发光元件阵列制造技术

[对象]提供一种具有使得能够增加发光元件的密度的布线结构的发光元件阵列。[解决方案]根据本技术的发光元件阵列包括：发光元件组，第一布线，以及第二布线。发光元件组包括以平面方式排列而形成发光元件面的多个第一发光元件和多个第二发光元件。第一布线在与发光元件面平行的方向上延伸，从与发光元件面垂直的方向看时，具有与多个第一发光元件重叠的区域以及与多个第二发光元件重叠的区域，与多个第一发光元件电连接，与上述多个第二发光元件未电连接。第二布线在与发光元件面平行的方向上延伸，从与发光元件面垂直的方向看时，具有与多个第一发光元件重叠的区域以及与多个第二发光元件重叠的区域，与多个第二发光元件电连接，与上述多个第一发光元件未电连接。与上述多个第一发光元件未电连接。与上述多个第一发光元件未电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】发光元件阵列


[0001]本技术涉及排列有多个发光元件的发光元件阵列。

技术介绍

[0002]诸如垂直腔面发射激光器(VCSEL)元件的发光元件通常用作排列有多个发光元件的发光元件阵列。这里，在发光元件阵列中，根据构成阵列的发光元件的数量和密度，每个发光元件的布线引起问题。
[0003]例如，专利文献1公开了在排列成矩阵的大量发光元件分别连接阳极布线和阴极布线的图像形成装置。阳极布线和阴极布线以在彼此正交的方向上延伸且彼此交叉的方式设置，并且被配置为使得可以减小发光单元的尺寸并且可以增加单个发光元件的尺寸。
[0004]此外，专利文献2公开了一种图像形成装置，在该图像形成装置中，第一布线和第二布线连接至以n
×
m矩阵布置的大量发光元件中的每一个。通过设置n根以上的第一布线，并且设置与第一布线交叉的n根以上的第二布线，能够抑制各布线的布线电阻和静电电容。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本专利申请公开第2001
‑
063139号
[0008]专利文献2：日本专利申请公开第1998
‑
107386号。

技术实现思路

[0009]技术问题
[0010]但是，在专利文献1所记载的结构中，发光元件间的间隔越短，配线设置空间越有限，难以形成布线。此外，在专利文献2中描述的配置具有操作延迟随着发光元件的密度增加而增加的问题。如上所述，从布线结构的观点来看，现有技术尚未充分处理发光元件密度的增加。
[0011]鉴于上述情况，本技术的目的是提供具有使得能够增加发光元件的密度的布线结构的发光元件阵列。
[0012]问题的解决方案
[0013]为了实现上述目的，根据本技术的实施方式的发光元件阵列包括：发光元件组；第一布线；以及第二布线。
[0014]发光元件组包括以平面方式排列以形成发光元件面的多个第一发光元件和多个第二发光元件。
[0015]上述第一布线在与上述发光元件面平行的方向上延伸，从与发光元件面垂直的方向看，具有与上述多个第一发光元件重叠的区域以及与上述多个第二发光元件重叠的区域，与多个第一发光元件电连接，与上述多个第二发光元件未电连接。
[0016]第二布线在与发光元件面平行的方向上延伸，从与发光元件面垂直的方向看，具有与上述多个第一发光元件重叠的区域以及与多个第二发光元件重叠的区域，与上述多个
第二发光元件电连接，与上述多个第一发光元件未电连接。
[0017]根据该结构，由于第一布线以及第二布线分别具有与第一发光元件以及第二发光元件重叠的区域，并且第一布线仅与第一发光元件电连接，第二布线仅与第二发光元件电连接，所以能够在增加第一布线以及第二布线的密度的同时使第一布线以及第二布线分别独立地发光。
[0018]发光元件组可以包括排列有多个第一发光元件的第一发光元件列和排列有多个第二发光元件的第二发光元件列，
[0019]在与发光元件面平行的方向上，第一配线的中心与第一发光元件列的中心分离，并且
[0020]也可以是，在与发光元件面平行的方向上，第二配线的中心与第二发光元件列的中心分离。
[0021]也可以是，上述发光元件组还具备：第三发光元件列，配置在上述第二发光元件列的与上述第一发光元件列相反的一侧，
[0022]从与发光元件面垂直的方向看，第一布线设置在第一发光元件列的中心与第二发光元件列的中心之间，并且
[0023]也可以是，从与发光元件面垂直的方向看，第二布线设置于上述第二发光元件列的中心与第三发光元件列的中心之间。
[0024]第一发光元件列、第二发光元件列、第三发光元件列、第一布线以及第二布线各自在与发光元件面平行的第一方向上延伸，并且在与发光元件面平行并且与第一方向正交的第二方向上彼此分离，
[0025]第一布线在第二方向上的宽度可以大于所述第一发光元件列与第二发光元件列在第二方向上的间隔，并且
[0026]第二布线在第二方向上的宽度可以大于第二发光元件列与第二发光元件列在第二方向上的间隔。
[0027]第一布线和第二布线可以在同一层形成。
[0028]第一布线可以经由绝缘层层叠在多个第一发光元件和多个第二发光元件上，经由多个第一发光元件上的绝缘层中设置在第一贯通孔与多个第一发光元件电连接，并且通过多个第二发光元件上的绝缘层与多个第二发光元件绝缘，并且
[0029]也可以是，第二布线经由绝缘层层叠在多个第一发光元件和上述多个第二发光元件上，经由多个第二发光元件上的绝缘层中设置的第二贯通孔与多个第二发光元件电连接，并且通过多个第一发光元件上的绝缘层与多个第一发光元件绝缘。
[0030]多个第一发光元件可以均为垂直腔面发射激光元件包括第一光出射面和设置在第一光出射面周围的第一电极，
[0031]多个第二发光元件中的每个可以是垂直腔面发射激光元件并且包括第二光出射面和设置在第二光出射面周围的第二电极，
[0032]第一布线可在多个第一发光元件中经由第一贯通孔与第一电极邻接，并且
[0033]所述第二布线可以在所述多个第二发光元件中经由所述第二贯通孔与所述第二电极邻接。
[0034]多个第一发光元件和多个第二发光元件均可具有由凹部包围的台面结构；
[0035]所述发光元件组可包括：第一槽部，在多个第一发光元件之间将凹部彼此连接；以及第二槽部，在多个第二发光元件之间将凹部彼此连接，
[0036]所述第一布线具有形成在第一槽部中的部分，并且
[0037]所述第二布线可具有形成在第二槽部中的部分。
[0038]构成发光元件组的发光元件可以包括多个第三发光元件和多个第四发光元件，多个第三发光元件和多个第四发光元件均具有由凹部包围的台面结构，凹部与发光元件面分离并且具有与发光元件面平行的底面，在底面中设置有将多个第三发光元件和多个第四发光元件彼此电分离的元件分离槽，以及
[0039]发光元件阵列可进一步包括：
[0040]第三布线，在与底面平行的方向上延伸，从与底面垂直的方向看，具有在底面中位于所述元件分离槽与所述第三发光元件之间的区域和在所述底面中位于所述元件分离槽与所述第四发光元件之间的区域，与所述元件分离槽重叠，与所述第三发光元件电连接，与所述第四发光元件未电连接；以及
[0041]第四布线，在与底面平行的方向上延伸，从与所述底面垂直的方向看时，具有在底面中位于元件分离槽与所述第三发光元件之间的区域，并且在底面中位于元件分离槽与第四发光元件之间的区域，与元件分离槽重叠，与第四发光元件电连接，与所述第三发光元件未电连接。
[0042]发光元件组可以包括排列有多个第一发光元件的第一发光元件列、排列有多个第二发光元件的第二发光元件列、排列有多个第三发光元件的第三发光元件列、排列有多个第四发光元件的第四发光元件列。
[0043]第一发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种发光元件阵列，包括：发光元件组，包括以平面方式排列以形成发光元件面的多个第一发光元件和多个第二发光元件；第一布线，在与所述发光元件面平行的方向上延伸，从与所述发光元件面的垂直的方向看，具有与所述多个第一发光元件重叠的区域以及与所述多个第二发光元件重叠的区域，与所述多个第一发光元件电连接，而与所述多个第二发光元件未电连接；以及第二布线，在与所述发光元件面平行的方向上延伸，从与所述发光元件面的垂直的方向看，具有与所述多个第一发光元件重叠的区域以及与所述多个第二发光元件重叠的区域，与所述多个第二发光元件电连接，而与所述多个第一发光元件未电连接。2.根据权利要求1所述的发光元件阵列，其中，所述发光元件组包括排列有所述多个第一发光元件的第一发光元件列和排列有所述多个第二发光元件的第二发光元件列，在与所述发光元件面平行的方向上，所述第一布线的中心与所述第一发光元件列的中心分离，以及在与上述发光元件面平行的方向上，所述第二布线的中心与所述第二发光元件列的中心分离。3.根据权利要求2所述的发光元件阵列，其中，所述发光元件组进一步包括排列有所述多个第一发光元件的第三发光元件列，所述第三发光元件列相对于所述第二发光元件列被设置在所述第一发光元件列的相反侧，从与所述发光元件面垂直的方向看，所述第一布线设置在所述第一发光元件列的中心与所述第二发光元件列的中心之间，并且从与所述发光元件面垂直的方向看，所述第二布线设置在所述第二发光元件列的中心与所述第三发光元件列的中心之间。4.根据权利要求3所述的发光元件阵列，其中，所述第一发光元件列、所述第二发光元件列、所述第三发光元件列、所述第一布线以及所述第二布线在与所述发光元件面平行的第一方向上延伸，并且在与所述发光元件面平行并且与所述第一方向正交的第二方向上彼此分离，所述第一布线在所述第二方向上的宽度大于所述第一发光元件列与所述第二发光元件列在所述第二方向上的间隔，并且所述第二布线在所述第二方向上的宽度大于所述第二发光元件列与所述第二发光元件列在所述第二方向上的间隔。5.根据权利要求1所述的发光元件阵列，其中，所述第一布线和所述第二布线同层形成。6.根据权利要求5所述的发光元件阵列，其中，所述第一布线经由绝缘层层叠在所述多个第一发光元件和所述多个第二发光元件上，所述第一布线经由所述多个第一发光元件上的绝缘层中设置在第一贯通孔与所述多个第一发光元件电连接，并且所述第一布线通过所述多个第二发光元件上的绝缘层与所述多个第二发光元件绝缘，并且所述第二布线经由所述绝缘层层叠在所述多个第一发光元件和所述多个第二发光元件上，所述第二布线经由所述多个第二发光元件上的绝缘层中设置的第二贯通孔与所述多
个第二发光元件电连接，并且所述第二布线通过所述多个第一发光元件上的绝缘层与所述多个第一发光元件绝缘。7.根据权利要求6所述的发光元件阵列，其中，所述多个第一发光元件均为垂直腔面发射激光元件，包括第一光出射面和设置在所述第一光出射面周围的第一电极，所述多个第二发光元件均为垂直腔面发射激光元件，包括第二光出射面和设置在所述第二光出射面周围的第二电极，所述第一布线在所述多个第一发光元件中经由所述第一贯通孔与所述第一电极邻接，并且所述第二布线在所述多个第二发光元件中经由所述第二贯通孔与所述第二电极邻接。8.根据权利要求1所述的发光元件阵列，其中，所述多个第一发光元件和所述多个第二发光元件均具有被凹部包围的台面结构，所述发光元件组包括：第一槽部，在所述多个第一发光元件之间将所述凹部彼此连接；以及第二槽部，在所述多个第二发光元件之间将所述凹部彼此连接，所述第一布线具有形成在所述第一槽部中的部分，并且所述第二布线具有形成在所述第二槽部中的部分。9.根据权利要求1所述的发光元件阵列，其中，构成所述发光元件组的发光元件包括：多个第三发光元件以及多个第四发光元件，所述多个第三发光元件以及所述多个第四发光元件分别具有被凹部包围的台面结...

【专利技术属性】
技术研发人员：大石正人，我妻新一，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：