本实用新型专利技术公开了一种半导体厂房洁净室送风装置，涉及半导体厂房洁净室领域，包括通风管，通风管的一端通过进气管连接有过滤箱，过滤箱的另一侧固接有出气管；过滤箱的内部设置有过滤组件，过滤组件包括一号过滤网和二号过滤网，以及竖直方向滑动连接有的毛刷；通过设置一号过滤网和二号过滤网，实现对空气中不同粒径大小的灰尘的过滤，通过螺纹杆带动滑块上下运动，配合毛刷实现对一号过滤网和二号过滤网表面灰尘的清扫，使得一号过滤网和二号过滤网不易出现堵塞的现象，保证了过滤箱对空气的过滤效果。的过滤效果。的过滤效果。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体厂房洁净室送风装置
[0001]本技术涉及半导体厂房洁净室领域，具体为一种半导体厂房洁净室送风装置。
技术介绍
[0002]半导体厂房洁净室一般通过送风管道实现空气的流通，并且在送风管道处实现对空气微粒的过滤。现有技术也出现了关于半导体厂房洁净室的技术方案，如中国专利申请号为CN201921311504X的一项技术专利，其公开了一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，包括管体以及固定设置在管体内部的静电除尘圈，管体的两端分别设置了一级除尘网和二级除尘网。该技术具有对外界进入通风管的空气进行一个初步的过滤、减少滤片上灰尘量的效果。
[0003]但是，上述装置在使用时，需要将管体一端与通风管之间通过法兰连接，而其管体的端部处设置有用于过滤大颗粒灰尘的一级除尘网，在一级除尘网处容易出现灰尘堵塞网孔的现象，并且在清理该位置的灰尘时，需要专门拆下管体，导致对灰尘的清理不方便。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供了一种半导体厂房洁净室送风装置。
[0005]本技术所解决的技术问题为：现有的送风装置在使用时，需要将管体一端与通风管之间通过法兰连接，而其管体的端部处设置有用于过滤大颗粒灰尘的一级除尘网，在一级除尘网处容易出现灰尘堵塞网孔的现象，并且在清理该位置的灰尘时，需要专门拆下管体，导致对灰尘的清理不方便。
[0006]本技术可以通过以下技术方案实现：一种半导体厂房洁净室送风装置,包括通风管，通风管的一端通过进气管连接有过滤箱，过滤箱的另一侧固接有出气管；过滤箱的内部设置有过滤组件，过滤组件包括一号过滤网和二号过滤网，以及竖直方向滑动连接有的毛刷。
[0007]本技术的进一步技术改进在于：一号过滤网设置在靠近进气管的一侧，二号过滤网设置在靠近出气管的一侧，且一号过滤网的网孔直径大于二号过滤网的网孔直径。
[0008]本技术的进一步技术改进在于：过滤箱的顶部贯穿且转动连接有螺纹杆，且螺纹杆通过电机驱动，螺纹杆的外壁套设有滑块，毛刷固接在滑块的两侧；过滤箱的顶部固接有导杆，导杆贯穿且滑动连接于滑块。
[0009]本技术的进一步技术改进在于：过滤箱的内壁固接有隔板，且隔板呈水平设置；一号过滤网和二号过滤网均安装在隔板的顶部；隔板的顶部开设有两个排料槽；隔板的底部固接有导料块，且导料块的底部固接在过滤箱的底部内壁；过滤箱的底部固接有排料管。
[0010]本技术的进一步技术改进在于：过滤箱的外侧壁在导料块处设置有观察窗；排料管上设置有阀门。
[0011]本技术的进一步技术改进在于：一号过滤网和二号过滤网的外周均固接环形框架；环形框架的顶部固接有安装块；过滤箱的顶部处开设有安装槽，安装槽内壁固接有橡胶层；安装块插设在安装槽内。
[0012]与现有技术相比，本技术具备以下有益效果：
[0013]1、通过设置一号过滤网和二号过滤网，实现对空气中不同粒径大小的灰尘的过滤，通过螺纹杆带动滑块上下运动，配合毛刷实现对一号过滤网和二号过滤网表面灰尘的清扫，使得一号过滤网和二号过滤网不易出现堵塞的现象，保证了过滤箱对空气的过滤效果。
[0014]2、通过设置隔板和排料槽，便于实现对一号过滤网和二号过滤网表面灰尘的排放，通过观察窗查看储料腔内部的灰尘，当储料腔内部的灰尘较多时，打开阀门，实现对灰尘的排放。
附图说明
[0015]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0016]图1为本技术的外部结构示意图；
[0017]图2为本技术的局部剖面结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中A处的局部放大图。
[0019]图中：1、通风管；2、过滤箱；3、进气管；4、出气管；5、一号过滤网；6、二号过滤网；7、隔板；8、排料槽；9、排料管；10、导料块；11、观察窗；12、阀门；13、螺纹杆；14、滑块；15、毛刷；16、环形框架；17、安装块；18、橡胶层；19、压板。
具体实施方式
[0020]为更进一步阐述本技术为实现预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。
[0021]请参阅图1
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图3所示，一种半导体厂房洁净室送风装置，包括通风管1和过滤箱2，过滤箱2的一侧固接有进气管3，且进气管3的另一端通过法兰与通风管1连接，过滤箱2的另一侧固接有出气管4；使用时，流入通风管1内部的气体沿着进气管3进入过滤箱2，并且通过过滤箱2对空气的过滤，最后从出气管4流出，实现对进入半导体厂房洁净室中的空气的过滤。
[0022]过滤箱2内部在靠近进气管3的一侧设置有一号过滤网5，过滤箱2内部在靠近出气管4的一侧设置有二号过滤网6，一号过滤网5的孔径大于二号过滤网6的孔径，一号过滤网5和二号过滤网6竖直设置；使用时，流进过滤箱2的气体依次经过一号过滤网5和二号过滤网6的过滤，使得空气中的大量灰尘被留在过滤箱2内部。
[0023]过滤箱2的内部固接有隔板7，隔板7呈水平设置，且位于过滤箱2的底部位置处，一号过滤网5和二号过滤网6均位于隔板7的顶部；隔板7表面开设有两个排料槽8，且一个排料槽8位于一号过滤网5的右侧，另一个排料槽8位于二号过滤网6的右侧；过滤箱2的底部固接有排料管9；使用时，一号过滤网5和二号过滤网6落下的灰尘将落入排料槽8，并且从排料管9排出。
[0024]隔板7的底部固接有导料块10，且导料块10的底部与过滤箱2的底部固接，两个导料块10与隔板7之间形成一个储料腔；过滤箱2的外侧壁在储料腔处设置有观察窗11；排料管9的中部位置处设置有阀门12；使用时，通过观察窗11查看储料腔内部的灰尘，当储料腔内部的灰尘较多时，打开阀门12，实现对灰尘的排放。
[0025]过滤箱2的顶部固接有电机，电机的输出轴固接有螺纹杆13，螺纹杆13的底端通过轴承连接在隔板7的顶部；螺纹杆13的外部套设有滑块14，滑块14的左右两侧固接有毛刷15，且两个毛刷15的一侧分别贴在两个过滤网表面；隔板7的顶部还固接有导杆，导杆贯穿且滑动连接于滑块14；使用时，通过电机带动螺纹杆13正反转，使得螺纹杆13带动滑块14上下运动，进而使得毛刷15不断擦拭两个过滤网，实现对过滤网表面灰尘的清理，避免两个过滤网出现堵塞的现象，保证对空气的过滤效果。
[0026]一号过滤网5和二号过滤网6的外周均固接有环形框架16，环形框架16的顶部固接有安装块17，安装块17的顶部固接有压板19，过滤箱2的顶部开设有安装槽，安装槽的内壁固接有橡胶层18，安装块17插设在安装槽中；使用时，将一号过滤网5安装到过滤箱2内部时，只需要将一号过滤网5插入安装槽中，并且使得过滤框架的底部压在隔板7的顶部，此时安装块17也完全镶嵌在安装槽中，并且橡胶层18处于压缩状态，橡胶层18用于实现对安装块17和安装槽之间的密封，保本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体厂房洁净室送风装置，包括通风管(1)，其特征在于：所述通风管(1)的一端通过进气管(3)连接有过滤箱(2)，过滤箱(2)的另一侧固接有出气管(4)；所述过滤箱(2)的内部设置有过滤组件，所述过滤组件包括一号过滤网(5)和二号过滤网(6)，以及竖直方向滑动连接有的毛刷(15)。2.根据权利要求1所述的一种半导体厂房洁净室送风装置，其特征在于，所述一号过滤网(5)设置在靠近进气管(3)的一侧，所述二号过滤网(6)设置在靠近出气管(4)的一侧，且一号过滤网(5)的网孔直径大于二号过滤网(6)的网孔直径。3.根据权利要求2所述的一种半导体厂房洁净室送风装置，其特征在于，所述过滤箱(2)的顶部贯穿且转动连接有螺纹杆(13)，且螺纹杆(13)通过电机驱动，所述螺纹杆(13)的外壁套设有滑块(14)，所述毛刷(15)固接在滑块(14)的两侧；所述过滤箱(2)的顶部固接有导杆，所述导杆贯穿且滑动连接于滑块(14)。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵江民，
申请(专利权)人：合肥玖福半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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