一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头制造技术

本实用新型专利技术涉及显影槽清洗设备技术领域，具体涉及一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，包括外壳、防堵机构和喷头本体，防堵机构包括驱动组件、滤桶、清理刷和刮板，在需要使用冲洗喷头时，将外壳的进水口连接至水管处，通过滤桶对外壳流进的水进行过滤，防止水中的杂质进入导致喷头本体堵塞，启动驱动组件驱动清理刷转动，清理刷转动对滤桶上的杂质进行清理，防止滤桶内的杂质堆积堵塞滤桶导致水无法流出，同时驱动组件带动刮板转动，通过刮板转动可以提高水的流速起到增压的作用，定期在使用后取出滤桶将滤桶内的杂质倒出，即可防止喷头本体堵塞，从而解决了现有的显影槽冲洗碰头不具备防堵功能的问题。防堵功能的问题。防堵功能的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头


[0001]本技术涉及显影槽清洗设备
，尤其涉及一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头。

技术介绍

[0002]液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头是对液晶面板光刻显影槽进行清洗的重要设备。
[0003]目前，现有技术(CN201815397U)公开了一半导体光刻显影槽的冲洗喷头，包括两个进水管、容置腔、多个喷嘴，容置腔的顶部分别通过活接头连接两个进水管，容置腔的底部设置多个喷嘴。本技术将显影槽的冲洗喷头由双管喷头改为带有多个喷嘴的喷头，能够使冲洗压力分流，减小中心区域水分子与栅氧之间的摩擦力，达到减少中心区域静电电荷积累的目的，最终能够消除电荷。
[0004]采用上述方式，不具备防堵功能，当使用冲洗喷头对显影槽进行清洗时，喷头内堵塞导致冲洗喷头无法使用，从而导致工作效率降低。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，旨在解决现有的显影槽冲洗碰头不具备防堵功能的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，包括外壳、防堵机构和喷头本体，所述防堵机构设置于所述外壳的内侧壁，所述喷头本体设置于所述外壳的一侧；
[0007]所述防堵机构包括驱动组件、滤桶、清理刷和刮板，所述驱动组件与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的内侧壁，所述滤桶与所述外壳拆卸连接，并位于所述外壳的内侧壁，所述清理刷与所述驱动组件固定连接，并位于所述滤桶内，所述刮板与所述驱动组件固定连接，并位于所述驱动组件远离所述清理刷的一侧。
[0008]其中，所述驱动组件包括安装架、电机和转轴，所述安装架与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的内侧壁，所述电机与所述安装架固定连接，并位于所述安装架的外侧壁，所述转轴与所述电机输出端固定连接，并贯穿所述滤桶，所述刮板与所述转轴固定连接，并位于所述转轴远离所述电机的一侧。
[0009]其中，所述驱动组件还包括防水壳，所述防水壳与的一侧与所述电机固定连接，所述防水壳的另一侧与所述安装架固定连接，并位于所述电机的外侧壁。
[0010]其中，所述清理刷包括外板、内板和多个弹簧和多个刷头，所述外板与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的外侧壁，所述内板与所述外板滑动连接，并位于所述外板的内侧壁，多个所述弹簧的一侧分别与所述外板固定连接，多个所述弹簧的另一侧分别与所述内板固定连接，均位于所述外板与所述内板之间，多个刷头分别与所述内板固定连接，并位于所述内板靠近所述滤桶的一侧。
[0011]其中，所述防堵机构还包括密封块，所述密封块设置于所述外壳与所述喷头本体
之间。
[0012]本技术的一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，在需要使用冲洗喷头时，将所述外壳的进水口连接至水管处，通过所述滤桶对所述外壳流进的水进行过滤，防止水中的杂质进入导致所述喷头本体堵塞，启动所述驱动组件驱动所述清理刷转动，所述清理刷转动对所述滤桶上的杂质进行清理，防止所述滤桶内的杂质堆积堵塞所述滤桶导致水无法流出，同时所述驱动组件带动所述刮板转动，通过刮板转动可以提高水的流速起到增压的作用，定期在使用后取出所述滤桶将所述滤桶内的杂质倒出，即可防止所述喷头本体堵塞，从而解决了现有的显影槽冲洗碰头不具备防堵功能的问题。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本技术提供的一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头的结构示意图。
[0015]图2是本技术提供的一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头的仰视图。
[0016]图3是图2沿A
‑
A面的剖视图。
[0017]1‑
外壳、2
‑
防堵机构、3
‑
喷头本体、4
‑
驱动组件、5
‑
滤桶、6
‑
清理刷、7
‑
刮板、8
‑
安装架、9
‑
电机、10
‑
转轴、11
‑
防水壳、12
‑
外板、13
‑
内板、14
‑
弹簧、15
‑
刷头、16
‑
密封块。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0019]请参阅图1至图3，本技术提供一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，包括外壳1、防堵机构2和喷头本体3，所述防堵机构2设置于所述外壳1的内侧壁，所述喷头本体3设置于所述外壳1的一侧；
[0020]所述防堵机构2包括驱动组件4、滤桶5、清理刷6和刮板7，所述驱动组件4与所述外壳1固定连接，并位于所述外壳1的内侧壁，所述滤桶5与所述外壳1拆卸连接，并位于所述外壳1的内侧壁，所述清理刷6与所述驱动组件4固定连接，并位于所述滤桶5内，所述刮板7与所述驱动组件4固定连接，并位于所述驱动组件4远离所述清理刷6的一侧。
[0021]在本实施方式中，所述外壳1为所述防堵机构2和所述喷头本体3提供了安装条件，在需要使用冲洗喷头时，将所述外壳1的进水口连接至水管处，通过所述滤桶5对所述外壳1流进的水进行过滤，防止水中的杂质进入导致所述喷头本体3堵塞，启动所述驱动组件4驱动所述清理刷6转动，所述清理刷6转动对所述滤桶5上的杂质进行清理，防止所述滤桶5内的杂质堆积堵塞所述滤桶5导致水无法流出，同时所述驱动组件4带动所述刮板7转动，通过刮板7转动可以提高水的流速起到增压的作用，定期在使用后取出所述滤桶5将所述滤桶5内的杂质倒出，即可防止所述喷头本体3堵塞，从而解决了现有的显影槽冲洗碰头不具备防
堵功能的问题。
[0022]进一步的，所述驱动组件4包括安装架8、电机9和转轴10，所述安装架8与所述外壳1固定连接，并位于所述外壳1的内侧壁，所述电机9与所述安装架8固定连接，并位于所述安装架8的外侧壁，所述转轴10与所述电机9输出端固定连接，并贯穿所述滤桶5，所述刮板7与所述转轴10固定连接，并位于所述转轴10远离所述电机9的一侧。
[0023]在本实施方式中，所述安装架8为所述电机9提供了安装条件，所述电机9工作驱动所述转轴10转动，所述转轴10带动所述刮板7转动。
[0024]进一步的，所述驱动组件4还包括防水壳11，所述防水壳11与的一侧与所述电机9固定连接，所述防水壳11的另一侧与所述安装架8固定连接，并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，包括外壳、防堵机构和喷头本体，所述防堵机构设置于所述外壳的内侧壁，所述喷头本体设置于所述外壳的一侧，其特征在于，所述防堵机构包括驱动组件、滤桶、清理刷和刮板，所述驱动组件与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的内侧壁，所述滤桶与所述外壳拆卸连接，并位于所述外壳的内侧壁，所述清理刷与所述驱动组件固定连接，并位于所述滤桶内，所述刮板与所述驱动组件固定连接，并位于所述驱动组件远离所述清理刷的一侧。2.如权利要求1所述的一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，其特征在于，所述驱动组件包括安装架、电机和转轴，所述安装架与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的内侧壁，所述电机与所述安装架固定连接，并位于所述安装架的外侧壁，所述转轴与所述电机输出端固定连接，并贯穿所述滤桶，所述刮板与所述转轴固定连接，并位于所述转轴远离所述电机的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓬成，
申请(专利权)人：上海诺驰精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：