用于电连接的连接器制造技术

本发明专利技术提供配置于检查装置与受检设备之间的用于电连接的连接器。用于电连接的连接器包括沿着上下方向传输信号的至少一个导电部。导电部包括中心导电部及第一周边部，上述中心导电部包含第一弹性物质并可沿着上下方向导电，上述第一周边部包含第二弹性物质并沿着上下方向包围中心导电部。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。有不同的膨胀率。有不同的膨胀率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于电连接的连接器


[0001]本公开涉及使检查装置与受检设备电连接的连接器。

技术介绍

[0002]为了对如半导体设备的受检设备进行检查，在所属
中使用了使检查装置与受检设备电连接的连接器。连接器配置于检查装置与受检设备之间。连接器向受检设备传输检查装置的电测试信号，向检查装置传输受检设备的电回应信号。作为这种连接器的一例，所属
中已知的有导电性橡胶片。
[0003]导电性橡胶片具有多个弹性导电部，弹性导电部由硅橡胶形成，上述硅橡胶沿着上下方向维持以可导电的方式沿着上下方向接触的多个金属粒子与多个金属粒子。多个弹性导电部在检查装置与受检设备之间执行信号传输。弹性导电部可由包括向液态的硅橡胶及液态的硅橡胶分散的多个金属粒子成型。可通过向上述液态成型材料施加磁场来沿着上下方向集合多个金属粒子，由此可以成型弹性导电部。
[0004]导电性橡胶片可构成导电性橡胶片的一部分，由硅橡胶形成的绝缘部可以沿着上下方向支撑多个弹性导电部。或者，导电性橡胶片并不具备上述绝缘部，与多个弹性导电部的上端部及下端部相结合的绝缘膜可以沿着上下方向支撑多个弹性导电部。
[0005]当检查半导体设备时，为了在导电性橡胶片紧贴半导体设备而通过半导体设备向导电性橡胶片施压力。这种压力使弹性导电部弹性变形。若去除压力，则弹性导电部通过弹性复原力复原到原状态。为了防止半导体设备或导电性橡胶片的损伤而需要少的压力，在少的压力下，弹性导电部需要具备良好的弹性复原力。
[0006]半导体设备可以在完全低于常温(例如，25℃)的温度至完全高于常温的温度环境下检查。构成导电性橡胶片的硅橡胶或导电性橡胶片根据检查温度膨胀成不同程度。
[0007]在高温环境下检查半导体设备的情况下，硅橡胶比在常温下的膨胀程度更为过度膨胀。因硅橡胶或弹性导电部的过度膨胀，在常温下的压力及相同压力下，发生比常温下的弹性导电部的按压量更大的按压量。高温环境下的过度膨胀有可能引发导电性橡胶片的变形，无法保障检查可靠性达到常温检查时的检查可靠性水准。
[0008]当在低温环境下检查半导体设备时，硅橡胶的膨胀程度比常温下的膨胀程度更低，与常温下的膨胀相比，有可能过度收缩。因硅橡胶或弹性导电部的过度收缩，为了获得如常温下的按压量程度的按压量而需要向弹性导电部施加大的压力。若施加常温检查时的压力，则弹性导电部不会被轻松按压，弹性导电部的导电性并未达到所需水准。由此，当在低温环境下进行检查时，为了获得弹性导电部的适当导电性而需要向弹性导电部施加大的压力，大的压力有可能对半导体设备及导电橡胶插座带来损伤。
[0009]在具有由多个金属粒子及硅橡胶形成的弹性导电部的现有的导电性橡胶片中，在上述多种温度范围中无法呈现出良好的检查可靠性。当进行高温环境及低温环境下的检查时，为了提高检查可靠性而需要与常温下的检查中的压力及按压量并无太大变化的压力及按压量。

技术实现思路

[0010]专利技术所要解决的问题
[0011]本公开的实施例提供如下的用于电连接的连接器，即，当在低温环境下进行检查时，在适当的压力下呈现出确切的弹性复原力并具有耐寒性。本公开的一实施例提供如下的用于电连接的连接器，即，当在高温环境下进行检查时，防止过度的膨胀及变形并具有耐热性。本公开的一实施例提供如下的用于电连接的连接器，即，具有耐寒性及耐热性，从而在多种温度范围内具有良好的检查可靠性。
[0012]用于解决问题的方案
[0013]本公开的实施例涉及配置于两个电子设备之间来用于使两个电子设备电连接的连接器。多个实施例的连接器的结构要素包含第一弹性物质及第二弹性物质中的一个，上述第一弹性物质及第二弹性物质在上下方向上的加压状态下具有不同的膨胀率。包含第一弹性物质的区域与包含第二弹性物质的区域可以交互配置。在第一弹性物质及第二弹性物质中的一个可以提高耐寒性，在第一弹性物质及第二弹性物质中的另一个可以提高耐热性。与不具有耐寒性的弹性物质相比，具有耐寒性的弹性物质可具有高的膨胀率，与不具有耐热性的弹性物质相比，具有耐热性的弹性物质可具有低的膨胀率。
[0014]根据本公开一个实施方式的用于电连接的连接器包括沿着上下方向传输信号的至少一个导电部。导电部包括中心导电部及第一周边部，上述中心导电部包含第一弹性物质并可沿着上下方向导电，上述第一周边部包含第二弹性物质并沿着上下方向包围中心导电部。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。
[0015]在一实施例中，在第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比第一温度范围低的第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。在第一温度范围内的加压状态下或第二温度范围内的加压状态下，中心导电部及第一周边部能够以不同程度膨胀。
[0016]在一实施例中，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，第一弹性物质及第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。
[0017]在一实施例中，中心导电部包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第一弹性物质维持上下方向的多个第一导电性物质，第一周边部包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第二弹性物质维持上下方向的多个第二导电性物质。
[0018]在一实施例中，导电部还可以包括第二周边部，第二周边部沿着上下方向包围第一周边部，并且包含第一弹性物质。第二周边部可包含以能够沿着上下方向导电的方式接触并通过第一弹性物质维持上下方向的多个第三导电性物质。
[0019]在一实施例中，连接器还可以包括：支撑部，与中心导电部的下端部相结合，沿着上下方向支撑导电部；以及绝缘膜，与第一周边部的上端部相结合。
[0020]在一实施例中，连接器包括多个上述导电部，多个导电部通过作为空心空间的间隙来沿着与上下方向正交的水平方向隔开。
[0021]本公开另一个各实施方式的用于电连接的连接器包括至少一个导电部及绝缘部，上述至少一个导电部沿着上下方向传输信号。导电部包括：中心导电部，包含第一弹性物
质，能够沿着上下方向导电；以及第一周边部，包含第二弹性物质，沿着上下方向包围中心导电部。绝缘部具有可使导电部沿着上下方向插入的至少一个贯通孔，并且包含第一弹性物质。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。
[0022]在一实施例中，在第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率。在比第一温度范围低的第二温度范围内的加压状态下，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。在第一温度范围内的加压状态下或第二温度范围内的加压状态下，中心导电部及第一周边部能够以不同程度膨胀。
[0023]在一实施例中，第一弹性物质及第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，第一弹性物质及第二弹性物质中的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种连接器，用于电连接，其中，包括至少一个导电部，上述导电部包括：中心导电部，包含第一弹性物质，能够沿着上下方向导电；以及第一周边部，包含第二弹性物质，沿着上述上下方向包围上述中心导电部，在上述导电部的上述上下方向上的加压状态下，上述第一弹性物质与上述第二弹性物质具有不同的膨胀率。2.如权利要求1所述的连接器，其中，在第一温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比上述第一温度范围低的第二温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。3.如权利要求2所述的连接器，其中，在上述第一温度范围内的加压状态下或上述第二温度范围内的加压状态下，上述中心导电部及上述第一周边部以不同程度膨胀。4.如权利要求1所述的连接器，其中，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。5.如权利要求1所述的连接器，其中，上述中心导电部包含以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第一弹性物质维持上述上下方向的多个第一导电性物质，上述第一周边部包含以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第二弹性物质维持上述上下方向的多个第二导电性物质。6.如权利要求1所述的连接器，其中，上述导电部还包括第二周边部，上述第二周边部沿着上述上下方向包围上述第一周边部，并且包含上述第一弹性物质。7.如权利要求6所述的连接器，其中，上述第二周边部包含以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第一弹性物质维持上述上下方向的多个第三导电性物质。8.如权利要求1所述的连接器，其中，还包括：支撑部，与上述中心导电部的下端部相结合，沿着上述上下方向支撑上述导电部；以及绝缘膜，与上述第一周边部的上端部相结合。9.如权利要求1所述的连接器，其中，包括多个上述导电部，多个上述导电部通过作为空心空间的间隙来沿着与上述上下方向正交的水平方向隔开。10.一种连接器，用于电连接，其中，包括至少一个导电部，上述导电部包括：中心导电部，包含第一弹性物质，能够沿着上下方向导电；以及第一周边部，包含第二弹性物质，沿着上述上下方向包围上述中心导电部，上述连接器包括绝缘部，上述绝缘部具有能够使上述导电部沿着上述上下方向插入的
至少一个贯通孔，上述绝缘部包含上述第一弹性物质，在上述导电部的上述上下方向上的加压状态下，上述第一弹性物质与上述第二弹性物质具有不同的膨胀率。11.如权利要求10所述的连接器，其中，在第一温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永倍，朴晶默，金贤永，金俊用，郑友镕，李埈湖，金冈德，朴勇奎，
申请(专利权)人：株式会社ISC，
类型：发明
国别省市：