干式无油双级螺杆真空泵制造技术

本发明专利技术公开了一种干式无油双级螺杆真空泵，其包括电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。本发明专利技术的干式无油双级螺杆真空泵，一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体都通过电机驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时，结构紧凑，占地空间小。地空间小。地空间小。

【技术实现步骤摘要】
干式无油双级螺杆真空泵


[0001]本专利技术涉及一种真空
，特别涉及一种干式无油双级螺杆真空泵。

技术介绍

[0002]目前真空技术在半导体工业、电子工业、薄膜制备等工艺过程的应用，迫切需求无油气污染的清洁真空。此外在一些制造工艺中，被抽气体往往有腐蚀性蒸气或固体颗粒，严重影响油封泵的使用寿命。因此，干式真空泵被广泛应用在105Pa～0.1Pa区域，以满足对无油气制程的需求。
[0003]随着基础工业的不断发展与进步，普通的干式螺杆真空泵和普通湿式真空泵已不能完全满足客户日益增长的洁净高真空、高抽速、高能效及场地规模的需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了克服现有存在的上述不足，本专利技术提供一种干式无油双级螺杆真空泵。
[0005]本专利技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种干式无油双级螺杆真空泵，其包括至少一个电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。
[0007]进一步地，所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮的齿数大于所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮的齿数。
[0008]进一步地，所述一级干式螺杆真空泵本体的进气端具有进气管路，所述进气管路上设置有进气消音器；
[0009]和/或，所述进气管路上设置有进气过滤器；
>[0010]和/或，所述进气管路上设置有真空进气阀。
[0011]进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第一冷却装置，所述第一冷却装置的进口连接于所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端并与所述一级干式螺杆真空泵本体相连通；
[0012]优选地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括气水分离器，所述第一冷却装置的出口连接于所述气水分离器，所述气水分离器的排气口连接于所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端。
[0013]进一步地，所述二级干式螺杆真空泵本体的排气端具有排气管路，所述排气管路上设置有排气消音器。
[0014]进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第二冷却装置，所述第二冷却装置连接于所述一级干式螺杆真空泵本体和所述二级干式螺杆真空泵本体并用于对所述一级干式螺杆真空泵本体和所述二级干式螺杆真空泵本体进行冷却降温；
[0015]和/或，所述第二冷却装置连接于所述排气消音器的外表面并用于对所述排气消音器进行冷却降温。
[0016]进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括供油箱、管路和疏油器，所述管路的两端分别连接于所述供油箱和所述疏油器并与所述供油箱和所述疏油器相连通，所述疏油器分流并连接于所述电机的输出齿轮、所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮和所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮。
[0017]进一步地，所述管路上具有齿轮泵；
[0018]和/或，所述管路上具有温控机油过滤器；
[0019]和/或，所述管路上具有第三冷却装置。
[0020]进一步地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括溢流阀，所述溢流阀的两端分别连接于所述管路和所述供油箱，以使所述管路内达到一定的压力时，所述管路内的油返回至所述供油箱内；
[0021]和/或，所述供油箱具有油箱呼吸阀。
[0022]进一步地，所述电机的数量为一个，一个所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合；
[0023]或者，所述电机的数量为两个，两个所述电机分别与所述一级干式螺杆真空泵本体、所述二级干式螺杆真空泵本体传动连接。
[0024]本专利技术的有益效果在于：
[0025]本专利技术的干式无油双级螺杆真空泵，一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体都通过电机驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时，结构紧凑，占地空间小。
附图说明
[0026]图1为本专利技术实施例的干式无油双级螺杆真空泵的立体结构示意图。
[0027]图2为本专利技术实施例的干式无油双级螺杆真空泵的结构示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]电机1
[0030]一级干式螺杆真空泵本体2
[0031]进气消音器21
[0032]进气过滤器22
[0033]真空进气阀23
[0034]二级干式螺杆真空泵本体3
[0035]排气消音器31
[0036]第一冷却装置4
[0037]气水分离器5
[0038]供油箱6
[0039]油箱呼吸阀61
[0040]管路7
[0041]齿轮泵71
[0042]温控机油过滤器72
[0043]第三冷却装置73
[0044]疏油器8
[0045]溢流阀9
具体实施方式
[0046]以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本专利技术可以用以实施的特定实施例。
[0047]如图1和图2所示，本实施例公开了一种干式无油双级螺杆真空泵，该干式无油双级螺杆真空泵包括至少一个电机1、一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3，一级干式螺杆真空泵本体2的排气端与二级干式螺杆真空泵本体3的进气端相连通，电机1的输出齿轮与一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮、二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮相啮合。
[0048]在本实施例的干式无油双级螺杆真空泵中，电机1驱动齿轮箱内的输出齿轮旋转，齿轮箱内中间一输出齿轮，两边各有一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮和二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮与泵体同轴。电机1的输出齿轮旋转，将会驱动左、右两边的第一齿轮和第二齿轮高速旋转，第一齿轮和第二齿轮各自旋转，各自带动一级干式螺杆真空泵本体2的排气端与二级干式螺杆真空泵本体3旋转，进行真空抽取。一级干式螺杆真空泵本体2和二级干式螺杆真空泵本体3都通过电机1驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时，结构紧凑，占地空间小。
[0049]在本实施例中，电机1的数量为一个，一个电机1的输出齿轮均与一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮、二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮相啮合。当然，在其他实施例中，电机1的数量为两个，两个电机1分别与一级干式螺杆真空泵本体2、二级干式螺杆真空泵本体3传动连接。
[0050]一级干式螺杆真空泵本体2的第一齿轮的齿数大于二级干式螺杆真空泵本体3的第二齿轮的齿数。通过第一齿轮的齿数大于第二齿轮的齿数，使得二级干式螺杆真空泵本体3的转速大于等于一级干式螺杆真空泵本体2的转速，因二级干式螺杆真空泵本体3的转速高，抽速更快，所以不会产生真空泵体之间的“串气”现象，大大提高了干式无油双本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，其包括至少一个电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。2.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮的齿数大于所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮的齿数。3.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述一级干式螺杆真空泵本体的进气端具有进气管路，所述进气管路上设置有进气消音器；和/或，所述进气管路上设置有进气过滤器；和/或，所述进气管路上设置有真空进气阀。4.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第一冷却装置，所述第一冷却装置的进口连接于所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端并与所述一级干式螺杆真空泵本体相连通；优选地，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括气水分离器，所述第一冷却装置的出口连接于所述气水分离器，所述气水分离器的排气口连接于所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端。5.如权利要求1所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述二级干式螺杆真空泵本体的排气端具有排气管路，所述排气管路上设置有排气消音器。6.如权利要求5所述的干式无油双级螺杆真空泵，其特征在于，所述干式无油双级螺杆真空泵还包括第二冷却装置，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇，
申请(专利权)人：上海汉钟精机股份有限公司，
类型：发明
国别省市：