离子源辅助安装工具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种离子源辅助安装工具，离子源辅助安装工具包括灯丝定位件和安装部，灯丝定位件与安装部连接，并凸出于安装部；安装部具有第一定位结构，第一定位结构用于与离子源的第二定位结构配合，用于限定离子源的支撑部的位置；灯丝定位件被配置为，当调整离子源的灯丝夹具与离子源的阴极电机夹具的相对位置时，灯丝定位件用于与灯丝夹具开设的凹槽相对，以定位灯丝夹具的位置。上述离子源辅助安装工具在辅助离子源安装灯丝时，保证了灯丝与阴极电极的开口的侧壁之间的距离符合使用需求，避免灯丝与阴极电极的开口的侧壁间距过小导致灯丝报废，或灯丝与阴极电极的开口的侧壁间距过大，无法满足使用需求的情况发生。无法满足使用需求的情况发生。无法满足使用需求的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
离子源辅助安装工具


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，特别是涉及离子源辅助安装工具。

技术介绍

[0002]离子源包括灯丝和阴极电极，离子源工作时，灯丝位于阴极电极的外侧，并相互保持一定的间隔，以实现电隔离。然而，若灯丝与阴极电极的间距过小，容易造成灯丝与阴极电极接触而短路，从而导致灯丝报废；若灯丝与阴极电极的间距过大，则无法满足使用需求。目前的灯丝与阴极电极只能通过手动安装，两者之间的距离无法保证，因此，安装时需要多次调整试验，安装不方便。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对目前的灯丝与阴极电极只能通过手动安装，两者之间的距离无法保证，因此，安装时需要多次调整试验，安装不方便的问题，提供一种离子源辅助安装工具。
[0004]本申请提供一种离子源辅助安装工具，离子源辅助安装工具包括：灯丝定位件和安装部，灯丝定位件与安装部连接，并凸出于安装部；安装部具有第一定位结构，第一定位结构用于与离子源的第二定位结构配合，用于限定离子源的支撑部沿第一方向和第二方向的位置，第一方向和第二方向分别垂直于安装部的凸出方向；灯丝定位件被配置为，当调整离子源的灯丝夹具与离子源的阴极电机夹具的相对位置时，灯丝定位件用于与灯丝夹具开设的凹槽相对，以定位灯丝夹具的位置。
[0005]上述离子源辅助安装工具在辅助离子源安装灯丝时，先将阴极电极从阴极电极夹具上拆卸，使得第二点位元件与第一定位结构配合，以使得第二定位结构被第一定位结构定位，从而阴极电极夹具被第一定位结构定位，用于第二定位结构和阴极电极夹具沿第一方向和第二方向的位置，进而限制支撑部沿第一方向和第二方向的位置。再调整灯丝夹具的位置，使得灯丝夹具与阴极电极电极之间的相对位置改变，当灯丝定位件与灯丝夹具开设的凹槽位置相对时，即定位了灯丝夹具的位置，进而定位灯丝的位置，保证灯丝与阴极电极夹具开设的通孔的位置固定。阴极电极与阴极电极夹具安装的一端开设有向内凹陷的开口，从而阴极电极安装后，灯丝与阴极电极的开口的侧壁的位置为调整好的位置，保证灯丝与开口的侧壁之间的距离符合使用需求，避免灯丝与开口的侧壁间距过小导致灯丝报废，或灯丝与开口的侧壁间距过大，无法满足使用需求的情况发生。
[0006]在其中一个实施例中，灯丝定位件的数量为两个，两个灯丝定位件沿第一方向间隔设置，且两个灯丝定位件分别用于与灯丝夹具开设的两个凹槽相对。
[0007]在其中一个实施例中，灯丝定位件的横截面为圆形，且圆形的直径为2mm，两个灯丝定位件分别距安装部沿第一方向的中轴线的尺寸为4.6mm。
[0008]在其中一个实施例中，第一定位结构和第二定位结构两者中的其中一者为滑槽，另一者为滑块，滑槽与滑块沿第三方向滑动配合，第三方向为安装部的凸出方向。
[0009]在其中一个实施例中，第一定位结构为滑槽；
[0010]安装部开设有两个滑槽，两个滑槽开设于安装部沿第二方向的一侧，且两个滑槽沿第一方向间隔设置，两个滑槽分别用于与离子源的两个滑块滑动配合。
[0011]在其中一个实施例中，滑槽沿第一方向的尺寸为15mm，滑槽沿第二方向凹陷的尺寸为4mm，滑槽沿第一方向的槽壁距安装部的侧壁的尺寸为0.25mm。
[0012]在其中一个实施例中，安装部背离灯丝定位件的一侧开设有定位孔，定位孔用于待离子源的阴极电极插入。
[0013]在其中一个实施例中，定位孔为圆形孔，圆形孔的直径为12mm。
[0014]在其中一个实施例中，圆形孔的圆心距离安装部背离第一定位结构的一侧的尺寸为16mm。
[0015]在其中一个实施例中，灯丝定位件为金属材质，安装部为金属材质。
附图说明
[0016]图1为一实施例中离子源辅助安装工具的结构示意图。
[0017]图2为离子源辅助安装工具与离子源的连接关系示意图；
[0018]图3为离子源辅助安装工具与离子源的另一连接关系示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]离子源辅助安装工具100；
[0021]灯丝定位件110；
[0022]安装部120；滑槽101；定位孔102；
[0023]离子源200；
[0024]支撑部210；支撑部本体211；滑块212；
[0025]灯丝夹具220；凹槽201；
[0026]阴极电极夹具230；通孔202；
[0027]阴极电极240；开口203。
具体实施方式
[0028]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0031]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0033]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子源辅助安装工具，其特征在于，所述离子源辅助安装工具包括：灯丝定位件和安装部，所述灯丝定位件与所述安装部连接，并凸出于所述安装部；所述安装部具有第一定位结构，所述第一定位结构用于与离子源的第二定位结构配合，用于限定所述离子源的支撑部沿第一方向和第二方向的位置，所述第一方向和所述第二方向分别垂直于所述安装部的凸出方向；当调整所述离子源的灯丝夹具与所述离子源的阴极电机夹具的相对位置时，所述灯丝定位件用于与所述灯丝夹具开设的凹槽相对，以定位所述灯丝夹具的位置。2.根据权利要求1所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述灯丝定位件的数量为两个，两个所述灯丝定位件沿所述第一方向间隔设置，且两个所述灯丝定位件分别用于与所述灯丝夹具开设的两个所述凹槽相对。3.根据权利要求2所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述灯丝定位件的横截面为圆形，且所述圆形的直径为2mm，两个所述灯丝定位件分别距所述安装部沿所述第一方向的中轴线的尺寸为4.6mm。4.根据权利要求1所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述第一定位结构和所述第二定位结构两者中的其中一者为滑槽，另一者为滑块，所述滑槽与所述滑块沿第三方...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳港荣，汪东，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：