用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置制造方法及图纸

本申请提供一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置，其中方法包括：采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据；根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值；根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比；根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断。本申请利用现场采集的温度数据、流量数据确定加热器的热量值，然后利用热量值和加热器功率确定占空比，通过设定加热器的占空比来控制加热器的通断，实现加热器出口温度和现场采集的回口温度曲线的一致性，使得半导体温控设备可以更好地满足主设备的工艺要求。足主设备的工艺要求。足主设备的工艺要求。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种用于半导体温控设备的负载装置的控制方法及装置。

技术介绍

[0002]半导体温控设备用于在集成电路制造工艺中提供稳定流量和稳定温度的循环液体，在样机测试阶段需要尽可能模拟现场负载曲线进行样机测试，以保证厂内测试与现场执行的一致性。
[0003]目前，半导体温控设备负载模拟主要通过手动设定加热器开启时间、关闭时间和开启功率，模拟现场主设备工况，对半导体专用温控设备进行调试。
[0004]但是，该方案模拟出的温度曲线与主设备温度曲线存在一定差距，出口温度曲线和回口温度曲线之间不一致，并且需要手动输入较多的参数，导致最终模拟的温度曲线精确度不高。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的上述问题，本申请提供一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置。
[0006]第一方面，本申请提供一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，包括：
[0007]采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据；
[0008]根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值；
[0009]根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比；
[0010]根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断。
[0011]可选地，所述根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，包括：
[0012]根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的初始占空比；
[0013]根据不同采样时刻对应的修正系数对不同采样时刻的初始占空比进行修正，得到所述加热器在不同采样时刻的占空比。
[0014]可选地，所述加热器的热量参数包括所述加热器的功率和所述加热器的开关周期，所述确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，包括：
[0015]根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的功率，确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长；
[0016]根据所述加热器在不同采样时刻的导电时长、所述开关周期和修正系数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比。
[0017]可选地，所述确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长，满足如下计算公式：
[0018][0019]其中，t(i)表示i时刻加热器的导电时长，Q(i)表示i时刻加热器的热量值，Q
加热器
表示加热器的功率。
[0020]可选地，所述确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，满足如下计算公式：
[0021][0022]其中，h
out
(i)表示i时刻加热器的占空比，k(i)表示i时刻加热器的修正系数，t(i)表示i时刻加热器的导电时长，T表示加热器的开关周期。
[0023]可选地，所述根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断，包括：
[0024]将所述加热器在不同采样时刻的占空比导入人机界面，并按照采样周期依次输出；
[0025]将所述人机界面输出的占空比经过可编程逻辑控制器输出后控制所述加热器的通断。
[0026]第二方面，本申请还提供一种用于半导体温控设备的负载系统的控制装置，包括：
[0027]数据采集模块，用于采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据；
[0028]热量值确定模块，用于根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值；
[0029]占空比确定模块，用于根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比；
[0030]控制模块，用于根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断。
[0031]可选地，所述占空比确定模块还用于：
[0032]根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的初始占空比；
[0033]根据不同采样时刻对应的修正系数对不同采样时刻的初始占空比进行修正，得到所述加热器在不同采样时刻的占空比。
[0034]可选地，所述加热器的热量参数包括所述加热器的功率和所述加热器的开关周期，所述占空比确定模块还用于：
[0035]根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的功率，确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长；
[0036]根据所述加热器在不同采样时刻的导电时长、所述开关周期和修正系数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比。
[0037]可选地，所述确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长，满足如下计算公式：
[0038][0039]其中，t(i)表示i时刻加热器的导电时长，Q(i)表示i时刻加热器的热量值，q
加热器
表示加热器的功率。
[0040]可选地，所述确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，满足如下计算公式：
[0041][0042]其中，h
out
(i)表示i时刻加热器的占空比，k(i)表示i时刻加热器的修正系数，t(i)表示i时刻加热器的导电时长，T表示加热器的开关周期。
[0043]可选地，所述控制模块还用于：
[0044]将所述加热器在不同采样时刻的占空比导入人机界面，并按照采样周期依次输出；
[0045]将所述人机界面输出的占空比经过可编程逻辑控制器输出后控制所述加热器的通断。
[0046]第三方面，本申请还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述用于半导体温控设备的负载系统的控制方法。
[0047]第四方面，本申请还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述半导体温控设备的负载系统的控制方法。
[0048]第五方面，本申请还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述半导体温控设备的负载系统的控制方法。
[0049]本申请提供的半导体温控设备的负载系统的控制方法及装置，利用现场采集的温度数据、流量数据确定加热器的热量值，然后利用热量值和加热器功率确定占空比，通过设定加热器的占空比来控制加热器的通断，实现加热器出口温度和现场采集的回口温度曲线的一致性，从而使得调试阶段可以精确地模拟主机台负载的温度曲线，使得半导体温控设备可以更好地满足主设备的工艺要求。
附图说明
[0050]为了更清楚地说明本申请或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，其特征在于，包括：采集机台在带载状态下循环液体的温度数据和流量数据；根据所述温度数据和所述流量数据确定负载系统中加热器在不同采样时刻的热量值；根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比；根据所述加热器在不同采样时刻的占空比控制所述加热器的通断。2.根据权利要求1所述的用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，其特征在于，所述根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，包括：根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的热量参数，确定所述加热器在不同采样时刻的初始占空比；根据不同采样时刻对应的修正系数对不同采样时刻的初始占空比进行修正，得到所述加热器在不同采样时刻的占空比。3.根据权利要求1所述的用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，其特征在于，所述加热器的热量参数包括所述加热器的功率和所述加热器的开关周期，所述确定所述加热器在不同采样时刻的占空比，包括：根据所述加热器在不同采样时刻的热量值和所述加热器的功率，确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长；根据所述加热器在不同采样时刻的导电时长、所述开关周期和修正系数，确定所述加热器在不同采样时刻的占空比。4.根据权利要求3所述的用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，其特征在于，所述确定所述加热器在不同采样时刻的导电时长，满足如下计算公式：其中，t(i)表示i时刻加热器的导电时长，Q(i)表示i时刻加热器的热量值，Q
加热器
表示加热器的功率。5.根据权利要求4所述的用于半导体温控设备的负载系统的控制方法，其特征在于，所述确定...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文博，何茂栋，王晓尉，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：