电光调制器和电光器件制造技术

一种电光调制器和电光器件。电光调制器包括：分光器；第一光波导和第二光波导；行波电极，包括第一接地电极、第一信号电极、第二信号电极、第二接地电极；延伸电极，包括至少一个第一信号子电极和两个第二信号子电极，其中，两个第二信号子电极被布置在至少一个第一信号子电极的两侧，其中，第一光波导被布置在两个第二信号子电极中的一个第二信号子电极和与该一个第二信号子电极邻近的第一信号子电极之间，第二光波导被布置在两个第二信号子电极中的另一个第二信号子电极和与该另一个第二信号电极的子电极邻近的第一信号子电极之间。第一信号电极与第一信号子电极电连接，第二信号电极与第二信号子电极电连接。号电极与第二信号子电极电连接。号电极与第二信号子电极电连接。

【技术实现步骤摘要】
电光调制器和电光器件


[0001]本公开涉及光电技术，特别是涉及一种电光调制器和电光器件。

技术介绍

[0002]电光调制器是利用某些电光晶体如铌酸锂晶体(LiNbO3)、砷化稼晶体(GaAs)或钽酸锂晶体(LiTaO3)的电光效应制成的调制器。当把电压加到电光晶体上时，电光晶体的折射率将发生变化，从而实现对光信号的相位、幅度、强度以及偏振状态等特性的调制。电光调制器中常见的一种调制器为马赫
‑
曾德尔调制器，这种干涉仪式调制器主要是利用调制器中两臂的相位差完成相干加强和相干抵消的信号调制。
[0003]然而，随着人们对于高速、大容量、集成化通信技术日益的迫切需求，人们既希望尽量减小集成器件的尺寸，同时需要保证电光调制器的调制效果。这就对电极设计提出了很高的要求。

技术实现思路

[0004]提供一种缓解、减轻或者甚至消除上述问题中的一个或多个的机制将是有利的。
[0005]根据本公开的一方面，提供了一种电光调制器，包括：分光器，用于将光输入信号分为第一路光信号和第二路光信号；第一光波导和第二光波导，用于分别为所述第一路光信号和所述第二路光信号提供光传输路径；行波电极，沿第一方向延伸，用于传输射频信号，其中，所述行波电极包括在第二方向上依次布置的第一接地电极、第一信号电极、第二信号电极、第二接地电极，所述第二方向与所述第一方向交叉；以及延伸电极，沿所述光传输路径布置在所述第一信号电极和所述第二信号电极之间的空隙中，用于基于所述射频信号对所述第一路光信号和所述第二路光信号进行调制。所述延伸电极包括至少一个第一信号子电极和两个第二信号子电极，其在所述第二方向上并排布置并且各自具有平行于所述第一方向的长度方向，其中，所述两个第二信号子电极被布置在所述至少一个第一信号子电极的两侧。所述第一光波导被布置在所述两个第二信号子电极中的一个第二信号子电极和与该一个第二信号子电极邻近的第一信号子电极之间，所述第二光波导被布置在所述两个第二信号子电极中的另一个第二信号子电极和与该另一个第二信号电极的子电极邻近的第一信号子电极之间。
[0006]根据本公开的另一方面，提供了一种电光器件，包括如上所述的电光调制器。
[0007]根据在下文中所描述的实施例，本公开的这些和其它方面将是清楚明白的，并且将参考在下文中所描述的实施例而被阐明。
附图说明
[0008]在下面结合附图对于示例性实施例的描述中，本公开的更多细节、特征和优点被公开，在附图中：
[0009]图1是根据示例性实施例的电光调制器的示意性俯视图；
[0010]图2是根据示例性实施例的电光调制器的示意性俯视图；
[0011]图3是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；
[0012]图4是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；
[0013]图5是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；
[0014]图6是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；
[0015]图7是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；
[0016]图8是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；并且
[0017]图9是根据示例性实施例的电光器件的示意性框图。
具体实施方式
[0018]在本公开中，除非另有说明，否则使用术语“第一”、“第二”等来描述各种要素不意图限定这些要素的位置关系、时序关系或重要性关系，这种术语只是用于将一个元件与另一元件区分开。在一些示例中，第一要素和第二要素可以指向该要素的同一实例，而在某些情况下，基于上下文的描述，它们也可以指代不同实例。
[0019]在本公开中对各种所述示例的描述中所使用的术语只是为了描述特定示例的目的，而并非旨在进行限制。除非上下文另外明确地表明，如果不特意限定要素的数量，则该要素可以是一个也可以是多个。此外，本公开中所使用的术语“和/或”涵盖所列出的项目中的任何一个以及全部可能的组合方式。
[0020]电光调制相关的技术已经得到广泛发展和应用，比如光通信、微波光电子、激光束偏转、波前调制等。相关技术的马赫
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曾德尔调制器中，采用一个信号电极和两个接地电极，以0(接地信号)、1(调制电压信号)、0(接地信号)方式输入信号，从而产生方向相反的两个电场。利用相反的电场方向对分别位于这两个电场中的两个光路信号实现相反的调控，从而产生相位差，完成相干加强或相干抵消。
[0021]但要实现足够的相位差，需要较大的调制电压和较长的传输距离，已有的电光调制器存在着尺寸较大或调控效率低的缺点，难以满足目前市场上集成化、高效率的需求。
[0022]本公开的实施例提供了一种改进的电光调制器，可以缓解、减轻或者甚至消除上述缺点。
[0023]图1是根据示例性实施例的电光调制器100的示意性俯视图。参照图1，电光调制器100可以包括分光器110、第一光波导120a、第二光波导120b、行波电极130和延伸电极140。
[0024]行波电极130沿第一方向D1延伸，可以包括在第二方向D2上依次布置的第一接地电极131、第一信号电极132、第二信号电极133、第二接地电极134。其中，行波电极130沿第一方向D1延伸是指行波电极130的长度方向沿第一方向D1延伸。延伸电极140沿光传输路径布置，可以包括在第二方向D2上并排布置的第一信号电极132的至少一个第一信号子电极(在图1所示的实施例中为两个第一信号子电极142a、142b)和第二信号电极133的两个第二信号子电极143a、143b，每个子电极具有平行于第一方向D1的长度方向。两个第二信号子电极143a、143b被布置在至少一个第一信号子电极的两侧。如在图1中所示，设有两个第一信号子电极142a、142b，两个第一信号子电极142a、142b整体位于两个第二信号子电极143a、143b之间。第一光波导120a被布置在其中一个第二信号子电极143a和与该第二信号子电极143a邻近的第一信号子电极142a之间，第二光波导120b被布置在另一个第二信号子电极
143b和与该第二信号子电极143b邻近的第一信号子电极142b之间。第二方向D2与第一方向D1交叉。在如图1所示的实施例中，第二方向D2与第一方向D1基本上垂直。
[0025]在其他实施例中，可设有唯一的第一信号子电极(未示出)，两个第二信号子电极143a、143b布置于唯一的第一信号子电极的两侧。第一光波导120a被布置在该唯一的第一信号子电极与第二信号电极133的其中一个第二信号子电极143a之间，第二光波导120b被布置在该唯一的第一信号子电极142b与第二信号电极133的另一个第二信号子电极143b之间。
[0026]在一些实施例中，如图1所示，光输入信号经过分光器110后，被分为第一路光信号和第二路光信号，并分别沿第一光波导120a和第二光波导120b提供的光传输路径传输。在第一信号电极132和第二信号电极133上施加电压，并将第一接地电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电光调制器，包括：分光器，用于将光输入信号分为第一路光信号和第二路光信号；第一光波导和第二光波导，用于分别为所述第一路光信号和所述第二路光信号提供光传输路径；行波电极，沿第一方向延伸，用于传输射频信号，其中，所述行波电极包括在第二方向上依次布置的第一接地电极、第一信号电极、第二信号电极、第二接地电极，所述第二方向与所述第一方向交叉；以及延伸电极，沿所述光传输路径布置在所述第一信号电极和所述第二信号电极之间的空隙中，用于基于所述射频信号对所述第一路光信号和所述第二路光信号进行调制，其中，所述延伸电极包括至少一个第一信号子电极和两个第二信号子电极，其在所述第二方向上并排布置并且各自具有平行于所述第一方向的长度方向，其中，所述两个第二信号子电极被布置在所述至少一个第一信号子电极的两侧，其中，所述第一光波导被布置在所述两个第二信号子电极中的一个第二信号子电极和与该一个第二信号子电极邻近的第一信号子电极之间，所述第二光波导被布置在所述两个第二信号子电极中的另一个第二信号子电极和与该另一个第二信号电极的子电极邻近的第一信号子电极之间，其中，所述第一信号电极与所述第一信号子电极电连接，并且，所述第二信号电极与所述第二信号子电极电连接。2.根据权利要求1所述的电光调制器，还包括第一延伸臂和第二延伸臂，其中，所述第一延伸臂和第二延伸臂用于分别电连接所述第一信号电极和所述第一信号子电极以及所述第二信号电极和所述第二信号子电极。3.根据权利要求1所述的电光调制器，其中，所述电连接的位置使得所述第一信号子电极和所述第二信号子电极分别在所述第一方向上被分割为一段或多段区域。4.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，所述第一延伸臂和所述第二延伸臂使得所述第一信号子电极和所述第二信号子电极分别在所述第一方向上被所述第一延伸臂和所述第二延伸臂分割为一段或多段区域。5.根据权利要求1所述的电光调制器，还包括：衬底；隔离层，所述隔离层位于所述衬底上；薄膜层，所述薄膜层用于形成所述第一光波导和所述第二光波导；覆盖层，所述覆盖层位于所述第一光波导和所述第二光波导上。6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁寒潇，宋一品，周颖聪，巫海苍，毛文浩，宋时伟，孙维祺，俞清扬，
申请(专利权)人：南京刻得不错光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：