一种静电压传感器制造技术

一种静电压传感器，属静电压检测领域。其静电压振动检测电极、静电荷感应电极、距离传感器和温湿度传感器设置在线路板的同一侧；其距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口位于外壳的同一侧面或同一端面；所述距离检测窗口或温湿度检测窗口呈凹坑形状，窗口的开口位于凹坑底部；其距离检测窗口凹坑的深度大于或等于距离传感器的最小检测距离；距离检测窗口或温湿度检测窗口与静电压检测窗口之间分别位于彼此平行的不同平面上。其采用了凹坑形状的距离检测窗口，增大了距离传感器的最小检测距离，进而提升了静电压传感器近距离检测时的静电压准确性和稳定性。同时，匹配设置了一U形金属夹板校准电极，方便了对静电压传感器的调零校准操作。器的调零校准操作。器的调零校准操作。

【技术实现步骤摘要】
一种静电压传感器


[0001]本技术属于静电压检测领域，尤其涉及一种用于静电压检测的装置。

技术介绍

[0002]静电压传感器是液晶面板、集成电路等光电、电子产业生产制造过程中不可缺少的重要的静电防护检测仪器，它对静电敏感器件的生产、储运和技术保障过程中静电危害性的评估，确定静电控制/危险场所，检验静电防护措施的效能以及分析静电事故，都起着至关重要的作用。
[0003]本申请人此前申请的，授权公告日为2022年5月10日，授权公告号为CN216485268U的技术专利中，公开了一种静电压传感器，其内置有距离传感器，用于对静电检测距离的测定，并会将检测到的距离信号反馈到静电压检测模块，最终输出对应距离下的静电压检测值。
[0004]在该技术方案中，内置的距离传感器及其检测窗口1
‑
3所在平面(见该专利说明书附图中的图3所示)与静电压探测窗口1
‑
1(见该专利说明书附图中的图3所示)的所在平面相互平行，两者之间的垂直距离相距较近。
[0005]当检测距离较小时(如：静电压探测窗口1
‑
1与被测物体之间小于10mm)，距离传感器的距离检测数值极不稳定(如：检测到的距离数值跳动范围较大)，故当其将检测到的距离信号反馈到静电压检测模块后，即会造成静电压检测值的较大波动。
[0006]现有静电压传感器，其自身也未匹配设置用于对其进行调零的校准电极板，无法对其进行便捷的调零操作。
[0007]故现有静电压传感器在使用过程中所存在的一些问题，对静电检测的准确性和使用的便捷性造成了不利影响：
[0008]1、由于静电压传感器内置的距离传感器在近距离检测时的不稳定性，造成静电压检测的不稳定、不准确；
[0009]2、静电压传感器自身没有设置校(调)零装置，需要对其校(调)零时，须将其从静电压传感器安装所在的流水生产线拆卸下来，拿到固定校准装置上进行校准，造成使用不便利。
[0010]因此，需要对现有静电压传感器进行改进，以提升近距离下静电压检测的稳定性、准确性；与此同时，增加校准电极的配置，以使校准操作更加便捷。

技术实现思路

[0011]本技术所要解决的技术问题是提供一种静电压传感器。其通过增加内置距离传感器的最小检测距离，来改善静电压传感器距离检测的稳定性，进而提升小距离静电压检测的准确性；此静电压传感器亦匹配设置有调零校准电极板，以便捷的对其进行调零校准操作。
[0012]本技术的技术方案是：提供一种静电压传感器，包括设置在静电压传感器外
壳内的线路板，在线路板上设置有静电压检测单元，其特征是：
[0013]所述的静电压检测单元至少包括一个静电压振动检测电极和一个静电荷感应电极；在静电压振动检测电极的侧面，设置有一个距离传感器和一个温湿度传感器；所述的静电压振动检测电极、静电荷感应电极、距离传感器和温湿度传感器，设置在线路板的同一侧；所述距离传感器或温湿度传感器的检测面，与静电荷感应电极的检测面/感应面平行设置；
[0014]在静电压传感器的外壳上，设置有距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口；所述的距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口位于外壳的同一侧面或同一端面；
[0015]其中，所述的距离检测窗口或温湿度检测窗口呈凹坑形状，窗口的开口位于凹坑底部；所述距离检测窗口凹坑的深度大于或等于距离传感器的最小检测距离；所述静电压检测窗口整体位于外壳表面部位；
[0016]所述的距离检测窗口或温湿度检测窗口，与所述的静电压检测窗口之间，分别位于彼此平行的不同平面上；
[0017]所述的距离传感器的检测面或温湿度传感器的检测面，与静电荷感应电极的检测面/感应面，分别位于彼此平行的不同平面上；
[0018]所述距离传感器/温湿度传感器的检测面，分别面向对应的外壳上的凹坑形距离检测窗口/凹坑形温湿度检测窗口设置，并与凹坑形距离检测窗口底部的开口/凹坑形温湿度检测窗口底部的开口相邻近或相贴合；
[0019]所述静电荷感应电极的检测面/感应面，面向对应的外壳上的静电压检测窗口设置，并与静电压检测窗口的开口相邻近或相贴合。
[0020]具体的，所述的温湿度传感器和距离传感器，分别设置在静电压振动检测电极的两侧。
[0021]进一步的，所述距离检测窗口、温湿度检测窗口，以及静电压检测窗口在外壳上的设置部位，分别与固定在线路板上的距离传感器的检测面、湿度传感器的检测面以及静电荷感应电极的检测面/感应面对应设置。
[0022]具体的，所述距离检测窗口凹坑的深度，大于或等于距离传感器能够保持稳定、准确、不对静电压检测造成影响的最小使用距离。
[0023]或者，所述距离检测窗口到被测物体表面的最小距离，大于/等于距离传感器设定的最小使用距离。
[0024]又或者，所述距离检测窗口到被测物体表面的距离，大于静电压传感器的静电压检测距离。
[0025]进一步的，当所述的距离传感器采用光学距离传感器时，在凹坑形距离检测窗口内侧，紧密贴合设置有与光学距离传感器所发光束相匹配的滤光片。
[0026]具体的，所述的静电压振动检测电极、静电荷感应电极、距离传感器和温湿度传感器，设置在线路板的同一侧面；所述的距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口，设置在外壳的同一侧面上；
[0027]或者，所述的静电压振动检测电极、静电荷感应电极、距离传感器和温湿度传感器，设置在线路板的同一端；所述的距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口，设
置在外壳的同一端面上。
[0028]具体的，设置一个U形的金属夹板，所述的金属夹板具有一平整的平面极板，在平面极板的两侧，前突伸出设置两个侧夹板；所述的两个侧夹板，弹性地设置在平面极板的两侧；两个侧夹板之间的距离，与所述距离检测窗口和温湿度检测窗口之间的距离相同或相近；
[0029]当两个侧夹板可拔插地插入距离检测窗口和温湿度检测窗口后，所述平面极板正好遮蔽/覆盖在所述的静电压检测窗口上。
[0030]进一步的，所述的平面极板接地，构成所述静电压传感器的调零校准极板。
[0031]与现有技术比较，本技术的优点是：
[0032]1.本技术方案中，由于外壳采用了凹坑形状的距离检测窗口，人为的增大了距离传感器的最小检测距离，克服了其检测小距离时的数值不稳定性，进而提升了静电压传感器近距离检测时的静电压准确性和稳定性；
[0033]2.本技术方案同时利用外壳上的凹坑形状的距离检测窗口和温湿度检测窗口，匹配设置了一U形金属夹板校准电极，方便了对静电压传感器的调零校准操作。
附图说明
[0034]图1为本技术方案一种静电压传感器的结构爆炸示意图；
[0035]图2为位于静电压传感器外壳上检测窗口的设置示意图；
[0036]图3a和图3b为静电压传感器调零校准极板的结构示意图；
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电压传感器，包括设置在静电压传感器外壳内的线路板，在线路板上设置有静电压检测单元，其特征是：所述的静电压检测单元至少包括一个静电压振动检测电极和一个静电荷感应电极；在静电压振动检测电极的侧面，设置有一个距离传感器和一个温湿度传感器；所述的静电压振动检测电极、静电荷感应电极、距离传感器和温湿度传感器，设置在线路板的同一侧；所述距离传感器或温湿度传感器的检测面，与静电荷感应电极的检测面/感应面平行设置；在静电压传感器的外壳上，设置有距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口；所述的距离检测窗口、温湿度检测窗口及静电压检测窗口位于外壳的同一侧面或同一端面；其中，所述的距离检测窗口和/或温湿度检测窗口呈凹坑形状，窗口的开口位于凹坑底部；所述距离检测窗口凹坑的深度大于或等于距离传感器的最小检测距离；所述静电压检测窗口整体位于外壳表面部位；所述的距离检测窗口、温湿度检测窗口，与所述的静电压检测窗口之间，分别位于彼此平行的不同平面上；所述的距离传感器的检测面或温湿度传感器的检测面，与静电荷感应电极的检测面/感应面，分别位于彼此平行的不同平面上；所述距离传感器/温湿度传感器的检测面，分别面向对应的外壳上的凹坑形距离检测窗口/凹坑形温湿度检测窗口设置，并与凹坑形距离检测窗口底部的开口/凹坑形温湿度检测窗口底部的开口相邻近或相贴合；所述静电荷感应电极的检测面/感应面，面向对应的外壳上的静电压检测窗口设置，并与静电压检测窗口的开口相邻近或相贴合。2.按照权利要求1所述的静电压传感器，其特征是所述的温湿度传感器和距离传感器，分别设置在静电压振动检测电极的两侧。3.按照权利要求1所述的静电压传感器，其特征是所述距离检测窗口、温湿度检测窗口，以及静电压检测窗口在外壳上的设置部位，分别与固定在线路板上的距离传感器的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙卫星，杨庆瑞，熊超，李鹏，
申请(专利权)人：上海安平静电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：