一种芯片分选路径的优化方法及优选系统技术方案

本发明专利技术提供了一种芯片分选路径的优化方法及优选系统，该优选方法包括：获取晶圆上芯片的性能参数；通过聚类分析，确定同种规格芯片bin的位置，根据设定的分选规则，确定各个bin的先后顺序；针对于单个分类bin，将聚类进行排序，确定各个聚类的先后顺序；依次选定需要排序的聚类，排序选定的聚类，针对单个聚类，同时针对相邻的至少3行芯片进行最优路径的计算；完成整个聚类块的排序，再进行下一个聚类最优路径的计算，从而完成整个bin类分选路径的计算。采用本发明专利技术的技术方案，通过先聚类分隔，后针对已经聚类分割后的区域，先整体排序，然后针对各个聚类区域进行路径优化计算，同时满足效率和分选路径最优的要求。满足效率和分选路径最优的要求。满足效率和分选路径最优的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片分选路径的优化方法及优选系统


[0001]本专利技术属于芯片检测
，尤其涉及一种芯片分选路径的优化方法及优选系统。

技术介绍

[0002]芯片分选是一种将不同晶圆盘上同种规格（bin类别）的芯片，挑选到另一个晶圆盘的工艺过程。在LED芯片行业中，会根据出光的主波长以及光功率进行分档(binning)，通常会把相同光学或者电学参数的芯片分在一组，称之为分Bin。由于在来料晶圆盘中，同时存在若干种不同规格的芯片，各种规格的芯片在晶圆盘上的分布，多数呈现为一个个小岛的形态，各种规格相互嵌套。在芯片分选过程中，按照设定的规则，依次挑选各种规格芯片。由于芯片尺寸越来越小，数量越来越多，挑选的效率是区分分选设备的重要指标，而挑选的效率除了与设备本身结构特性相关外，芯片的挑选路径的选择同样影响了整个分选的效率，总路径的长短，影响了设备的运动效率。现有技术中最优路径的计算有很多方法，但由于同一聚类待分选的芯片数量会超过2万颗，经典的寻优计算方法，如GA算法等，已经不能同时满足效率和路径最优的要求。

技术实现思路

[0003]针对以上技术问题，本专利技术公开了一种芯片分选路径的优化方法及优选系统，提高了分选的效率，兼顾了效率和路径的最优。
[0004]对此，本专利技术采用的技术方案为：一种芯片分选路径的优化方法，其包括：获取晶圆上芯片的性能参数；通过聚类分析，确定同种规格芯片bin的位置，根据设定的分选规则，确定各个bin的先后顺序；针对于单个分类bin，将聚类进行排序，确定各个聚类的先后顺序；依次选定需要排序的聚类，排序选定的聚类，针对单个聚类，同时针对相邻的至少3行芯片进行最优路径的计算；完成整个聚类块的排序，再进行下一个聚类最优路径的计算，从而完成整个bin类分选路径的计算。
[0005]采用本专利技术的技术方案，先进性聚类，然后分别进行路径优化，提高了分选效率。
[0006]进一步的，在芯片分选过程中，来料wafer的信息是存储在map文件中，根据map文件中的信息，将芯片的分类信息（bin类）解析出来，然后通过聚类分析方法，确定bin的位置，根据分选的规则，将整个bin的先后顺序确定；然后针对于单个bin类型，使用路径优化算法，结合聚类分析的结果，获取分选的最优路径，供后续设备的分选使用，可以提高分选效率。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，所述最优路径的计算包括：
选定当前芯片，判断前进方向下一个位置是否有芯片，如果有，则将此芯片位置加入路径中，并将该芯片作为当前芯片，重复上述步骤；如果前进方向下一个位置没有芯片，判断下一行同一列位置是否为空；如果非空，则将下一行芯片位置加入路径中，前进方向设置到下一行，同时标记上一行为等待行；在下一行进行搜索时，需要同步访问上一行的芯片是否存在，如存在，优先将上一行作为当前路径起点，从而接替前进。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，采用连通域分析方法进行聚类分析。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述连通域分析方法包括：将一个图像单元的四周白色单元，用同一个标记记录下来，这样两个相邻的图像单元，可能会使用不同的标记；也就是将图像处理的黑白灰度数据，用当前位置是否存在芯片的0、1进行标记（比如1代表有相同规格的芯片，0代表没有）；标记完成后，将这些标记聚合，将所有在同一个连通区域的图形就聚合起来，形成一个类似图像斑点的区域，每个区域分别进行分类标记芯片的类别，然后将同一类标记的芯片，按照区域聚类。
[0010]连通域分析方法（connected component labeling）是一种常用的图像斑点分析方法，也是一种广义上的图像聚类方法，现有算法主要应用在图片分析领域，计算时间较长，且不能输出组成图像斑点的像素单元，而针对于非图像应用场景，还不能应用。采用此技术方案，创新的将图像处理操作应用到芯片map信息的分析中，芯片分选的map信息，除了位置和测试数据信息外，还有芯片的分类信息，这些分类信息是离散分布在整个map区域中，芯片分选的目的就是将同一个分类芯片，分别挑选出来，为了高效的实现同一类型芯片的挑选，需要先将这些离散信息聚类，通过图像分析的方法，将多个离散区域组成的图像或者类图像中的若干离散区域进行聚类，实现了更好的聚类效果。特别的，针对芯片分选设备，需要对芯片map文件的聚类分析，从而为分选路径的优化提供了基础。
[0011]本专利技术还公开了一种芯片分选路径的优选系统，其特征在于，其包括：芯片性能参数获取模块，用于获取晶圆上芯片的性能参数；聚类分析模块，通过聚类分析，确定同种规格芯片bin的位置，根据设定的分选规则，确定各个bin的先后顺序；排序模块，针对于单个分类bin，将聚类进行排序，确定各个聚类的先后顺序；最优路径计算模块，依次选定需要排序的聚类，排序选定的聚类，针对单个聚类，同时针对相邻的至少3行芯片进行最优路径的计算。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述最优路径计算模块的计算方法为：选定当前芯片，判断前进方向下一个位置是否有芯片，如果有，则将此芯片位置加入路径中，并将该芯片作为当前芯片，重复上述步骤；如果前进方向下一个位置没有芯片，判断下一行同一列位置是否为空；如果非空，则将下一行芯片位置加入路径中，前进方向设置到下一行，同时标记上一行为等待行；在下一行进行搜索时，需要同步访问上一行的芯片是否存在，如存在，优先将上一行作为当前路径起点，从而接替前进。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述聚类分析模块采用连通域分析方法进行聚类分析，包括：将一个图像单元的四周白色单元，用同一个标记记录下来，这样两个相邻的图像单元，可能会使用不同的标记；也就是将图像处理的黑白灰度数据，用当前位置是否存在芯片的0、1进行标记（比如1代表有相同规格的芯片，0代表没有）；标记完成后，将这些标记聚
合，将所有在同一个连通区域的图形就聚合起来，形成一个类似图像斑点的区域，每个区域分别进行分类标记芯片的类别，然后将同一类标记的芯片，按照区域聚类。
[0014]本专利技术还公开了一种设备，其包括相连的处理器和存储器，所述处理器用于执行所述存储器中存储的计算机程序，以执行如上所述的芯片分选路径的优化方法。
[0015]本专利技术还公开了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质包括计算机程序，当计算机程序在计算机上运行时，以执行如上所述的芯片分选路径的优化方法。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：第一，采用本专利技术的技术方案，通过将多个离散区域组成的图像或者类图像中的若干离散区域聚类，是一种常见的需求，使用本方法，可以实现很好的聚类功能。进一步的，针对芯片分选设备，需要对芯片map文件的聚类分析，从而为分选路径的优化提供了基础。
[0017]第二，本专利技术聚类分割是基于连通域分析算法原理，将基础数据结构进行修改，拓展算法至非图像领域，将图像处理的黑白灰度数据，用当前位置是否存在芯片的0、1替代，优化了内存结构；针对参考代码中计算效率不高的问题，使用高效的数据模型结构，集合类型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片分选路径的优化方法，其特征在于，其包括：获取晶圆上芯片的性能参数；通过聚类分析，确定同种规格芯片bin的位置，根据设定的分选规则，确定各个bin的先后顺序；针对于单个分类bin，将聚类进行排序，确定各个聚类的先后顺序；依次选定需要排序的聚类，排序选定的聚类，针对单个聚类，同时针对相邻的至少3行芯片进行最优路径的计算；完成整个聚类块的排序，再进行下一个聚类最优路径的计算，从而完成整个bin类分选路径的计算。2.根据权利要求1所述的芯片分选路径的优化方法，其特征在于：所述最优路径的计算包括：选定当前芯片，判断前进方向下一个位置是否有芯片，如果有，则将此芯片位置加入路径中，并将该芯片作为当前芯片，重复上述步骤；如果前进方向下一个位置没有芯片，判断下一行同一列位置是否为空；如果非空，则将下一行芯片位置加入路径中，前进方向设置到下一行，同时标记上一行为等待行；在下一行进行搜索时，需要同步访问上一行的芯片是否存在，如存在，优先将上一行作为当前路径起点，从而接替前进。3.根据权利要求1所述的芯片分选路径的优化方法，其特征在于：采用连通域分析方法进行聚类分析。4.根据权利要求3所述的芯片分选路径的优化方法，其特征在于：所述连通域分析方法包括：将图像处理的黑白灰度数据，用当前位置是否存在芯片的0、1进行标记；标记完成后，将这些标记聚合，将所有在同一个连通区域的图形就聚合起来，形成一个类似图像斑点的区域，每个区域分别进行分类标记芯片的类别，然后将同一类标记的芯片，按照区域聚类。5.一种芯片分选路径的优选系统，其特征在于，其包括：芯片性能参数获取模块，用于获取晶圆上芯片的性能参数；聚类分析模块，通过聚类分析，确定同种规...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐博识，关巍，邱鹏，
申请(专利权)人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：