一种用于高基频晶元的外观检测自动排列装置，包括机架，其特征在于：所述机架内的安装面上设置有载盘供料机构、双头取料机构、旋转平台、取放料机构、收料盘取放机构、提篮机构和控制单元，所述双头取料机构安装在固定架上，所述固定架上还安装有一号视觉检测设备和二号视觉检测设备，所述一号视觉检测设备位于载盘供料机构正上方，所述二号视觉检测设备位于旋转平台正上方，所述取放料机构一侧的机架上间隔设置有三号视觉检测设备和四号视觉检测设备所述收料盘取放机构位于取放料机构的下方。本实用新型专利技术结构简单、能够在运输晶元的同时检测晶元的各项数据并进行分类，提高后续工序晶元良品率。序晶元良品率。序晶元良品率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于高基频晶元的外观检测自动排列装置
[0001]本技术涉及半导体
，具体涉及一种用于高基频晶元的外观检测自动排列装置。
技术介绍
[0002]采用半导体光刻工艺制程制造的高基频晶元，在石英晶体谐振器、振荡器产品中应用需求越来越大，随着晶元频率逐步提高，光刻工艺制程制造的晶元越来越体现其优于传统制造的优越性 ，在高基频、超高基频制造上，传统工艺已经不能实现。
[0003]在半导体光刻工艺制程中，制造的晶元会因各种原因在晶元表面产生各种瑕疵，瑕疵对于晶元的性能影响巨大，需要通过自动化检测手段来剔除不良晶元，提高后段制程良率。表面瑕疵大小一般在微米级，识别难度大，且晶元体积小，厚度薄，透明，易碎，对于检测、搬运都具有很高的要求。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是克服现技术的缺陷和不足，提供一种结构简单、能够在运输晶元的同时检测晶元的各项数据并进行分类，提高后续工序晶元良品率的外观检测自动排列装置。
[0005]为实现以上目的，本技术的技术解决方案是：一种用于高基频晶元的外观检测自动排列装置，包括机架，其特征在于：所述机架内的安装面上设置有载盘供料机构、双头取料机构、旋转平台、取放料机构、收料盘取放机构、提篮机构和控制单元，所述双头取料机构安装在固定架上，所述载盘供料机构和旋转平台均位于固定架下方，所述固定架上还安装有一号视觉检测设备和二号视觉检测设备，所述一号视觉检测设备位于载盘供料机构正上方，所述二号视觉检测设备位于旋转平台正上方，所述取放料机构、提篮机构与载盘供料机构分别位于固定架的两侧，所述取放料机构一侧的机架上间隔设置有三号视觉检测设备和四号视觉检测设备，所述三号视觉检测设备、四号视觉检测设备与提篮机构分别位于取放料机构的两侧，所述收料盘取放机构位于取放料机构的下方。
[0006]所述载盘供料机构包括供料X轴模组、供料Y轴模组和折取料盘，所述供料X轴模组固定连接在安装面上，所述供料Y轴模组滑动连接在供料X轴模组上，所述折取料盘滑动连接在供料Y轴模组上。
[0007]所述双头取料机构包括双头取料吸嘴和用来控制双头取料吸嘴运动的升降电机、旋转电机。
[0008]所述旋转平台包括转盘和位于转盘底部的DD马达，所述转盘上安装有破真空气缸机构、吸嘴平台和二号视觉检测设备光源。
[0009]所述取放料机构包括取放料X轴模组、取放料Y轴模组、取放料Z轴模组和取放料吸嘴机构，所述取放料X轴模组固定连接在安装面上，所述取放料Y轴模组滑动连接在取放料X轴模组上，所述取放料Z轴模组滑动连接在取放料Y轴模组上，所述取放料吸嘴机构包括吸
嘴基座、真空吸嘴和吸嘴旋转机构，所述吸嘴基座滑动连接在放料Z轴模组上，所述真空吸嘴通过吸嘴旋转机构与吸嘴基座连接在一起。
[0010]所述收料盘取放机构包括收料盘X轴模组、收料盘Y轴模组和收料盘机构，所述收料盘X轴模组固定连接在安装面上，所述收料盘Y轴模组滑动连接在收料盘X轴模组上，所述收料盘机构包括收料盘安装座和收料盘载板，所述收料盘安装座与收料盘X轴模组平行，收料盘安装座滑动连接在收料盘X轴模组上，所述收料盘X轴模组安装在收料盘安装座上。
[0011]所述收料盘安装座上设置有滑槽，所述收料盘载板通过滑块滑动连接在滑槽内。
[0012]所述提篮机构包括提篮和控制提篮运动的提篮Z向模组，所述提篮的侧壁上安装有托盘检测装置。
[0013]所述三号视觉检测设备一侧设置有NG排料站。
[0014]本技术相比现有技术，具有以下优势：
[0015]1、本技术将视觉检测设备分布在各个功能部件周围，在晶元运输的工程中同时对晶元质量和位置进行检测，并根据检测结果将不同质量的晶元分类放置，尽量保证流通到后段工序的晶元全部为良品，减少后段工序的不良率。
[0016]2、本技术中的各项功能单元都是采用了多向位移装置来保证晶元的运输，这样可以在有限的空间内确保经院运输的效率最大化。
[0017]3、本技术在提篮的侧壁上安装托盘检测装置，这样可以实时监测提篮中托盘的状态，提高运转效率。
附图说明
[0018]图1是本技术的结构示意图一。
[0019]图2是本技术的结构示意图二。
[0020]图3是本技术中载盘供料机构的结构示意图。
[0021]图4是本技术中双头取料机构的结构示意图。
[0022]图5是本技术中旋转平台的结构示意图。
[0023]图6是本技术中取放料机构的结构示意图。
[0024]图7是本技术中收料盘取放机构的结构示意图。
[0025]图8是本技术中提篮机构的结构示意图。
[0026]图中：机架1，安装面101，载盘供料机构2，双头取料机构3，旋转平台4，取放料机构5，收料盘取放机构6，提篮机构7，控制单元8，固定架9，一号视觉检测设备10，二号视觉检测设备11，三号视觉检测设备12，四号视觉检测设备13，供料X轴模组14，供料Y轴模组15，折取料盘16，双头取料吸嘴17，升降电机18，旋转电机19，转盘20，DD马达21，破真空气缸机构22，吸嘴平台23，取放料X轴模组24，取放料Y轴模组25，取放料Z轴模组26，取放料吸嘴机构27，吸嘴基座28，真空吸嘴29，吸嘴旋转机构30，收料盘X轴模组31，收料盘Y轴模组32，收料盘机构33，收料盘安装座34，收料盘载板35，滑槽36，提篮37，提篮Z向模组38，托盘检测装置39，NG排料站40。
具体实施方式
[0027]以下结合附图说明和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0028]参见图1
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图8，一种用于高基频晶元的外观检测自动排列装置，包括机架1，其特征在于：所述机架1内的安装面101上设置有载盘供料机构2、双头取料机构3、旋转平台4、取放料机构5、收料盘取放机构6、提篮机构7和控制单元8，所述双头取料机构3安装在固定架9上，所述载盘供料机构2和旋转平台4均位于固定架9下方，所述固定架9上还安装有一号视觉检测设备10和二号视觉检测设备11，所述一号视觉检测设备10位于载盘供料机构2正上方，所述二号视觉检测设备11位于旋转平台4正上方，所述取放料机构5、提篮机构7与载盘供料机构2分别位于固定架9的两侧，所述取放料机构5一侧的机架1上间隔设置有三号视觉检测设备12和四号视觉检测设备13，所述三号视觉检测设备12一侧设置有NG排料站40，所述三号视觉检测设备12、四号视觉检测设备13与提篮机构7分别位于取放料机构5的两侧，所述收料盘取放机构6位于取放料机构5的下方。
[0029]所述载盘供料机构2包括供料X轴模组14、供料Y轴模组15和折取料盘16，所述供料X轴模组14固定连接在安装面101上，所述供料Y轴模组15滑动连接在供料X轴模组14上，所述折取料盘16滑动连接在供料Y轴模组15上。
[0030]所述双头取料机构3包括双头取料吸嘴17和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于高基频晶元的外观检测自动排列装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）内的安装面（101）上设置有载盘供料机构（2）、双头取料机构（3）、旋转平台（4）、取放料机构（5）、收料盘取放机构（6）、提篮机构（7）和控制单元（8），所述双头取料机构（3）安装在固定架（9）上，所述载盘供料机构（2）和旋转平台（4）均位于固定架（9）下方，所述固定架（9）上还安装有一号视觉检测设备（10）和二号视觉检测设备（11），所述一号视觉检测设备（10）位于载盘供料机构（2）正上方，所述二号视觉检测设备（11）位于旋转平台（4）正上方，所述取放料机构（5）、提篮机构（7）与载盘供料机构（2）分别位于固定架（9）的两侧，所述取放料机构（5）一侧的机架（1）上间隔设置有三号视觉检测设备（12）和四号视觉检测设备（13），所述三号视觉检测设备（12）、四号视觉检测设备（13）与提篮机构（7）分别位于取放料机构（5）的两侧，所述收料盘取放机构（6）位于取放料机构（5）的下方。2.根据权利要求1所述的一种高基频晶元的外观检测自动排列装置，其特征在于：所述载盘供料机构（2）包括供料X轴模组（14）、供料Y轴模组（15）和折取料盘（16），所述供料X轴模组（14）固定连接在安装面（101）上，所述供料Y轴模组（15）滑动连接在供料X轴模组（14）上，所述折取料盘（16）滑动连接在供料Y轴模组（15）上。3.根据权利要求1所述的一种高基频晶元的外观检测自动排列装置，其特征在于：所述双头取料机构（3）包括双头取料吸嘴（17）和用来控制双头取料吸嘴（17）运动的升降电机（18）、旋转电机（19）。4.根据权利要求1所述的一种高基频晶元的外观检测自动排列装置，其特征在于：所述旋转平台（4）包括转盘（20）和位于转盘（20）底部的DD马达（21），所述转盘（20）上安装有破真空气缸机构（22）、吸嘴平台（23）和二号视觉检测设备光源。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：李天宝，汪晓虎，谢凡，
申请(专利权)人：重庆市晶芯频控电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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