一种晶元测试探针台测试箱制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆探针台技术领域，且特别涉及了一种晶元测试探针台测试箱，包括主箱体，所述主箱体的侧面安装有开设了进料口的副箱体。该晶元测试探针台测试箱，通过副箱体和密闭组件可将测试箱分为两个相对独立的真空腔体，当晶圆在主箱体内进行检测时，副箱体侧面的闭合板件可开启，直线导轨副配合回转机构与晶圆承载板可对检测完成的晶圆进行更换，之后，将待检测晶圆放置在空置的晶圆承载板上，关闭闭合板件，对副箱体抽真空，在直线导轨副配合压力传动机构的作用下可开启密闭组件，将晶圆承载板送入主箱体内，并使待检测晶圆与完成检测晶圆的位置相互调换，使晶圆测试探针台可连续工作，从而缩短晶圆的检测间隔。从而缩短晶圆的检测间隔。从而缩短晶圆的检测间隔。

【技术实现步骤摘要】
一种晶元测试探针台测试箱


[0001]本技术涉及晶圆探针台领域，具体涉及一种晶元测试探针台测试箱。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，他们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，测试箱是探针测试台的外部组件，其主要功能是为测试台内部机构和探针测试机提供防护，但在某些特殊情况下，测试箱也需要为晶圆的特殊检测提供测试环境，例如晶圆在低温大气环境中测试时，空气中的水汽会凝结在晶片上，如此会因漏电过大或者探针无法接触电极而导致测试失败，为了避免上述情况的发生，晶圆便放置在真空腔内测试。
[0003]现有的通用探针测试台无法为晶圆提供符合测试要求的真空环境，为了满足真空测试的环境要求，部分探针测试台厂商设计了真空测试台，即在现有探针测试台的外部设置密封的高强度壳体，在测试时，只需使用泵机将壳体内部空气抽出，使壳体内部为真空环境，便可开始对晶圆测试，但上述真空探针测试台在更换待检测晶圆时，壳体内部气压需先恢复正常大气压，才能开启壳体，而当待检测晶圆放入壳体后，还需再次对壳体进行抽真空操作，如此便导致晶圆检测无法连续进行，探针台无法连续对晶圆进行检测，相邻的待检测晶圆之间均有较长的等待间隔，所以需要提出一种可连续对。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可缩短相邻待检测晶圆检测间隔的真空测试箱。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种晶元测试探针台测试箱，包括主箱体，所述主箱体的侧面安装有开设了进料口的副箱体，所述副箱体的进料口处设置有闭合板件，所述副箱体的顶部设置有用于驱动闭合板件移动的驱动件，所述主箱体与副箱体连接的一侧开设有连通槽，所述主箱体的侧面设置有用于隔断连通槽的密闭组件，所述副箱体的内部设置有直线导轨副和用于驱动密闭组件转动的压力传动组件，所述密闭组件包括安装于主箱体侧面的固定轴，所述固定轴通过弹性件连接有密封板，所述密封板与压力传动组件相连接。
[0006]作为本技术所述的一种晶元测试探针台测试箱优选方案，其中：所述直线导轨副包括安装在副箱体内底壁的导轨和与导轨驱动轴输入端连接的驱动电机，所述导轨上安装有滑动连接的滑块，所述压力传动组件包安装在滑块侧面的压杆和安装在副箱体内部的外管，所述外管远离压杆的一端安装有推杆，所述密封板的侧面设置有导向件，所述导向件的侧面开设有滑道，所述推杆远离外管的一端设置有与滑道连接的滑杆。
[0007]作为本技术所述的一种晶元测试探针台测试箱优选方案，其中：所述滑块的顶部通过回转机构，所述回转机构的输出端通过升降组件连接有晶圆承载板。
[0008]作为本技术所述的一种晶元测试探针台测试箱优选方案，其中：所述晶圆承载板的顶部设置有与晶圆尺寸相适应的嵌槽。
[0009]作为本技术所述的一种晶元测试探针台测试箱优选方案，其中：所述闭合板件包括用于封闭副箱体进料口的闭合板和设置于副箱体内壁用于限制闭合板移动方向的限位件，所述驱动件的活动端贯穿副箱体的顶部并延伸至副箱体的内部，且驱动件活动端位于副箱体内部的一端与闭合板连接。
[0010]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0011]该晶元测试探针台测试箱，通过副箱体和密闭组件可将测试箱分为两个相对独立的真空腔体，当晶圆在主箱体内进行检测时，副箱体侧面的闭合板件可开启，直线导轨副配合回转机构与晶圆承载板可对检测完成的晶圆进行更换，之后，将待检测晶圆放置在空置的晶圆承载板上，关闭闭合板件，对副箱体抽真空，在直线导轨副配合压力传动机构的作用下可开启密闭组件，将晶圆承载板送入主箱体内，并使待检测晶圆与完成检测晶圆的位置相互调换，使晶圆测试探针台可连续工作，从而缩短晶圆的检测间隔。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0013]图2是本技术实施例的正剖视图。
[0014]图3是本技术图2中A处的放大图。
[0015]图4是本技术图2中B处的放大图。
[0016]图5是本技术实施例副箱体的第一剖视图。
[0017]图6是本技术实施例副箱体的第二剖视图。
[0018]图7是本技术实施例的俯剖视图。
[0019]其中：1、主箱体；2、副箱体；3、阀体；4、连通槽；5、密闭组件；501、固定轴；502、密封板；6、驱动件；7、闭合板件；701、闭合板；702、限位件；8、直线导轨副；801、导轨；802、滑块；803、驱动电机；9、回转机构；10、升降组件；11、晶圆承载板；12、压力传动组件；1201、外管；1202、压杆；1203、推杆；1204、滑杆；1205、导向件。
具体实施方式
[0020]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0021]参见图1
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7图，本实施例提供了一种晶元测试探针台测试箱，包括主箱体1，主箱体1的侧面安装有开设了进料口的副箱体2，主箱体1和副箱体2的侧面均设置有进气管和抽气管，所有进气管和抽气管的端面均安装有阀体3，而阀体3包括但不限于真空球形阀和真空蝶形阀，其中抽气管端面处的阀体3均通过管道与真空抽气泵相连，主箱体1内部设置的探针测试台、探针测试机、探针测试卡和机械臂等部件均为画出，其中机械臂为取料端为双工位真空吸盘。
[0022]副箱体2的进料口处设置有闭合板件7。
[0023]其中，闭合板件7包括设置用于封闭副箱体2进料口的闭合板701和设置于副箱体2内壁用于限制闭合板701移动方向的限位件702，限位件702共有两个，分别位于闭合板701的两侧，且与闭合板701相接处的两侧面均开设有线性嵌槽，以限制闭合板701的移动方向，使闭合板701只能做升降运动。
[0024]副箱体2的顶部设置有用于驱动闭合板件7移动的驱动件6。
[0025]其中，驱动件6包括但不限于伸缩气缸，驱动件6安装于副箱体2的顶部，且驱动件6的活动端贯穿副箱体2的顶部并延伸至副箱体2的内部，驱动件6活动端位于副箱体2内部的一端与闭合板701连接，以控制闭合板701的升降。
[0026]主箱体1与副箱体2连接的一侧开设有连通槽4，主箱体1的侧面设置有用于隔断连通槽4的密闭组件5。
[0027]其中，密闭组件5包括安装于主箱体1侧面的固定轴501，固定轴501通过弹性件连接有密封板502，弹性件包括但不限于扭簧，在扭簧的作用下将密封板502与主箱体1侧面的相对侧与主箱体1的侧面抵持贴合。
[0028]副箱体2的内部设置有直线导轨副8和用于驱动密闭组件5转动的压力传动组件12。
[0029]其中直线导轨副8包括安装在副箱体2内底壁的导轨801和与导轨801驱动轴输入端连接的驱动电机803，导轨801上安装有滑动连接的滑块802，在驱动电机803的作用下滑块802可沿着导轨801的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元测试探针台测试箱，包括主箱体(1)，其特征在于：所述主箱体(1)的侧面安装有开设了进料口的副箱体(2)，所述副箱体(2)的进料口处设置有闭合板件(7)，所述副箱体(2)的顶部设置有用于驱动闭合板件(7)移动的驱动件(6)，所述主箱体(1)与副箱体(2)连接的一侧开设有连通槽(4)，所述主箱体(1)的侧面设置有用于隔断连通槽(4)的密闭组件(5)，所述副箱体(2)的内部设置有直线导轨副(8)和用于驱动密闭组件(5)转动的压力传动组件(12)；所述密闭组件(5)包括安装于主箱体(1)侧面的固定轴(501)，所述固定轴(501)通过弹性件连接有密封板(502)，所述密封板(502)与压力传动组件(12)相连接。2.根据权利要求1所述的一种晶元测试探针台测试箱，其特征在于：所述直线导轨副(8)包括安装在副箱体(2)内底壁的导轨(801)和与导轨(801)驱动轴输入端连接的驱动电机(803)，所述导轨(801)上安装有滑动连接的滑块(802)，所述压力传动组件(12)包安装在滑块(802)侧面的压杆(1202)和安装在副...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：安徽京元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：