一种自动式湿氧发生器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自动式湿氧发生器，包括罐体、纯水进口和温度探测器，所述的罐体上端左右并排安装有下端伸入罐体内部的温度探测器和干氧输入管，所述的罐体左侧下部设置有伸入罐体的纯水进口，所述的罐体右侧上部设置有湿氧输出管，所述的罐体的内腔底部设置有加热管，加热管的两端与罐体下部前侧上的两个电源接头相连。本实用新型专利技术具有实现自动化生产、确保生产效率、确保持续性输出湿氧等特点。确保生产效率、确保持续性输出湿氧等特点。确保生产效率、确保持续性输出湿氧等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种自动式湿氧发生器


[0001]本技术涉及硅片背封层去除
，特别是涉及一种自动式湿氧发生器。

技术介绍

[0002]常见的硅片氧化炉湿氧产生装置为一石英烧瓶，顶部设置一个加水口，一个湿氧出气口，并通入一路干燥氧气至瓶底，石英瓶置于电热炉之上，利用电热炉将瓶内纯水加热至特定工艺温度，产生水汽，并利用通入的氧气将水汽一并从出气口中带出后进入反应管内，即为湿氧的制备，但该装置需人工加水，且因瓶体容积所限一次加水无法满足长时间工艺的加工需要。瓶内水量需随时人工关注，一旦缺水不但没有湿氧产生导致工艺过程失控，还会导致加热丝空烧，存在严重的安全隐患，综上原因该装置其实无法在实际生产中正常使用。
[0003]为了实现自动化产生湿氧，需要设计一种新的湿氧发生器。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种自动式湿氧发生器，具有实现自动化生产、确保生产效率、确保持续性输出湿氧等特点。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种自动式湿氧发生器，包括罐体、纯水进口和温度探测器，所述的罐体上端左右并排安装有下端伸入罐体内部的温度探测器和干氧输入管，所述的罐体左侧下部设置有伸入罐体的纯水进口，所述的罐体右侧上部设置有湿氧输出管，所述的罐体的内腔底部设置有加热管，加热管的两端与罐体下部前侧上的两个电源接头相连。
[0006]本技术方案中通过设置温度探测器用来实现对管体内的纯水温度进行实时监控，通过设置干氧输入管，用来方便输入干氧，通过设置纯水进口，用来持续输入纯水，使得设备能够持续生产水汽与干氧混合形成湿氧，通过设置加热管用来蒸发纯水，通过设置湿氧输出管用来输出湿氧。
[0007]作为对本技术方案的一种补充，所述的纯水进口的接口端朝上弯曲延伸，弯曲部一侧设置有朝下弯曲的溢流管。
[0008]通过设置溢流管用来避免纯水输入过多时，排出多余纯水，使得纯水的量能够实现自动化的调整，确保设备运行时能够持续产生湿氧。
[0009]作为对本技术方案的一种补充，所述的温度探测器包括数字温度器、保护管和探测杆，所述的数字温度器的下部设置有探测温度的探测杆，所述的保护管套接在探测杆外侧。
[0010]通过设置探测杆用来探测纯水温度，通过设置保护管用来保护探测杆，通过设置数字温度器，用来显示纯水温度。
[0011]作为对本技术方案的一种补充，所述的温度探测器和干氧输入管的下端位置高度小于纯水进口与罐体对接端的位置高度。
[0012]温度探测器用来探测纯水温度，使得纯水温度能够处于最佳温度，提高干氧与水汽的混合效率。
[0013]作为对本技术方案的一种补充，两个电源接头分别与接电电缆的正负极对接，接电电缆上安装有控制加热管温度的温控器。
[0014]本技术方案中通过设置温控器用来控制加热管的温度。
[0015]有益效果：本技术涉及一种自动式湿氧发生器，通过设置温度探测器用来实现对管体内的纯水温度进行实时监控，通过设置干氧输入管，用来方便输入干氧，通过设置纯水进口，用来持续输入纯水，使得设备能够持续生产水汽与干氧混合形成湿氧，通过设置加热管用来蒸发纯水，通过设置湿氧输出管用来输出湿氧，具有实现自动化生产、确保生产效率、确保持续性输出湿氧等特点。
附图说明
[0016]图1是本技术的主视图；
[0017]图2是本技术的全剖视图。
[0018]图示：1、罐体，2、温度探测器，3、干氧输入管，4、湿氧输出管，5、纯水进口，6、溢流管，7、加热管，8、电源接头，9、数字温度器，10、保护管，11、探测杆。
具体实施方式
[0019]下面结合具体实施例，进一步阐述本技术。应理解，这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解，在阅读了本技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0020]本技术的实施方式涉及一种自动式湿氧发生器，如图1—2所示，包括罐体1、纯水进口5和温度探测器2，所述的罐体1上端左右并排安装有下端伸入罐体1内部的温度探测器2和干氧输入管3，所述的罐体1左侧下部设置有伸入罐体1的纯水进口5，所述的罐体1右侧上部设置有湿氧输出管4，所述的罐体1的内腔底部设置有加热管7，加热管7的两端与罐体1下部前侧上的两个电源接头8相连。
[0021]本技术方案中通过设置温度探测器2用来实现对管体1内的纯水温度进行实时监控，通过设置干氧输入管3，用来方便输入干氧，通过设置纯水进口5，用来持续输入纯水，使得设备能够持续生产水汽与干氧混合形成湿氧，通过设置加热管7用来蒸发纯水，通过设置湿氧输出管4用来输出湿氧。
[0022]作为对本技术方案的一种补充，所述的纯水进口5的接口端朝上弯曲延伸，弯曲部一侧设置有朝下弯曲的溢流管6。
[0023]通过设置溢流管6用来避免纯水输入过多时，排出多余纯水，使得纯水的量能够实现自动化的调整，确保设备运行时能够持续产生湿氧。
[0024]作为对本技术方案的一种补充，所述的温度探测器2包括数字温度器9、保护管10和探测杆11，所述的数字温度器9的下部设置有探测温度的探测杆11，所述的保护管10套接在探测杆11外侧。
[0025]通过设置探测杆11用来探测纯水温度，通过设置保护管10用来保护探测杆11，通
过设置数字温度器9，用来显示纯水温度。
[0026]作为对本技术方案的一种补充，所述的温度探测器2和干氧输入管3的下端位置高度小于纯水进口5与罐体1对接端的位置高度。
[0027]温度探测器2用来探测纯水温度，使得纯水温度能够处于最佳温度，提高干氧与水汽的混合效率。
[0028]作为对本技术方案的一种补充，两个电源接头8分别与接电电缆的正负极对接，接电电缆上安装有感应加热管7温度的温度感应器。
[0029]本技术方案中通过设置温控器用来控制加热管7的温度。
[0030]实施例
[0031]当本装置进行使用的时候，首先启动纯水输入的阀门，纯水通过纯水进口5进入到管体1内，之后启动加热管7，加热管7对纯水进行加热，然后从干氧输入管3处送干氧进入到管体1内，干氧和水汽混合，并从湿氧输出管4处输出。
[0032]纯水可以进行持续性输出，多余纯水可以被溢流管6排出，同时干氧输入管3也可以持续输入，使得湿氧可以持续性输出，方便硅片氧化炉能够持续进行工作。
[0033]通过设定加热管7的安装高度，来实现方烧干控制，当纯水液面低于加热管7时，温度探测器2探测到的温度会过高，方便工人观察，手动输入纯水。
[0034]罐体1内的纯水烧干时，加热管7温度会过高，与加热管7对接的电源会收到温度反馈，实现电源自动断开，从而实现罐体1的二次保护，避免纯水烧干。
[0035]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动式湿氧发生器，其特征在于：包括罐体(1)、纯水进口(5)和温度探测器(2)，所述的罐体(1)上端左右并排安装有下端伸入罐体(1)内部的温度探测器(2)和干氧输入管(3)，所述的罐体(1)左侧下部设置有伸入罐体(1)的纯水进口(5)，所述的罐体(1)右侧上部设置有湿氧输出管(4)，所述的罐体(1)的内腔底部设置有加热管(7)，加热管(7)的两端与罐体(1)下部前侧上的两个电源接头(8)相连。2.根据权利要求1所述的一种自动式湿氧发生器，其特征在于：所述的纯水进口(5)的接口端朝上弯曲延伸，弯曲部一侧设置有朝下弯曲的溢流管(6)。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雷，应家敏，黄昆，黄羽辰，雷超，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：