一种钎焊式埋管冷板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钎焊式埋管冷板，包括：上盖板，上盖板的下端内部开设有螺钉槽，上盖板的右侧内部开设有进水口槽，且进水口槽的后方设置有出水口槽；进水接口，其设置在上盖板的底端，且进水接口的左端设置有不锈钢管本体，不锈钢管本体的右端安装有出水接口，且不锈钢管本体的内端连接有内钎料板，不锈钢管本体的外端设置有外钎料板，且外钎料板的内端设置有耐热螺栓；下盖板，其设置在耐热螺栓的外端。该钎焊式埋管冷板，其通过钎焊的方式将整体进行焊接，降低传统埋管方式产生的成本高与导热系数差的缺点，实现成品率的同时降低成本，更适用于光刻机上强光辐射工况。更适用于光刻机上强光辐射工况。更适用于光刻机上强光辐射工况。

【技术实现步骤摘要】
一种钎焊式埋管冷板


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种钎焊式埋管冷板。

技术介绍

[0002]目前埋管散热器的常见工艺为冷板上开槽后将不锈钢管埋入再用环氧树脂填充，由于光刻机会有大量光辐射，环氧树脂受辐射老化，无法保证强度，后采用将不锈钢管置入模具浇铸铝水的加工方式，避免使用环氧树脂，但是开模会拉高成本；成品会有气泡生成，浇铸出的水冷板导热系数相对较差。
[0003]但是现有技术方案存在以下缺陷：其难以避免使用环氧树脂带来的受光辐射老化问题，同时相对于浇铸工艺效率和成品率都会提高，因此，本技术提供一种钎焊式埋管冷板，以解决上述提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种钎焊式埋管冷板，以解决上述
技术介绍
中提出的其难以避免使用环氧树脂带来的受光辐射老化问题，同时相对于浇铸工艺效率和成品率都会提高的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种钎焊式埋管冷板，包括：上盖板，上盖板下侧设置有上定位槽，以及与上定位槽连通的进水口槽和出水口槽；下盖板，与上盖板对合的，其设置在耐热螺栓的外端，且下盖板的内部开设有能与上定位槽对合的下定位槽；上盖板和下盖板之间还设置有钎料组合板，钎料组合板上还设置有管路通槽；管路通槽内嵌设有不锈钢管本体，不锈钢管本体的两端分别与进水口槽和出水口槽对嵌与外部连通。
[0006]优选的，钎料组合板包括内钎料板，以及位于内钎料板外围的外钎料板，且内钎料板和外钎料板之间预留有与不锈钢管本体形状相配和的管路通槽。
>[0007]优选的，上盖板的下端内部开设有螺钉槽，且上盖板的中部内端设置有上定位槽，上盖板的右侧内部开设有进水口槽，且进水口槽的后方设置有出水口槽。
[0008]优选的，不锈钢管本体两端分别设置有进水接口和出水接口，且不锈钢管本体的本体吻合嵌设在钎料组合板的管路通槽中。
[0009]优选的，螺钉槽关于上盖板的中心呈等角度设置，且不锈钢管本体通过上定位槽与上盖板相对卡合连接；或/和，进水口槽与进水接口一一对应设置；或/和，出水接口与连接管相对并通过螺纹连接，且出水接口与出水口槽相对卡合组装。
[0010]优选的，不锈钢管本体包括串接的若干个连接管、若干个不锈钢弯管和若干个不锈钢直管。
[0011]优选的，连接管的一端与出水接口的一端连接；连接管的另一端与若干组串接的不锈钢弯管和不锈钢直管连接的曲形管路连接，曲形管路的末端通过若干个不锈钢直管后与进水接口连接。
[0012]优选的，不锈钢直管关于不锈钢弯管的竖直中轴线平行设置，且不锈钢弯管与不锈钢直管一一对应设置。
[0013]优选的，耐热螺栓贯穿于外钎料板的内部，且耐热螺栓关于下盖板的中心呈等角度设置。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该钎焊式埋管冷板，其通过钎焊的方式将整体进行焊接，降低传统埋管方式产生的成本高与导热系数差的缺点，实现成品率的同时降低成本，更适用于光刻机上强光辐射工况；
[0015]1、设有不锈钢管本体、进水接口和出水接口，通过不锈钢直管关于不锈钢弯管的竖直中轴线平行设置，且不锈钢弯管与不锈钢直管一一对应设置，出水接口与连接管相对螺纹连接，且出水接口与出水口槽相对卡合连接，便于不锈钢管与水冷进出接口的安装与拆卸。
[0016]2、设有耐热螺栓、内钎料板和外钎料板，通过耐热螺栓贯穿于外钎料板的内部，且耐热螺栓关于下盖板的中心呈等角度设置，加强对外钎料板和下盖板的连接，避免在使用时发生晃动。
[0017]3、设有耐热螺栓、进水口槽和出水口槽，通过螺钉槽关于上盖板的中心呈等角度设置，且不锈钢管本体通过上定位槽与上盖板相对卡合连接，进水口槽与进水接口一一对应设置，通过钎焊的方式将整体进行焊接，降低传统埋管方式产生的成本高与导热系数差的缺点，实现成品率的同时降低成本，更适用于光刻机上强光辐射工况。
附图说明
[0018]图1为本技术整体爆炸结构示意图；
[0019]图2为本技术上盖板与上定位槽连接整体结构示意图；
[0020]图3为本技术不锈钢管本体与进水接口连接整体结构示意图；
[0021]图4为本技术耐热螺栓与外钎料板连接整体结构示意图；
[0022]图5为本技术下盖板与下定位槽连接整体结构示意图；
[0023]图6为本技术连接管与出水接口连接正视剖面结构示意图。
[0024]图中：1、上盖板；2、螺钉槽；3、上定位槽；4、进水口槽；5、出水口槽；6、不锈钢管本体；601、连接管；602、不锈钢弯管；603、不锈钢直管；7、进水接口；8、出水接口；9、内钎料板；10、外钎料板；11、耐热螺栓；12、下盖板；13、下定位槽。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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图6，本技术提供一种技术方案：一种钎焊式埋管冷板，包括：组合安装的上盖板1、钎料组合板和不锈钢管本体的组装件、下盖板12。上盖板1和下盖板12之间还设置有钎料组合板，内钎料板9上还设置有管路通槽；管路通槽内嵌设有不锈钢管本体6，不锈钢管本体6的两端分别与进水口槽4和出水口槽5对嵌与外部连通。钎料组合板包括内
钎料板9，以及位于内钎料板9外围的外钎料板10，外钎料板10上设置有梳齿结构的通槽，且内钎料板9的梳子结构能嵌设入外钎料板10的梳齿结构的通槽中，且内钎料板9和外钎料板10之间预留有与所述不锈钢管本体6形状相配和的管路通槽。
[0027]上盖板1的下端内部开设有螺钉槽2，且上盖板1的中部内端设置有上定位槽3，上盖板1的右侧内部开设有进水口槽4，且进水口槽4的后方设置有出水口槽5；进水接口7，其设置在上盖板1的底端，且进水接口7的左端设置有不锈钢管本体6，不锈钢管本体6的右端安装有出水接口8，且不锈钢管本体6的内端连接有内钎料板9，不锈钢管本体6的外端设置有外钎料板10，且外钎料板10的内端设置有耐热螺栓11；下盖板12，其设置在耐热螺栓11的外端，且下盖板12的内部开设有下定位槽13，组合构成一种钎焊式埋管冷板。
[0028]如图1、图3和图6所示，不锈钢直管603关于不锈钢弯管602的竖直中轴线平行设置，且不锈钢弯管602与不锈钢直管603一一对应设置，出水接口8与连接管601相对螺纹连接，且出水接口8与出水口槽5相对卡合连接，将进水接口7与出水接口8分别与连接管601进行连接，将不锈钢弯管602内端设置平行的不锈钢直管603，构成一个整体的不锈钢管本体6，便于不锈钢管与水冷进出接口的安装与拆卸。
[0029]如图1、图2、图4和图5所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钎焊式埋管冷板，其特征在于，包括：上盖板（1），所述上盖板（1）下侧设置有上定位槽（3），以及与所述上定位槽（3）连通的进水口槽（4）和出水口槽（5）；下盖板（12），与所述上盖板（1）对合的，其设置在耐热螺栓（11）的外端，且下盖板（12）的内部开设有能与所述上定位槽（3）对合的下定位槽（13）；所述上盖板（1）和所述下盖板（12）之间还设置有钎料组合板，所述钎料组合板上还设置有管路通槽；所述管路通槽内嵌设有不锈钢管本体（6），所述不锈钢管本体（6）的两端分别与所述进水口槽（4）和出水口槽（5）对嵌与外部连通。2.根据权利要求1所述的一种钎焊式埋管冷板，其特征在于：所述钎料组合板包括内钎料板（9），以及位于所述内钎料板（9）外围的外钎料板（10），且所述内钎料板（9）和外钎料板（10）之间预留有与所述不锈钢管本体（6）形状相配和的所述管路通槽。3.根据权利要求2所述的一种钎焊式埋管冷板，其特征在于：所述上盖板（1）的下端内部开设有螺钉槽（2），且所述上盖板（1）的中部内端设置有所述上定位槽（3），所述上盖板（1）的右侧内部开设有所述进水口槽（4），且所述进水口槽（4）的后方设置有出水口槽（5）。4.根据权利要求3所述的一种钎焊式埋管冷板，其特征在于：不锈钢管本体（6）两端分别设置有进水接口（7）和出水接口（8），且不锈钢管本体（6）的本体吻合嵌设在所述钎...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭彪，沈益勋，陈威一，侍国月，
申请(专利权)人：毫厘机电苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：