本公开提供一种探针以及探针卡装置。探针卡装置包括第一卡盘以及多个探针。探针穿过第一卡盘排列，且包括第一探针以及第二探针。第一探针具有第一主体以及第一主体的端部。主体的端部具有第一凹入部以及第一凸出部。第二探针具有第二主体以及第二主体的端部。第二主体的端部具有第二凹入部以及第二凸出部。第二凸出部延伸到第一凹入部中。出部延伸到第一凹入部中。出部延伸到第一凹入部中。
【技术实现步骤摘要】
探针及探针卡装置
[0001]本公开涉及一种探针以及探针卡装置。尤其涉及一种用于测试电子元件的探针以及探针卡装置。
技术介绍
[0002]电性测试是集成电路芯片(IC芯片)制备过程中的重要步骤。每个IC芯片都需要在晶片阶段以及封装阶段进行测试，以确保其电性功能。为测试IC芯片的电性功能，导入一种配备有探针卡装置的测试机。
[0003]具体地，探针卡装置具有多个探针(也就是探测的针)，且测试机通过探针卡装置的探针接触且进而对被测试的元件(device under test，DUT)进行测试。然而，由于探针之间的间距无法缩小，DUT的最小尺寸将受到限制。
[0004]上文的“现有技术”说明仅提供
技术介绍
，并未承认上文的“现有技术”说明公开本公开的标的，不构成本公开的现有技术，且上文的“现有技术”的任何说明均不应作为本专利技术的任一部分。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提出一种探针及探针卡装置，以解决上述至少一个问题。
[0006]本公开的一实施例提供一种探针。探针包括主体以及主体的端部。主体的端部具有凸出部以及凹入部。凸出部设置在端部的第一侧上。凹入部形成在端部的第二侧上。凹入部的凹入部尺寸大于凸出部的顶部的尺寸。
[0007]在一些实施例中，第一侧相对于第二侧。
[0008]在一些实施例中，凸出部远离端部凸出，且凹入部朝向端部凹入。
[0009]在一些实施例中，凹入部的深度大于凸出部的顶部的厚度。
[0010]在一些实施例中，凹入部的深度大约在端部的宽度的5％到30％的范围内。
[0011]在一些实施例中，凹入部的开口的开口长度大于凸出部的顶部的长度。
[0012]在一些实施例中，凹入部从端部的外侧到端部的内侧逐渐变细。
[0013]在一些实施例中，凹入部的形状包括梯形、弧形，或矩形。
[0014]在一些实施例中，凸出部的形状对应于凹入部的形状。
[0015]本公开的另一实施例提供一种探针。探针包括主体以及主体的端部。主体的端部具有凸出部以及凹入部。凹入部具有凹入部形状用以容纳另一探针的另一凸出部。
[0016]在一些实施例中，当探针以及另一探针以阵列排列且凹入部的凹入部形状容纳另一探针的另一凸出部时，凹入部与另一探针的另一凸出部彼此靠近。
[0017]在一些实施例中，当探针以及另一探针以阵列排列时，凹入部的凹入部位置对应于另一探针的另一凸出部的凸出部位置。
[0018]本公开的另一实施例提供一种探针卡装置。探针卡装置包括第一卡盘以及多个探针。探针穿过第一卡盘排列，且包括第一探针以及第二探针。第一探针具有第一主体以及第
一主体的端部。第一主体的端部具有第一凹入部以及第一凸出部。第二探针具有第二主体以及第二主体的端部。第二主体的端部具有第二凹入部以及第二凸出部。第二凸出部延伸到第一凹入部中。
[0019]在一些实施例中，第一主体的端部与第二主体的端部之间有距离，且距离小于第二凸出部的厚度。
[0020]在一些实施例中，第二凸出部的凸出部形状对应于第一凹入部的凹入部形状。
[0021]在一些实施例中，第二凸出部的凸出部位置对应于第一凹入部的凹入部位置。
[0022]在一些实施例中，第一凹入部以及第二凸出部彼此靠近。
[0023]在一些实施例中，第一卡盘具有多个第一通孔用以容纳探针。
[0024]在一些实施例中，探针卡装置还包括第二卡盘。第二卡盘平行于第一卡盘且具有多个第二通孔以容纳探针。
[0025]在一些实施例中，容纳同一探针的第一通孔以及第二通孔在垂直于第一卡盘以及第二卡盘的方向上产生偏移。
[0026]上文已相当广泛地概述本公开的技术特征及优点，以使下文的本公开详细描述得以获得较佳了解。构成本公开的权利要求标的的其它技术特征及优点将描述于下文。本公开所属
中技术人员应了解，可相当容易地利用下文公开的概念与特定实施例可作为修改或设计其它结构或工艺而实现与本公开相同的目的。本公开所属
中技术人员亦应了解，这类等效建构无法脱离随附的权利要求所界定的本公开的精神和范围。
附图说明
[0027]参阅实施方式与权利要求合并考虑附图时，可得以更全面了解本专利技术的公开内容，附图中相同的元件符号指相同的元件。
[0028]图1A例示本公开一些实施例的探针的示意图。
[0029]图1B例示本公开一些实施例的探针的主体的端部的放大示意图。
[0030]图1C例示本公开一些实施例的探针阵列的示意图。
[0031]图2A例示本公开一些实施例的探针的示意图。
[0032]图2B例示本公开一些实施例的探针的主体的端部的放大示意图。
[0033]图2C例示本公开一些实施例的探针的探针阵列的示意图。
[0034]图3A例示本公开一些实施例的探针的示意图。
[0035]图3B例示本公开一些实施例的探针阵列的示意图。
[0036]图3C例示本公开一些实施例的探针的示意图。
[0037]图3D例示本公开一些实施例的探针阵列的示意图。
[0038]图3E例示本公开一些实施例的探针的示意图。
[0039]图3F例示本公开一些实施例的探针阵列的示意图。
[0040]图3G例示本公开一些实施例的探针的示意图。
[0041]图3H例示本公开一些实施例的探针阵列的示意图。
[0042]图4A例示本公开一些实施例的探针卡装置的示意图。
[0043]图4B例示本公开一些实施例的探针卡装置的探针的示意图。
[0044]图4C例示本公开一些实施例的探针的主体的端部的放大示意图。
[0045]图4D例示本公开一些实施例的探针卡装置的两个相邻探针的示意图。
[0046]附图标记如下：
[0047]4:探针卡装置
[0048]11:探针
[0049]21:探针
[0050]31:探针
[0051]41:探针
[0052]43:第一卡盘
[0053]45:第二卡盘
[0054]111:主体
[0055]113:端部
[0056]115:端部
[0057]211:主体
[0058]213:端部
[0059]215:端部
[0060]311:主体
[0061]313:端部
[0062]315:端部
[0063]411:主体
[0064]413:端部
[0065]415:端部
[0066]430:第一通孔
[0067]450:第二通孔
[0068]1131:凸出部
[0069]1132:凹入部
[0070]2131:凸出部
[0071]2132:凹入部
[0072]3131:凸出部
[0073]3132:凹入部
[本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针，包括：一主体；以及该主体的一端部，该端部具有：一凸出部，设置在该端部的一第一侧上；以及一凹入部，形成在该端部的一第二侧上，该第一侧相对于该第二侧；其中该凸出部远离该端部凸出，该凹入部朝向该端部凹入，且该凹入部的一尺寸大于该凸出部的一顶部的一尺寸。2.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的一深度大于该凸出部的该顶部的一厚度。3.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的一深度在该端部的一宽度的5％到30％的范围内。4.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的一开口的一开口长度大于该凸出部的该顶部的一长度。5.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部从该端部的外侧到该端部的内侧逐渐变细。6.如权利要求1所述的探针，其中该凹入部的形状包括梯形、弧形，或矩形。7.如权利要求1所述的探针，其中该凸出部的一凸出部形状对应于该凹入部的一凹入部形状。8.一种探针，包括：一主体；以及该主体的一端部，该端部具有：一凸出部；以及一凹入部，具有一凹入部形状用以容纳另一探针的一凸出部；其中当该探针以及该另一探针以阵列排列且该凹入部形状容纳该另一探针的该凸出部时，该凹入部与该另一探针的该凸出部靠近。9.如权利要求8所述的探针，其中当该探针以及该另一探针以阵列排...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊良，
申请(专利权)人：迪科特测试科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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