一种化学气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉，包括反应室，反应室的两个相对的端部分别连接有与反应室内部连通的进气管和出气管，反应室内设有相对设置并使反应室内的气体以层流的形式流动的进气装置和出气装置，进气装置与进气管连接，出气装置与出气管连接。本实用新型专利技术通过进气装置和出气装置能控制反应室内气体的流动，由于进气管和出气管相对设置，与进气管连通的进气装置和出气管连通的出气装置也是相对设置，从而能对气体直接进行分气控制，使气体在反应室内的流动呈现层流状态，从而避免气体湍流和紊流的发生，进而解决了涂层表面质量差，涂层厚度不均匀的问题。涂层厚度不均匀的问题。涂层厚度不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉


[0001]本技术涉及化学气相沉积炉
，具体涉及一种化学气相沉积炉。

技术介绍

[0002]近年来石墨材料在半导体等领域的应用越来越广泛，然而目前在半导体领域的诸多制造工艺涉及高温和使用腐蚀性气体的恶劣环境，在此环境条件下石墨材料损耗加快，寿命变短，甚至功能失效，严重影响安全生产及工艺稳定。
[0003]利用化学气相沉积技术制备的碳化物涂层，能够是石墨材料具有抗氧化、耐高温和耐酸碱腐蚀等优异性能且物理化学性能稳定，能够对石墨器件起到良好的保护作用，延长石墨器件的工作寿命，提高产品的质量。
[0004]现有的化学气相炉反应室内会发生气体湍流和紊流，化学气相沉积存在涂层表面质量差，厚度不均匀等问题。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种化学气相沉积炉，其反应室内气体呈现层流状态，避免气体湍流和紊流的发生，解决涂层表面质量差，涂层厚度不均匀的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种化学气相沉积炉，包括反应室，所述反应室的两个相对的端部分别连接有与反应室内部连通的进气管和出气管，所述反应室内设有相对设置并使反应室内的气体以层流的形式流动的进气装置和出气装置，所述进气装置与进气管连接，所述出气装置与出气管连接。
[0008]进一步的，所述进气装置和出气装置均包括分气筒，两个所述分气筒分别与进气管和出气管连通，各所述分气筒内设有多级分气机构，所述多级分气机构与分气筒的内壁连接形成多个相连通并使分气筒内的气体逐渐扩散或汇聚的分气腔室。
[0009]进一步的，所述多级分气机构包括由反应室的端部向反应室的内部依次布置的一级分气板、二级分气板和三级分气板，所述一级分气板、二级分气板和三级分气板上均设有多个贯通的通气孔，所述一级分气板、二级分气板和三级分气板上的通气孔数量依次增多。
[0010]进一步的，所述进气管、出气管、一级分气板、二级分气板和三级分气板的轴线均与反应室的轴线重合。
[0011]进一步的，所述一级分气板、二级分气板和三级分气板沿反应室的轴线均匀间隔分布。
[0012]进一步的，所述一级分气板和三级分气板的中心均设有通气孔，所述一级分气板上以中心为圆心、直径为A的圆上均匀分布有多个通气孔，所述二级分气板上以中心为圆心、直径为B和C的圆上分别均匀分布有多个通气孔，所述三级分气板上以中心为圆心、直径为D和E的圆上分别均匀分布有多个通气孔，所述反应室的内径为F，A/2＝B＝C/3＝D/2＝E/
4＝F/6。
[0013]进一步的，所述多级分气机构沿反应室轴线的宽度不大于反应室沿反应室轴线的宽度的五分之一。
[0014]进一步的，所述分气筒的内径由反应室的端部向反应室的内部逐渐变大。
[0015]进一步的，所述进气管与分气筒的进气口之间连通有混气室，所述混气室通过通气孔与分气腔室连通。
[0016]进一步的，所述混气室上以中心为圆心的圆上均匀分布有多个通气孔。
[0017]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0018]本技术通过进气装置和出气装置能控制反应室内气体的流动，由于进气管和出气管相对设置，与进气管连通的进气装置和出气管连通的出气装置也是相对设置，从而能对气体直接进行分气控制，使气体在反应室内的流动呈现层流状态，从而避免气体湍流和紊流的发生，进而解决了涂层表面质量差，涂层厚度不均匀的问题。
附图说明
[0019]图1为化学气相沉积炉的剖视结构示意图。
[0020]图2为进气装置的剖视结构示意图。
[0021]图3为一级分气板的俯视结构示意图。
[0022]图4为二级分气板的俯视结构示意图。
[0023]图5为三级分气板的俯视结构示意图。
[0024]图6为混气室的剖视结构示意图。
[0025]图7为混气室的俯视结构示意图。
[0026]图例说明：
[0027]1、反应室；2、进气管；3、出气管；4、进气装置；41、分气筒；42、多级分气机构；421、一级分气板；422、二级分气板；423、三级分气板；424、通气孔；43、分气腔室；5、出气装置；6、混气室。
具体实施方式
[0028]以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。
[0029]如图1
‑
图7所示，本实施例的化学气相沉积炉，包括反应室1，反应室1的两个相对的端部分别连接有与反应室1内部连通的进气管2和出气管3，反应室1内设有相对设置并使反应室1内的气体以层流的形式流动的进气装置4和出气装置5，进气装置4与进气管2连接，出气装置5与出气管3连接。通过进气装置4和出气装置5能控制反应室1内气体的流动，由于进气管2和出气管3相对设置，与进气管2连通的进气装置4和与出气管3连通的出气装置5也是相对设置，从而能对气体直接进行分气控制，使气体在反应室1内的流动呈现层流状态，从而避免气体湍流和紊流的发生，进而解决了涂层表面质量差，涂层厚度不均匀的问题。
[0030]本实施例中，进气装置4和出气装置5均包括分气筒41，两个分气筒41分别与进气管2和出气管3连通，各分气筒41内设有多级分气机构42，多级分气机构42与分气筒41的内壁连接形成多个相连通并使分气筒41内的气体逐渐扩散或汇聚的分气腔室43。进气管2通过进气装置4的分气筒41与反应室1的端部连通，出气管3通过出气装置5的分气筒41与反应
室1的端部连通，进气装置4中的分气筒41与多级分气机构42形成的分气腔室43，能使气体从进气管2逐渐扩散至反应室1，出气装置5中的分气腔室43，能使气体从反应室1逐渐汇聚至出气管3，从而实现了气体在反应室1内的流动呈现层流状态。
[0031]本实施例中，多级分气机构42包括由反应室1的端部向反应室1的内部依次布置的一级分气板421、二级分气板422和三级分气板423，一级分气板421、二级分气板422和三级分气板423上均设有多个贯通的通气孔424，一级分气板421、二级分气板422和三级分气板423上的通气孔424数量依次增多。通过设置一级分气板421、二级分气板422和三级分气板423及其数量依次增多的通气孔424，从而实现了进气装置4中的分气腔室43内的气体能从进气管2逐级扩散至反应室1，以及出气装置5中的分气腔室43内的气体从反应室1逐级汇聚至出气管3，进而实现了气体在反应室1内的流动呈现层流状态。一级分气板421、二级分气板422和三级分气板423均为C/C复合材料，板材厚度为3mm，C/C复合材料具有耐高温，变形量小的优点，且在厚度较薄时依然具有较高强度，能够保证各级分气板具有较长的使用寿命。
[0032]本实施例中，进气管2、出气管3、一级分气板421、二级分气板422和三级分气板423的轴线均与反应室1的轴线重合。各部件轴线重合，便于加工制作，也便于气体的流动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉，包括反应室（1），所述反应室（1）的两个相对的端部分别连接有与反应室（1）内部连通的进气管（2）和出气管（3），其特征在于，所述反应室（1）内设有相对设置并使反应室（1）内的气体以层流的形式流动的进气装置（4）和出气装置（5），所述进气装置（4）与进气管（2）连接，所述出气装置（5）与出气管（3）连接。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述进气装置（4）和出气装置（5）均包括分气筒（41），两个所述分气筒（41）分别与进气管（2）和出气管（3）连通，各所述分气筒（41）内设有多级分气机构（42），所述多级分气机构（42）与分气筒（41）的内壁连接形成多个相连通并使分气筒（41）内的气体逐渐扩散或汇聚的分气腔室（43）。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述多级分气机构（42）包括由反应室（1）的端部向反应室（1）的内部依次布置的一级分气板（421）、二级分气板（422）和三级分气板（423），所述一级分气板（421）、二级分气板（422）和三级分气板（423）上均设有多个贯通的通气孔（424），所述一级分气板（421）、二级分气板（422）和三级分气板（423）上的通气孔（424）数量依次增多。4.根据权利要求3所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述进气管（2）、出气管（3）、一级分气板（421）、二级分气板（422）和三级分气板（423）的轴线均与反应室（1）的轴线重合。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：湖南泰坦未来科技有限公司，
类型：新型
国别省市：