本实用新型专利技术公开了一种用于膜厚量测机台的气动对接装置，包括气动机构和对接机构，其中，气动机构包括传动部和对接气囊，对接气囊设置于传动部的顶部，并随传动部在竖直方向往复运动；对接机构固定于机台的量测平台底部并与对接气囊相对间隔设置，当传动部沿竖直方向向上运动时，气囊和对接机构抵接，对接机构包括壳体、对接部、缓冲件以及减震件，对接部设置于壳体内并与壳体同轴固定连接，减震件设置于对接部与壳体连接处，缓冲件设置于壳体和对接部之间的夹层中。本实用新型专利技术通过改进对接机构的结构以增强在气动冲击过程的缓冲减震作用，改进后的对接机构在气动机构长期冲击下产生的偏移由5mm减小至1mm，有效提升了装置的稳定性，保证了量测的准确性。保证了量测的准确性。保证了量测的准确性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于膜厚量测机台的气动对接装置
[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种用于膜厚量测机台的气动对接装置。
技术介绍
[0002]膜厚量测机台主要是用于量测覆膜薄膜、薄片等材料的厚度，在半导体领域中，其通常用于量测晶圆的功能性镀层厚度。
[0003]膜厚量测机台的量测平台通过气动对接装置进行移动，然而在实际使用过程中，由于气动对接装置的气囊给气后顶起量测平台的对接件，长期冲击运动导致对接件内部结构损耗歪斜，进一步划伤气动装置的气囊从而导致气动装置漏气，量测结果不准确，甚至导致机台无法正常运行。
[0004]因此，现有技术中存在对用于膜厚量测机台的气动对接装置改进的需求。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提出一种用于膜厚量测机台的气动对接装置，通过改进对接机构的结构设计，有效保证气动对接装置的稳定性和使用寿命，进一步提升了机台量测的准确性。
[0006]基于上述目的，本技术实施例的提供了一种用于膜厚量测机台的气动对接装置，包括：
[0007]气动机构，气动机构包括传动部和对接气囊，对接气囊设置于传动部的顶部，并随传动部在竖直方向往复运动；
[0008]对接机构，对接机构固定于机台上的量测平台底部并与对接气囊相对间隔设置，当传动部沿竖直方向向上运动时，气囊和对接机构抵接，对接机构包括壳体、对接部、缓冲件以及减震件，对接部设置于壳体内并与壳体同轴固定连接，减震件设置于对接部与壳体的连接处，缓冲件设置于壳体和对接部之间的夹层中。r/>[0009]在一些实施方式中，壳体为盖状壳体，盖状壳体顶部具有凹槽所述减震件卡合于所述凹槽中，对接部与盖状壳体同轴固定连接，当传动部沿竖直方向向上运动时，气囊和对接部抵接。
[0010]在一些实施方式中，壳体和对接部中心设有螺孔，通过将螺丝拧入螺孔中以将对接部同轴固定连接于壳体内。
[0011]在一些实施方式中，减震件为平面推力轴承。
[0012]在一些实施方式中，缓冲件为硅胶缓冲件。
[0013]在一些实施方式中，壳体外缘倒角处理。
[0014]在一些实施方式中，缓冲件通过卡簧固定于壳体内。
[0015]在一些实施方式中，传动部为气缸。
[0016]本技术至少具有以下有益技术效果：
[0017]本技术提供了一种机台气动对接装置，主要对装置的对接机构进行改进，通过设置缓冲件和减震件对气动冲击过程起到缓冲减震作用，改进后的对接机构在气动机构长期冲击下产生的偏移由5mm减小至1mm，有效提升了装置的稳定性，保证了量测的准确性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。
[0019]图1为本技术提供的气动对接机构的实施例的示意图；
[0020]图2为本技术提供的未装配对接部的对接机构的实施例的示意图；
[0021]图3为本技术提供的已装配对接部的对接机构的实施例的示意图。
[0022]图中：
[0023]1、气动机构；1.1、传动部；1.2、对接气囊；2、对接机构；2.1、壳体；2.2减震件；2.3、缓冲件；2.4、固定件；2.5对接部。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术实施例进一步详细说明。
[0025]除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本技术
的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。
[0026]本技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本技术的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]本技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。
[0028]此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0029]如图1所示为本技术提供的气动对接装置的实施例的示意图，气动对接装置包括气动机构1和对接机构2，其中，对接机构2设置于量测平台的底部，气动机构1固定于与对接机构2相对的机台底部区域，当气动机构2在竖直方向上移动时可以与对接机构2抵接
并进一步顶起量测平台。然而，由于现有的对接机构2结构设计不合理，在气动机构2长期冲击下导致对接机构2产生偏移，进一步导致漏气、量测平台歪斜等现象，因此，本技术对气动对接装置进行改进设计，以保障机台的量测准确性。
[0030]进一步地，如图1所示，气动机构1包括传动部1.1和对接气囊1.2，对接气囊1.2设置于传动部1.1的顶部，并随传动部1.1在竖直方向往复运动；在一些实施例中，传动部为气缸。
[0031]进一步地，如图2和图3所示为对接机构的实施例的示意图，对接机构2固定于机台上并与对接气囊1.2相对间隔设置，当传动部1.1沿竖直方向向上运动时，气囊1.2和对接机构2抵接，对接机构2包括壳体2.1、对接部2.5、减震件2.2以及缓冲件2.3，对接部2.5设置于壳体2.1内并与壳体2.1同轴固定连接，对接部与壳体连接处设置有减震件2.2，缓冲件2.3设置于壳体2.1和对接部2.5之间的夹层中。
[0032]在一些实施例中，壳体2.1为盖状，优选地，壳体2.1为圆盖状，圆盖状壳体2.1的顶部具有凹槽，减震件2.2卡合于凹槽中，对接部2.5为金属柱状体，在安装状态下，壳体2.1开口一侧与气动机构相对，对接部2.5与壳体2.1同轴固定连接，当传动部1.1沿竖直方向向上运动时，气囊1.2和对接部2.5抵接。壳体2.1和对接部2.5中心设有螺孔，通过将螺丝拧入螺孔中以将对接部2.5同本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于膜厚量测机台的气动对接装置，其特征在于，包括：气动机构，所述气动机构包括传动部和对接气囊，所述对接气囊设置于所述传动部的顶部，并随所述传动部在竖直方向往复运动；对接机构，所述对接机构固定于机台的量测平台底部并与所述对接气囊相对间隔设置，当所述传动部沿竖直方向向上运动时，所述气囊和所述对接机构抵接，所述对接机构包括壳体、对接部、缓冲件以及减震件，所述对接部设置于所述壳体内并与所述壳体同轴固定连接，所述减震件设置于所述对接部与所述壳体连接处，所述缓冲件设置于所述壳体和所述对接部之间的夹层中。2.根据权利要求1所述的用于膜厚量测机台的气动对接装置，其特征在于，所述壳体为盖状壳体，所述盖状壳体顶部具有凹槽，所述减震件卡合于所述凹槽中，所述对接部与所述盖状壳体同轴固定连接，当所述传...
【专利技术属性】
技术研发人员：卫立，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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