一种真空波纹管加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空波纹管加热器，涉及半导体及真空实验领域，包括真空腔体，所述真空腔体顶部安装有加热组件，加热组件包括密封圈，密封圈固定连接在真空腔体上表面，密封圈顶部安装有轴承套，轴承套底部螺纹连接有若干个安装螺丝，轴承套通过安装螺丝固定在密封圈上，轴承套为中空结构，轴承套内腔顶部安装有卡簧，轴承套内腔安装有直线轴承，直线轴承内部滑动连接有升降轴，升降轴与卡簧相抵接，升降轴与密封圈滑动连接，升降轴底端固定连接有加热器本体，密封圈底部固定连接有波纹管。本实用新型专利技术通过设置直线轴承、卡簧、波纹管和升降轴，既能使得加热器本体进行上下移动，又能保证真空腔体内部的密封性。又能保证真空腔体内部的密封性。又能保证真空腔体内部的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空波纹管加热器


[0001]本技术涉及半导体及真空实验领域，具体是涉及一种真空波纹管加热器。

技术介绍

[0002]真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量大大提高。但现有的加热器为了保证与真空腔体的密闭性，被固定在真空腔体上，因而难以上下运动，无法根据所需要的位置要求进行精准的定位。
[0003]为解决上述问题，有必要提供一种真空波纹管加热器。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，提供一种真空波纹管加热器，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的现有的加热器为了保证与真空腔体的密闭性，被固定在真空腔体上，因而难以上下运动，无法根据所需要的位置要求进行精准的定位的问题。
[0005]为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种真空波纹管加热器，包括真空腔体，所述真空腔体顶部安装有加热组件，加热组件包括密封圈，密封圈固定连接在真空腔体上表面，密封圈顶部安装有轴承套，轴承套底部螺纹连接有若干个安装螺丝，轴承套通过安装螺丝固定在密封圈上，轴承套为中空结构，轴承套内腔顶部安装有卡簧，轴承套内腔安装有直线轴承，直线轴承内部滑动连接有升降轴，升降轴与卡簧相抵接，升降轴与密封圈滑动连接，升降轴底端固定连接有加热器本体，密封圈底部固定连接有波纹管，波纹管底端固定连接在加热器本体顶部，波纹管设置在升降轴外部，加热器本体内部两侧均固定连接有发热盘，加热器本体内部固定连接有热电偶温度传感器。
[0007]优选的，所述真空腔体上表面右侧固定连接有若干个支撑腿，支撑腿顶端固定连接有作业台，作业台上表面两侧均固定连接有支撑板，两个所述支撑板之间转动连接有蜗杆，蜗杆右端固定连接有转盘，支撑板顶部固定连接有两个固定板，两个所述固定板之间转动连接有蜗轮，蜗轮与蜗杆相啮合。
[0008]优选的，所述升降轴顶端右侧固定连接有齿条，齿条与蜗轮相啮合。
[0009]优选的，所述升降轴内部安装有引线，引线的一端连接发热盘。
[0010]优选的，所述波纹管和加热器本体均设置在真空腔体内。
[0011]优选的，所述真空腔体正面安装有透明窗，透明窗用于观测真空腔体内部。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种真空波纹管加热器，具备以下有益效果：
[0013]1、通过设置直线轴承、卡簧、波纹管和升降轴，可以实现加热器本体在真空腔体中的自由上下移动，从而可以根据具体的位置要求，对加热器本体进行上下移动，由于波纹管的伸缩性，波纹管可以随加热器本体的升降而产生形变，始终保持真空腔体内部与外部隔
绝，保证真空腔体内部的密封性；
[0014]2、通过设置蜗杆、蜗轮、齿条和转盘，能精确控制升降轴升降的幅度，以便配合对加热器本体的具体位置要求，且蜗杆是自锁结构，不会在升降轴的重力作用下转动，升降轴在调整后会自动固定。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体结构示意图；
[0016]图2为本技术的加热组件结构示意图；
[0017]图3为图2中A
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A处的剖面示意图；
[0018]图中标号为：
[0019]101、齿条；102、蜗轮；103、固定板；104、支撑板；105、转盘；106、蜗杆；107、作业台；108、支撑腿；109、真空腔体；
[0020]200、加热组件；201、加热器本体；202、热电偶温度传感器；203、发热盘；204、波纹管；205、安装螺丝；206、密封圈；207、轴承套；208、直线轴承；209、卡簧；210、升降轴。
具体实施方式
[0021]以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
[0022]参照图1
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3所示，一种真空波纹管加热器，包括真空腔体109，所述真空腔体109顶部安装有加热组件200，加热组件200包括密封圈206，密封圈206固定连接在真空腔体109上表面，密封圈206顶部安装有轴承套207，轴承套207底部螺纹连接有若干个安装螺丝205，轴承套207通过安装螺丝205固定在密封圈206上，轴承套207为中空结构，轴承套207内腔顶部安装有卡簧209，轴承套207内腔安装有直线轴承208，直线轴承208内部滑动连接有升降轴210，升降轴210与卡簧209相抵接，升降轴210与密封圈206滑动连接，升降轴210底端固定连接有加热器本体201，密封圈206底部固定连接有波纹管204，波纹管204底端固定连接在加热器本体201顶部，波纹管204设置在升降轴210外部，加热器本体201内部两侧均固定连接有发热盘203，加热器本体201内部固定连接有热电偶温度传感器202；
[0023]使用时，在安装螺丝205和真空密封装好以后，发热盘203的电源线通电以后，发热盘203被加热，发热盘203发热后热传导给加热器本体201，同时加热器本体201内安装有热电偶温度传感器202，可以通过热电偶温度传感器202和发热盘203来控制加热器本体201或者真空腔体109内的温度。当加热器本体201需要上下运动时可以通过升降轴210来推动加热器本体201上下运动，因为有波纹管204的存在运动时又不会影响腔体真空度，升降轴210在上下运动时，直线轴承208和轴承套207将其限位，使升降轴210和加热器本体201不会偏移。
[0024]具体的，真空腔体109上表面右侧固定连接有若干个支撑腿108，支撑腿108顶端固定连接有作业台107，作业台107上表面两侧均固定连接有支撑板104，两个所述支撑板104之间转动连接有蜗杆106，蜗杆106右端固定连接有转盘105，支撑板104顶部固定连接有两个固定板103，两个所述固定板103之间转动连接有蜗轮102，蜗轮102与蜗杆106相啮合；
[0025]需要根据加热的需求，调整加热器本体201到合适高度时，转动转盘105，带动蜗杆
106转动，进而带动蜗轮102转动，于是使得齿条101和升降轴210在直线轴承208和轴承套207的限位作用下，进行升降。
[0026]升降轴210顶端右侧固定连接有齿条101，齿条101与蜗轮102相啮合，升降轴210内部安装有引线，引线的一端连接发热盘203，引线还用来连接外部的供电装置，波纹管204和加热器本体201均设置在真空腔体109内，真空腔体109正面安装有透明窗，透明窗用于观测真空腔体109内部。
[0027]本技术的工作原理及使用流程：通过设置直线轴承208、卡簧209、波纹管204和升降轴210，可以实现加热器本体201在真空腔体109中的自由上下移动，从而可以根据具体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空波纹管加热器，其特征在于，包括真空腔体(109)，所述真空腔体(109)顶部安装有加热组件(200)，加热组件(200)包括密封圈(206)，密封圈(206)固定连接在真空腔体(109)上表面，密封圈(206)顶部安装有轴承套(207)，轴承套(207)底部螺纹连接有若干个安装螺丝(205)，轴承套(207)通过安装螺丝(205)固定在密封圈(206)上，轴承套(207)为中空结构，轴承套(207)内腔顶部安装有卡簧(209)，轴承套(207)内腔安装有直线轴承(208)，直线轴承(208)内部滑动连接有升降轴(210)，升降轴(210)与卡簧(209)相抵接，升降轴(210)与密封圈(206)滑动连接，升降轴(210)底端固定连接有加热器本体(201)，密封圈(206)底部固定连接有波纹管(204)，波纹管(204)底端固定连接在加热器本体(201)顶部，波纹管(204)设置在升降轴(210)外部，加热器本体(201)内部两侧均固定连接有发热盘(203)，加热器本体(201)内部固定连接有热电偶温度传感器(202)。2.根据权利要求1所述的一种真空波纹管加...

【专利技术属性】
技术研发人员：程晋波，
申请(专利权)人：合肥三越半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：