一种自动测量磨削后单晶边长的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括检测台、第一驱动装置、机械臂、探针组件，所述检测台用于放置所述待测单晶，所述测量装置对称设置在所述检测台两侧，所述第一驱动装置一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动，所述机械臂设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧，所述探针组件设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。本实用新型专利技术的有益效果是提高了磨削后单晶边长的测量精度，提升了工作效率。提升了工作效率。提升了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种自动测量磨削后单晶边长的装置


[0001]本技术属于太阳能单晶检测领域，尤其是涉及一种自动测量磨削后单晶边长的装置。

技术介绍

[0002]在太阳能单晶硅片制造过程中，需要将单晶硅棒磨削切方。磨削完成后，需要对磨削后的单晶进行边长检验。在现有技术中，操作人员使用游标卡尺对磨削后的单晶进行检测，测量误差大，精度不准确，无法保证后续的生产，且人工测量速度缓慢，工作效率较低。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种自动测量磨削后单晶边长的装置，有效的解决了人工测量误差大，工作效率低的问题，克服了现有技术的不足。
[0004]本技术采用的技术方案是：一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括：
[0005]检测台，用于放置所述待测单晶，所述测量装置对称设置在所述检测台两侧；
[0006]第一驱动装置，一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动；
[0007]机械臂，设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧；
[0008]探针组件，设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。
[0009]进一步，所述机械臂上设有第一传感器，用于测量所述探针组件的水平移动距离，所述检测台侧面为所述第一传感器的感应面。
[0010]进一步，所述机械臂靠近所述立柱的一端设有第二驱动装置，所述第二驱动装置可带动所述机械臂水平移动。
[0011]进一步，所述第一驱动装置和第二驱动装置为气缸或者电动伸缩杆。
[0012]进一步，所述探针组件包括探针和第二传感器，所述探针水平放置在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述第二传感器设置在所述探针远离所述检测台的一端，所述探针可沿水平方向收缩，所述第二传感器用来测量所述探针的收缩距离。
[0013]进一步，所述探针包括底座和针棒，所述底座设置在所述械臂远离所述立柱的一端，所述针棒水平设置在所述底座靠近所述待测单晶的一端，且与所述底座间隙配合，所述针棒可沿所述底座水平移动，所述底座另外一端设置所述第二传感器。
[0014]进一步，所述针棒远离所述待测单晶的一端设有顶板，所述顶板与所述底座之间设有弹簧，所述顶板侧面为所述第二传感器的感应面。
[0015]进一步，所述针棒靠近所述待测单晶的一端为圆弧状。
[0016]进一步，所述探针组件包括三个探针和三个第二传感器，所述三个探针水平放置，竖直排列在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述三个传感器分别设置在所述三个探针远离所述检测台的一端。
[0017]本技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提高了磨削后单
晶边长的测量精度，提升了工作效率。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置的整体结构示意图。
[0019]图2是本技术实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置的探针结构示意图。
[0020]图中：
[0021]1、检测台
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2、第一气缸
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3、立柱
[0022]4、第二气缸
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5、机械臂
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6、探针
[0023]61、底座
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62、针棒
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63、顶板
[0024]64、弹簧
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65、透光孔
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7、第一传感器
[0025]8、第二传感器
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9、安装支架
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10、待测单晶
具体实施方式
[0026]本技术实施例提供了一种自动测量磨削后单晶边长的装置，下面结合附图对本技术的实施例做出说明。
[0027]如图1所示，本技术实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括检测台1用于放置待测单晶10，测量装置对称安装在检测台1两侧，待测单晶10的长度方向垂直于两侧测量装置的连线。检测台1的侧面安装有第一驱动装置，第一驱动装置一端与检测台1连接，另外一端上方设有立柱3，第一驱动装置可带动立柱3水平移动。立柱3靠近检测台1的一侧安装有水平的机械臂5，机械臂5远离立柱3一端安装有探针组件。
[0028]具体的，机械臂5上设有第一传感器7，检测台1侧面为第一传感器7的感应面。第一驱动装置带动立柱3和机械臂5水平移动时，带动探头组件移动，第一传感器7相对于感应面的距离发生变化，从而能够检测出探头组件的水平移动距离。
[0029]优选的，机械臂5靠近所述立柱3的一端设有第二驱动装置，第二驱动装置可带动所述机械臂5水平移动。为了便于将待测晶体放置在检测台1上，在机械臂5靠近立柱3的一端安装第二驱动装置，第二驱动装置可带动机械臂5水平伸缩。
[0030]具体的，第一驱动装置和第二驱动装置可为气缸或者电动伸缩杆。
[0031]具体的，探针组件包括探针6和第二传感器8，探针6水平放置在机械臂5远离立柱3的一端，第二传感器8设置在探针6远离检测台1的一端，探针6可沿水平方向收缩，第二传感器8用来测量所述探针6的收缩距离。当第二传感器8感应到探针6接触到待测物体表面以后，探针6不再移动时，第一传感器7检测出探针6的水平移动距离，立柱3到检测台1中心的距离是已知固定的，立柱3到探针6的距离也是已知的，即可计算出待测晶体侧面到操作台中心的距离，通过对称设置的测量装置，可测出另外一侧待测晶体侧面到操作台中心的距离，相对的两侧面到操作台中心的距离相加即可得出待测单晶10的边长。当探针6接触到待测晶体侧面以后，探针6继续移动，探针6收缩，第二传感器8能够检测出探针6的收缩距离。
[0032]具体的，如图2所示，探针6包括底座61和针棒62，底座61设置在械臂远离立柱3的一端，针棒62水平设置在底座61靠近待测单晶10的一端，且与底座61间隙配合，针棒62可沿
底座61水平移动，底座61另外一端设置第二传感器8。
[0033]具体的，如图2所示，针棒62远离待测单晶10的一端设有顶板63，顶板63与底座61之间设有弹簧64，顶板63侧面为第二传感器8的感应面。当针棒62接触到待测单晶10时，若针棒62继续移动，待测单晶10推动针棒62沿底座61移动，针棒62带动顶板63移动，第二传感器8即可检测出针棒62的移动距离。
[0034]优选的，针棒62靠近所述单晶的一端为圆弧状。为避免针棒62与待测单晶10接触时，对待测单晶10造成划伤，针棒62靠近待测单晶10的一端设置成圆弧状、
[0035]优选的，探针组件包括三个探针6和三个第二传感器8，三个探针6水平放置，竖直排列在机械臂5远离立柱3的一端，三个传感器分别设置在所述三个探针6远离所述检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动测量磨削后单晶边长的装置，对称设置在待测单晶两侧，其特征在于，包括：检测台，用于放置所述待测单晶；第一驱动装置，一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动；机械臂，设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧；探针组件，设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。2.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述机械臂上设有第一传感器，用于测量所述探针组件的水平移动距离，所述检测台侧面为所述第一传感器的感应面。3.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述机械臂靠近所述立柱的一端设有第二驱动装置，所述第二驱动装置可带动所述机械臂水平移动。4.根据权利要求3所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述第一驱动装置和第二驱动装置为气缸或者电动伸缩杆。5.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针组件包括探针和第二传感器，所述探针水平放置在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述第二传...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵伟，梁志慧，李喜珍，贡艺强，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：