本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片烘干装置，包括机架，机架上设置有烘干箱，烘干箱一侧连接有输送箱，输送箱内设置有至少一个第一传送带与第二传送带；第一传送带与第二传送带通过皮带连接且连接有转动电机；第一传送带与第二传送带一侧设置有输送组件配合输送单晶硅片。本实用新型专利技术具有以下有益效果：这种单晶硅片烘干装置解决了烘干时能够对之前已经烘干的单晶硅片进行回收处理，提高整体生产效率。提高整体生产效率。提高整体生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片烘干装置
[0001]本技术涉及一种单晶硅片烘干装置。
技术介绍
[0002]单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。
[0003]公开号为CN214501963U的中国专利公开了一种单晶硅片烘干装置，包括箱体，箱体内设置有外筒，外筒配合内筒设置，内筒设置有缓冲保护层，且箱体上设置有上盖，上盖上设置有电热风机。这种单晶硅片烘干装置结构简单、耗能低，且解决了单晶硅片烘干不均以及效率差的问题。
[0004]但是，上述的单晶硅片烘干装置从中可看出，通常只能烘干少量的单晶硅片，当单晶硅片重叠在一起时，其烘干效率大大下降，并且，在烘干时无法进行其他操作，使得整体效率较差。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种单晶硅片烘干装置。这种单晶硅片烘干装置至少解决了上述其中一个问题，尤其解决了烘干时能够对之前已经烘干的单晶硅片进行回收处理，提高整体生产效率。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0007]一种单晶硅片烘干装置，包括机架，机架上设置有烘干箱，烘干箱一侧连接有输送箱，输送箱内设置有至少一个第一传送带与第二传送带；第一传送带与第二传送带通过皮带连接且连接有转动电机；第一传送带与第二传送带一侧设置有两个输送组件分别配合输送单晶硅片进行烘干时装卸单晶硅片。
[0008]本技术进一步设置为：输送组件包括底板，底板滑移连接有滑杆并设置有输送架，输送架上设置有滚轮，输送架内设置有用于驱动滚轮滚动的电机，滚轮上抵接设置有安装架，安装架用于放置多个单晶硅片。
[0009]本技术进一步设置为：滚轮中部设置有支撑带。
[0010]本技术进一步设置为：安装架顶部抵接有固定杆，固定杆连接有固定气缸，安装架对应固定杆底部设置有固定槽。
[0011]本技术进一步设置为：机架于输送组件一侧设置有挡板。
[0012]本技术进一步设置为：输送架底部设置有输送气缸。
[0013]综上，本技术具有以下有益效果：这种单晶硅片烘干装置解决了烘干时能够对之前已经烘干的单晶硅片进行回收处理，提高整体生产效率。
附图说明
[0014]图1为实施例的结构示意图；
[0015]图2为实施例去掉一块挡板后的结构示意图。
[0016]附图标记：1、机架；2、烘干箱；3、输送箱；4、第一传送带；5、输送组件；6、底板；7、输送架；8、输送气缸；9、滚轮；10、支撑带；11、安装架；12、卡槽；13、固定杆；14、固定气缸；15、固定槽；16、第二传送带；17、转动电机；18、皮带；19、挡板。
具体实施方式
[0017]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“页”、“底”“内”、“外”、"顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0018]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0019]在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0020]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0021]如图1、图2所示，一种单晶硅片烘干装置，包括机架1。机架1上设置有烘干箱2。烘干箱2内可设置有热风机或者微波发生器对烘干箱2内的单晶硅片进行烘干处理。
[0022]烘干箱2一侧连通有输送箱3。机架1于输送箱3内设置有第一传送带4。第一传送带4设置有两条。对应的，机架1于每个第一传送带4一侧均设置有输送组件5。
[0023]其中，所述的输送组件5包括底板6。底板6滑移连接有滑杆且底板6一侧设置有输送架7。底板6底部一侧设置有输送气缸8，能够带动底板6上下移动。输送架7两侧设置有滚轮9，输送架7中部设置有支撑带10。输送架7于支撑带10内部设置有电机（图中未示出）用于驱动滚轮9转动。滚轮9与支撑带10共同抵接有安装架11。安装架11上设置有多个可供安装单晶硅片的卡槽12。将多个单晶硅片穿入到卡槽12中完成卡接。在工作时，电机工作带动滚轮9转动，滚轮9转动带动安装架11整体移动至第一传动带边缘，从而通过第一传送带4移动至烘干箱2中进行烘干处理。
[0024]优化的，安装架11顶部抵接有固定杆13，固定杆13顶部连接有固定气缸14。当固定气缸14工作时能够带动固定杆13下移至抵接安装架11。其中，安装架11对应设置有固定槽15。固定杆13穿入到固定槽15中完成对安装架11的固定，从而方便工作人员对烘干后的单晶硅片进行回收。
[0025]进一步的，输送箱3顶部设置有两个第二传送带16。第二传送带16与第一传送带4之间皮带18连接。第二传送带16一侧连接有转动电机17。当转动电机17工作时能够带动第一传送带4工作，同时能够通过皮带18带动第二传送带16工作。
[0026]优化的，底板6一侧设置有挡板19，防止安装架11移出输送架7。
[0027]整体工作过程如下：
[0028]1、将左侧的安装架11部分定义为A输送组，右侧安装架11部分定义置为B输送组；
[0029]2、如图所示，当B输送组上的安装架11安装完成单晶硅片且处于即将进行烘干的过程，A输送组在输送气缸8的带动下上升至与第二传送带16平齐，此时，A输送组上的单晶硅片已经完成烘干，工作人员通过手动或者自动的方式将A输送组上的硅片取出。取出完成后，转动电机17工作，第一传送带4与第二传送带16同时工作。此时，A输送组与B输送组上的输送架7内的电机工作，带动滚轮9转动，从而带动两个安装架11远离挡板19移动；
[0030]3、当两个安装架11分别进入到第一传送带4与第二传送带16的末端时，转动电机17停止工作，此时，处于第一传送带4上的安装架11所携带的单晶硅片进入到烘干箱2中进行烘干操作；处于第二传送带16上的安装架11由另一侧的工作人员装填未烘干的单晶硅片；
[0031]4、烘干以及装填完成后，转动电机17反转，使得安装架11回位，挡板19能够防本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片烘干装置，包括机架(1)，其特征是：所述机架(1)上设置有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)一侧连接有输送箱(3)，所述输送箱(3)内设置有至少一个第一传送带(4)与第二传送带(16)；所述第一传送带(4)与第二传送带(16)通过皮带(18)连接且连接有转动电机(17)；所述第一传送带(4)与第二传送带(16)一侧设置有两个输送组件(5)分别配合输送单晶硅片进行烘干时装卸单晶硅片。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征是：所述输送组件(5)包括底板(6)，所述底板(6)滑移连接有滑杆并设置有输送架(7)，所述输送架(7)上设置有滚轮(9)，所述输送架(7)内设置有用于驱动滚轮(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈子轩，孔繁政，陈亚男，
申请(专利权)人：温州海旭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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