本申请公开了一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置，贴膜装置包括贴膜台和固定连接于贴膜台一侧的转料台，转料台具有用于容置贴膜装置的载料台的容置空间，防护机构包括第一连接结构和罩体，第一连接结构用于与贴膜台连接，罩体经由第一连接结构用于与贴膜台连接，且可相对转料台沿预设方向运动，以使罩体具有罩设容置空间的开口的关闭状态、以及具有显露容置空间的开口的打开状态，罩体可在关闭状态和打开状态之间切换。通过该设计，能够有效降低工作人员在载料台来回运动的过程中被误伤的风险，提高了贴膜装置的安全性能。提高了贴膜装置的安全性能。提高了贴膜装置的安全性能。
【技术实现步骤摘要】
一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置
[0001]本申请涉及半导体加工
，尤其涉及一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置。
技术介绍
[0002]在晶圆加工过程中，其中一道工序为利用贴膜装置给晶圆的表面贴膜，贴膜装置通常包括转料台和用于在贴膜装置的加工位置和转料台之间传送晶圆的载料台，载料台移动至转料台承载待贴膜的晶圆，并带着待贴膜晶圆移动至贴膜装置的加工位置进行贴膜，当晶圆完成贴膜后，载料台承载已贴膜晶圆移动至转料台，以便于将晶圆移送至下一加工工位。
[0003]而工作人员在操作过程中，容易被在贴膜装置的加工位置和载料台之间来回运动的载料台所误伤，因此，如何提高贴膜装置的安全性能以降低工作人员在载料台来回运动的过程中被误伤的风险已成为亟待解决的问题。
技术实现思路
[0004]本申请实施例提供一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置，能够有效降低工作人员在载料台来回运动的过程中被误伤的风险，提高了贴膜装置的安全性能。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种用于贴膜装置的防护机构；贴膜装置包括贴膜台和固定连接于贴膜台一侧的转料台，转料台具有用于容置贴膜装置的载料台的容置空间，防护机构包括第一连接结构和罩体，第一连接结构用于与贴膜台连接，罩体经由第一连接结构用于与贴膜台连接，且可相对转料台沿预设方向运动，以使罩体具有罩设容置空间的开口的关闭状态、以及具有显露容置空间的开口的打开状态，罩体可在关闭状态和打开状态之间切换。
[0006]基于本申请实施例的防护机构，当载料台需要相对转料台运动以移送晶圆时，推动罩体让罩体相对转料台运动至罩设转料台的容置空间的开口而处于关闭状态，使得工作人员在操作过程中不会被相对转料台运动的载料台所误伤，提高了贴膜装置的安全性能；推动罩体让罩体相对转料台运动至显露出转料台的容置空间的开口而处于打开状态，以便于将转料台的容置空间内的已完成贴膜的晶圆转移至下一工序的加工位置，以及便于将待加工晶圆经由转料台的容置空间的开口放置于载料台上。
[0007]在其中一些实施例中，第一连接结构包括一导轨，导轨与贴膜台连接，罩体的一侧与导轨滑动连接，其中，导轨的延伸方向与预设方向平行。
[0008]基于上述实施例，罩体的一侧与导轨滑动连接，通过推动罩体沿导轨滑动，可以使得罩体在罩设转料台的容置空间的开口和显露转料台的容置空间的开口直接切换，降低了罩体在关闭状态与打开状态之间切换的难度，且导轨能够给罩体提供支撑作用，使得罩体在运动过程中保持平稳。
[0009]在其中一些实施例中，沿导轨的延伸方向上，导轨的长度尺寸大于罩体的长度尺
寸。
[0010]基于上述实施例，通过将导轨的长度尺寸设计成大于罩体的长度尺寸，罩体在由关闭状态沿导轨滑动至打开状态的过程中，导轨还能继续给罩体提供支撑，使得罩体在运动过程中以及处于打开状态时可以保持平稳，提高了防护机构的稳定性。
[0011]在其中一些实施例中，防护机构还包括第二连接结构，第二连接结构与转料台连接，且罩体远离第一连接结构的一侧经由第二连接结构与转料台连接。
[0012]基于上述实施例，罩体经由第二连接结构与转料台连接，使得罩体在相对转料台运动的过程中，第二连接结构也能够给罩体提供支撑作用，进一步提高了罩体在运动过程中的稳定性。
[0013]在其中一些实施例中，第一连接结构包括一导轨，导轨与贴膜台连接，罩体的一侧与导轨滑动连接，导轨的延伸方向与预设方向平行；第二连接结构包括导向杆和导向块，导向块与转料台以及罩体中的一者连接，导向杆穿设导向块且与转料台以及罩体中的另一者连接，且导向杆的延伸方向与预设方向平行。
[0014]基于上述实施例，通过第一连接结构包括一导轨，第二连接结构包括导向杆和导向块的设计，罩体可以沿第一连接结构以及第二连接结构来相对转料台运动，在提高了罩体在运动过程中的稳定性的同时，降低了罩体相对转料台运动而在打开状态与关闭状态之间切换的难度。
[0015]在其中一些实施例中，防护机构还包括限位结构，限位结构设置于转料台，限位结构用于在罩体处于打开状态时与罩体抵接，以限制罩体脱离转料台。
[0016]基于上述实施例，通过限位结构的设计，使得限位结构与罩体抵接后，罩体不会相对转料台继续运动，降低了罩体因脱离转料台而滑落至地面造成损坏的风险。
[0017]在其中一些实施例中，防护机构还包括抵接结构，抵接结构与罩体连接，抵接结构用于在罩体处于打开状态时与限位结构连接，以固定罩体与转料台的相对位置。
[0018]基于上述实施例，抵接结构与限位结构连接，实现了罩体与转料台之间位置的相对固定，同时，通过抵接件的设计增大了罩体处于打开状态时搭接在转料台上的区域，提高了罩体处于打开状态为时的稳定性。
[0019]在其中一些实施例中，限位结构的至少部分具有磁性；和抵接结构的至少部分具有磁性。
[0020]基于上述实施例，限位结构的至少部分具有磁性且抵接结构的至少部分具有磁性，使得罩体处于打开状态时，限位结构与抵接结构在磁力作用下相互吸引，从而实现罩体与转料台之间位置的相对固定，降低了抵接结构与限位结构之间的连接难度，提升罩体从打开状态切换至关闭状态、或者从关闭状态切换至打开状态的便携性。
[0021]在其中一些实施例中，防护机构还包括握持结构，握持结构连接于罩体背离转料台的一侧。
[0022]基于上述实施例，通过在罩体背离转料台的一侧设置握持结构，便于工作人员借助握持结构推动罩体相对转料台运动，提高了防护机构的操作便捷性。
[0023]第二方面，本申请实施例提供了一种贴膜装置，贴膜装置包括上述防护机构。
[0024]基于本申请实施例中的贴膜装置，在载台在转料台和贴膜装置的加工位置之间传送晶圆的过程中，让罩体始终保持关闭状态，使得工作人员在操作过程中不会被相对转料
台运动的载料台所误伤，提高了贴膜装置的安全性能。
[0025]基于本申请实施例的一种用于贴膜装置的防护机构及贴膜装置，当载料台需要相对转料台运动以移送晶圆时，推动罩体让罩体相对转料台运动至罩设转料台的容置空间的开口而处于关闭状态，使得工作人员在操作过程中不会被相对转料台运动的载料台所误伤，提高了贴膜装置的安全性能；推动罩体让罩体相对转料台运动至显露出转料台的容置空间的开口而处于打开状态，以便于将转料台的容置空间内的已完成贴膜的晶圆转移至下一工序的加工位置，以及便于将待加工晶圆经由转料台的容置空间的开口放置于载料台上。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本申请一种实施例中罩体处于关闭状态时的结构示意图；
[0028]图2为本申请一种实施例中罩体处于打开状本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于贴膜装置的防护机构，其特征在于，所述贴膜装置包括贴膜台和固定连接于所述贴膜台一侧的转料台，所述转料台具有用于容置所述贴膜装置的载料台的容置空间，所述防护机构包括：第一连接结构，用于与所述贴膜台连接；罩体，经由所述第一连接结构用于与所述贴膜台连接，且可相对所述转料台沿预设方向运动，以使所述罩体具有罩设所述容置空间的开口的关闭状态、以及具有显露所述容置空间的开口的打开状态，所述罩体可在所述关闭状态和所述打开状态之间切换。2.如权利要求1所述的防护机构，其特征在于，所述第一连接结构包括一导轨，所述导轨与所述贴膜台连接，所述罩体的一侧与所述导轨滑动连接，其中，所述导轨的延伸方向与所述预设方向平行。3.如权利要求2所述的防护机构，其特征在于，沿所述导轨的延伸方向上，所述导轨的长度尺寸大于所述罩体的长度尺寸。4.如权利要求1所述的防护机构，其特征在于，所述防护机构还包括第二连接结构，所述第二连接结构与所述转料台连接，且所述罩体远离所述第一连接结构的一侧经由所述第二连接结构与所述转料台连接。5.如权利要求4所述的防护机构，其特征在于，所述第一连接结构包括一导轨，所述导轨与所述贴膜台连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：施心星，
申请(专利权)人：苏州镭明激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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