用于发光器件的高效测试设备制造技术

本发明专利技术公开一种用于发光器件的高效测试设备，包括：测试探针组件，所述测试探针组件包括：与驱动支架连接的本体、支撑板、用于与待测试芯片接触的探针和动点接触探头，所述支撑板一端安装有一悬臂，另一端安装有所述动点接触探头，所述本体下端面一侧设置有一位于动点接触探头上部并与其对应的静点接触探头，所述悬臂远离支撑板一端固定有一安装有所述探针的探针座，当探针与待测试芯片接触时，所述动点接触探头随支撑板转动远离静点接触探头，动、静点接触探头由相互接触的初始状态变为相互分离状态，所述探针与支撑板的夹角为60

【技术实现步骤摘要】
用于发光器件的高效测试设备


[0001]本专利技术涉及一种用于发光器件的高效测试设备，属于芯片测试


技术介绍

[0002]在光通信单个激光器芯片（LD）的测试过程中，探针的稳定性扮演着非常重要的角色，由于单个芯片尺寸非常小（一般在300μm范围），测试探针在接触芯片过程中，或多或少会推动芯片的位置或角度发生偏移，一旦芯片的位置和角度出现变化，就会直接影响到后续测试指标的稳定性和测试效率，而且测试探针的压力稳定性，也会直接反馈到测试数值的稳定性，对于大批量生产测试环节，一个探针要检测大量的芯片，且需要对同一个芯片进行多次检测，加电探针组件的稳定性和耐久性，会直接影响到测试数据的一致性和重现性，因此测试过程中对测试探针组件的长期稳定性提出了非常严苛的要求。

技术实现思路

[0003]专利技术人发现：探针作用在芯片上的压力变化，会导致接触电阻的变化，从而影响测试数据的一致性，在长时间的测试过程中，如果压力变化过大，会导致无法区分测试结果的变化是芯片本身还是机台带来的，导致测试结果失去可比较性。基于上述发现，本专利技术的目的是提供一种用于发光器件的高效测试设备，该用于发光器件的高效测试设备解决了现有技术中的存在的由于机台上测试探针组件的疲劳性导致的长期使用过程中测试数据不稳定、不一致的问题。
[0004]为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种用于发光器件的高效测试设备，包括：基板、安装于基板上表面的测试台、安装于基板外侧的驱动支架和安装于驱动支架上并位于测试台上方的测试探针组件，所述测试探针组件包括：与驱动支架连接的本体、支撑板、用于与待测试芯片接触的探针和动点接触探头，所述支撑板一端安装有一悬臂，另一端安装有所述动点接触探头，所述本体下端面一侧设置有一位于动点接触探头上部并与其对应的静点接触探头，当探针与待测试芯片接触时，所述动点接触探头随支撑板转动远离静点接触探头，动、静点接触探头由相互接触的初始状态变为相互分离状态，所述悬臂远离支撑板一端固定有一安装有所述探针的探针座，所述探针与支撑板的夹角为60
°
；一转接座安装于支撑板中部的上表面，此转接座前侧和后侧分别具有前挡板和后挡板，此前挡板和后挡板上均开有一第一通孔和位于第一通孔两侧的2个导向凹槽，一第一销轴两端分别位于前挡板和后挡板各自的第一通孔内；位于本体下端面另一侧的下凸块上平行设置有第二销轴、第三销轴，此第二销轴、第三销轴位于第一销轴上方并位于其两侧，且第二销轴、第三销轴各自两端均从下凸块前后侧延伸出，第一轴承和第二轴承分别套接于第二销轴两端并位于下凸块前后两侧，第三轴承和第四轴承分别套接于第三销轴两端并位于下凸块前后两侧；所述第一轴承、第三轴承和第二轴承、第四轴承分别位于下凸块与前挡板和后挡板之间，位于下凸块的竖向通孔内的第一弹性件一端与第一销轴位于前挡板和后挡板之间
的中间区域连接，另一端与位于本体内并位于第二销轴、第三销轴上方的第四销轴连接，所述第一弹性件处于拉伸状态，从而将第一轴承、第二轴承、第三轴承和第四轴承各自的动圈与第一销轴侧表面压持接触；位于第一销轴右侧的支撑板部分、悬臂、探针座和探针的质心力矩大于位于第一销轴左侧的支撑板剩余部分、动点接触探头的质心力矩。
[0005]上述技术方案中进一步改进的方案如下：1. 上述方案中，所述探针座包括基座和夹片，所述基座和夹片与探针接触的表面至少一个开有一供探针嵌入的V形凹槽。
[0006]2. 上述方案中，所述驱动支架进一步包括两个平行设置的立杆、连接于两个立杆上端之间的安装板和连接于两个立杆下端之间的连接板，2个所述测试探针组件分别安装于安装板两端的上表面上。
[0007]3. 上述方案中，所述驱动支架的立杆与基板之间竖直设置有一安装于基板上的固定板，所述固定板下部安装有一电机，此电机的输出轴上安装有一沿竖直方向设置丝杆，一套装于丝杆上的丝杆螺母与驱动支架的连接板连接。
[0008]4. 上述方案中，所述丝杆两侧并位于立杆与固定板之间各设置有一滑轨，所述立杆通过至少两个滑块与滑轨活动连接。
[0009]由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：本专利技术用于发光器件的高效测试设备，在实现对大量芯片进行性能测试的基础上，其在安装有探针且可转动的支撑板上安装垂直于支撑板长度方向的第一销轴，并在第一销轴上方两侧设置固定于本体上的第二、第三销轴，再在第二、第三销轴的两端安装与第一销轴贴合的四个轴承，最后通过第一弹性件拉紧支撑板上的第一销轴与本体内的第四销轴，使得四个轴承的外圈保持与第一销轴外圆周面的压持接触并可以相对转动，消除了现有技术中存在的疲劳性问题，有利于准确设置水平和竖直方向的位置参数，且在长期、高频率的使用后仍能保持初始压力设定值的稳定，从而提高检测数据的稳定性、重复性、可比较性和一致性，也克服了探针与芯片脱离时，探针存在竖直方向的微小抖动的缺陷，从而有利于缩短相邻检测之间的时间，提高检测效率并避免对芯片的不必要的损坏；还消除了探针在水平方向的微小旋转偏移，保证检测数据的准确性，进一步提高检测数据的稳定性、重复性、可比较性和一致性。
附图说明
[0010]附图1为本专利技术用于发光器件的高效测试设备结构示意图；附图2为本专利技术高效测试设备中测试探针组件的结构示意图；附图3为本专利技术高效测试设备中测试探针组件的局部结构剖视图；附图4为本专利技术高效测试设备中测试探针组件的局部结构示意图；附图5为图4中结构的分解示意图；附图6为本专利技术高效测试设备中测试探针组件的局部结构仰视图；附图7为本专利技术用于发光器件的高效测试设备中探针座的结构示意图。
[0011]以上附图中：1、本体；2、支撑板；31、动点接触探头；32、静点接触探头；4、悬臂；5、探针座；51、探针；52、基座；53、夹片；54、调节螺母；55、V形凹槽；6、转接座；61、前挡板；62、
后挡板；7、第一通孔；8、导向凹槽；9、第一销轴；10、下凸块；11、第二销轴；12、第三销轴；13、第一轴承；14、第二轴承；15、第三轴承；16、第四轴承；17、竖向通孔；18、第一弹性件；19、第四销轴；21、基板；22、测试台；23、驱动支架；231、立杆；232、安装板；233、连接板；24、测试探针组件；25、固定板；26、电机；27、丝杆；28、丝杆螺母；29、滑轨；30、滑块。
具体实施方式
[0012]在本专利的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于发光器件的高效测试设备，其特征在于，包括：基板（21）、安装于基板（21）上表面的测试台（22）、安装于基板（21）外侧的驱动支架（23）和安装于驱动支架（23）上并位于测试台（22）上方的测试探针组件（24），所述测试探针组件（24）包括：与驱动支架（23）连接的本体（1）、支撑板（2）、用于与待测试芯片接触的探针（51）和动点接触探头（31），所述支撑板（2）一端安装有一悬臂（4），另一端安装有所述动点接触探头（31），所述本体（1）下端面一侧设置有一位于动点接触探头（31）上部并与其对应的静点接触探头（32），当探针（51）与待测试芯片接触时，所述动点接触探头（31）随支撑板（2）转动远离静点接触探头（32），动、静点接触探头（31；32）由相互接触的初始状态变为相互分离状态，所述悬臂（4）远离支撑板（2）一端固定有一安装有所述探针（51）的探针座（5），所述探针（51）与支撑板（2）的夹角为60
°
；一转接座（6）安装于支撑板（2）中部的上表面，此转接座（6）前侧和后侧分别具有前挡板（61）和后挡板（62），此前挡板（61）和后挡板（62）上均开有一第一通孔（7）和位于第一通孔（7）两侧的2个导向凹槽（8），一第一销轴（9）两端分别位于前挡板（61）和后挡板（62）各自的第一通孔（7）内；位于本体（1）下端面另一侧的下凸块（10）上平行设置有第二销轴（11）、第三销轴（12），此第二销轴（11）、第三销轴（12）位于第一销轴（9）上方并位于其两侧，且第二销轴（11）、第三销轴（12）各自两端均从下凸块（10）前后侧延伸出，第一轴承（13）和第二轴承（14）分别套接于第二销轴（11）两端并位于下凸块（10）前后两侧，第三轴承（15）和第四轴承（16）分别套接于第三销轴（12）两端并位于下凸块（10）前后两侧；所述第一轴承（13）、第三轴承（15）和第二轴承（14）、第四轴承（16）分别位于下凸块（10）与前挡板（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄建军，吴永红，赵山，胡海洋，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：