配置成接收所述流出物流以进行处理的树脂室。以此方式，冷却器插置在加工工具与树脂室之间，并且操作以在所述流出物流被运送到所述树脂室之前冷却所述流出物流。以此方式冷却所述流出物流帮助提高树脂的性能，即使在所述流出物流处于升高的温度时也是如此。高的温度时也是如此。高的温度时也是如此。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干式气体洗涤器
[0001]本专利技术的领域涉及一种干式气体洗涤器。
技术介绍
[0002]已知干式气体洗涤器。干式气体洗涤器通常用于处理来自半导体加工工具的流出物流。干式气体洗涤器实施干式树脂减排以减少容易吸附树脂上的材料并与之发生反应的气体。虽然存在这种干式洗涤器，但是其各自具有其自己的缺点。因此，期望提供一种经改进的干式气体洗涤器。
技术实现思路
[0003]根据第一方面，提供了一种用于处理流出物流的干式气体洗涤器，其包括室，所述室具有：用于接收所述流出物流的入口；与所述入口耦接并且被配置成冷却所述流出物流的冷却器；以及在所述冷却器的下游并且被配置成接收所述流出物流以进行处理的树脂室。
[0004]所述第一方面认识到现有装置的问题在于，流出物流可能在升高的温度下到达干式气体洗涤器。所述升高的温度可能损坏或降低干式气体洗涤器的效力。因此，可以提供一种干式气体洗涤器。所述洗涤器可以处理流出物流。所述洗涤器可以包括室、壳体或围罩。所述室可以限定或提供接收待处理的流出物流的入口。所述室可以具有冷却器。所述冷却器可以与所述入口流体耦接。所述冷却器可以被配置或布置成冷却流出物流。所述室可以具有树脂室。所述树脂室可以流体地位于冷却器的下游。所述树脂室可以被配置成接收流出物流以进行处理。以此方式，冷却器插置在加工工具与树脂室之间，并且操作以在所述流出物流被运送到所述树脂室之前冷却所述流出物流。以此方式冷却所述流出物流帮助提高树脂的性能，即使在所述流出物流处于升高的温度时也是如此。
[0005]所述室可以包括在所述冷却器的下游并且被配置成过滤流出物流的粉末捕集器，所述树脂室在所述粉末捕集器的下游。提供粉末捕集器帮助去除流出物流内粉末或颗粒物质的存在，在流出物流冷却时，所述粉末或颗粒物质可能在流出物流中凝结。从冷却的流出物流去除粉末帮助防止粉末被输送到树脂室中，因为否则这将往往涂覆树脂的表面并降低其性能。
[0006]冷却器和粉末捕集器可以同中心地共同定位。即，冷却器和粉末捕集器可以共享共同轴线。
[0007]冷却器可以环绕粉末捕集器。这实现紧凑的布置，其中粉末捕集器嵌套在冷却器内。而且，围绕粉末捕集器放置冷却器帮助提高冷却器的冷却性能。
[0008]所述冷却器可以包括环形室，所述环形室具有内壁和外壁，所述冷却器被配置成在环形室内周向地将流出物流从入口输送到粉末捕集器的传送端口。围绕环形室周向地输送流出物流帮助增加流出物流在从入口输送到传送端口时行进的距离，这帮助增加流出物流上的冷却量。
[0009]入口可以提供在所述外壁中，并且传送端口可以提供在所述内壁中。
[0010]所述内壁可以限定粉末捕集器的壳体、围罩或室。这实现共享壁布置，其简化洗涤器的构造并减小其大小。
[0011]所述冷却器可以包括冷却翅片，所述冷却翅片被定位成中断流出物流在环形室内在入口与传送端口之间的流动。中断流出物流的流动帮助增加流出物流在冷却器内的停留时间并增加入口与传送端口之间的流动距离以便增加冷却器对流出物流的冷却效果。
[0012]所述冷却翅片可以轴向延伸。轴向地布置所述翅片将其横向于流出物流的流动方向放置以帮助偏离环形室内的该流动。
[0013]所述冷却翅片可以在内壁与外壁之间径向地延伸。因此，所述冷却翅片可以提供到外壁的热路径以帮助促进冷却。
[0014]所述冷却翅片可以限定一个或多个孔口以促进流出物流沿周向的流动。因此，所述冷却翅片可以帮助限定环形室内流出物流流动通过的子室。
[0015]相邻孔口可以轴向地偏移以促成或促进流出物流的蛇形或之字形的周向流动。同样，这帮助增加流出物流必须在入口与传送端口之间行进的距离，以便增强冷却。
[0016]粉末捕集器可以包括至少一个过滤器。
[0017]粉末捕集器可以包括多个同心或同轴定位的过滤器。所述过滤器可以相互嵌套以便提供紧凑布置。
[0018]所述同心过滤器可以由环形气室分离。所述环形气室可以帮助收集凝结的粉末以减少过滤器的堵塞。
[0019]内部过滤器的内表面可以限定与树脂室流体连通的内部气室。
[0020]粉末捕集器可以被配置成促成流出物流通过过滤器从传送端口到内部气室的径向流动。
[0021]所述粉末捕集器可以包括被配置成接收来自流出物流的粉末的贮槽空隙。所述贮槽空隙可以由一组支腿限定，所述支腿将过滤器提升到粉末捕集器的底板上方，并且粉末可以在所述支腿内远离过滤器聚集。
[0022]树脂室可以堆叠在冷却器上。同样，这实现特别紧凑的布置。
[0023]在所附独立权利要求和从属权利要求中阐述了另外的特别且优选的方面。从属权利要求的特征可以视情况并且按除权利要求中明确阐述的那些组合以外的组合与独立权利要求的特征组合。
[0024]在装置特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将了解，这包括提供该功能或者被调适或配置成提供该功能的装置特征。
附图说明
[0025]现在将参考附图进一步描述本专利技术的实施例，在附图中：图1示意性地图示了根据一个实施例的气体洗涤器的主要部件；图2是更详细地图示了冷却器单元的部件的示意图；图3示意性地图示了冷却器单元的部件，其中主罐的外壁被去除；图4是更详细地图示了粉末捕集器的主要部件的示意图；图5更详细地示意性地图示了过滤器单元；
图6图示了气体洗涤器内的流动路径；并且图7图示了堆叠的树脂室。
具体实施方式
[0026]在任何更详细地论述实施例之前，将首先提供概述。实施例提供一种通常呈干式树脂减排系统的干式气体洗涤器形式的减排装置，其从半导体加工工具的流出物流吸附特定化合物。提供室，所述室接收待处理的流出物流并使其通过冷却器，所述冷却器在流出物流被输送到包含树脂的树脂室之前冷却所述流出物流。冷却器帮助将由加工工具提供的流出物流快速冷却至更适于树脂的温度，这提高了树脂的性能。粉末捕集器也可以与冷却器一起定位，所述粉末捕集器帮助去除流出物流内的颗粒物质。流出物流中存在的颗粒物质的量可能因这种物质在冷却期间凝结而增加。提供粉末捕集器帮助过滤掉颗粒物质并防止其沉积在树脂的表面上，这进一步帮助提高树脂的性能。将冷却器和粉末捕集器与树脂室共同定位帮助提供紧凑高性能的布置。
[0027]干式气体洗涤器图1示意性地图示了根据一个实施例的气体洗涤器的主要部件。流出物流被供应到入口100，并且所供应的流出物流在三通阀110的控制下被分成主工艺流200和旁路流300。当与主工艺流200一起操作时，流出物流被供应到主罐230。供应到主罐230的流出物流由安装在下方的冷却器单元210冷却。由冷却器单元210产生的粉末被粉末捕集器220收集，并且所述流出物流移动到上部树脂室。流出物流被内部的树脂吸附并排出到出口400。为促进主罐230的维修，可以操作所述三通阀以激活旁路流300，其中气体被冷却器模块310冷却。包含在经冷却的气体中的粉末然后由过滤器模块320过滤。然后，其被供应到辅助罐330以由其中的树脂吸附处理并通本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于处理流出物流的干式气体洗涤器，其包括：室，所述室具有用于接收所述流出物流的入口，冷却器，其与所述入口耦接并且被配置成冷却所述流出物流，以及树脂室，其在所述冷却器的下游并且被配置成接收所述流出物流以进行处理。2.根据权利要求1所述的干式气体洗涤器，其中所述室包括粉末捕集器，所述粉末捕集器在所述冷却器的下游并且被配置成过滤所述流出物流，所述树脂室在所述粉末捕集器的下游。3.根据权利要求1或2所述的干式气体洗涤器，其中所述冷却器和所述粉末捕集器同中心地共同定位，并且优选地所述冷却器环绕所述粉末捕集器。4.根据任一前述权利要求所述的干式气体洗涤器，其中所述冷却器包括具有内壁和外壁的环形室，所述冷却器被配置成在所述环形室内沿周向将所述流出物流从所述入口输送到所述粉末捕集器的传送端口。5.根据权利要求4所述的干式气体洗涤器，其中所述入口提供在所述外壁中，并且所述传送端口提供在所述内壁中。6.根据权利要求4或5所述的干式气体洗涤器，其中所述内壁限定所述粉末捕集器的壳体。7.根据权利要求4至6中的任一项所述的干式气体洗涤器，其中所述冷却器包括冷却翅片，所述冷却翅片被定位成中断所述流出物流在...
【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：CSK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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