一种新型冷却结构的水冷腔体制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜技术领域，公开了一种新型冷却结构的水冷腔体，包括腔体本体，应用于真空镀膜设备并套设于所述真空镀膜设备外部，腔体本体呈多边棱柱体结构设计，在腔体本体的各个面设置有密封板，密封板与腔体本体槽接，在腔体本体的内部开设有若干条冷却水通道，冷却水通道包括水平孔道和竖直孔道，水平孔道呈正多边形结构设计并设置于腔体本体的上下表面，竖直孔道垂直设置于腔体本体的若干条棱柱内部。本实用新型专利技术通过将腔体本体设置成多边棱柱体结构并在其内部水平和竖直方向设置可选水冷结构，提高设备功率，减少热量损失。此外，多边棱柱体结构方便布置附件，且方便配合工艺角度易于加工，减少生产成本，提高了产品的市场竞争力。产品的市场竞争力。产品的市场竞争力。

【技术实现步骤摘要】
一种新型冷却结构的水冷腔体


[0001]本技术属于真空镀膜
，尤其涉及一种新型冷却结构的水冷腔体。

技术介绍

[0002]真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，最终形成薄膜。真空镀膜机在工作过程中一般会释放大量的热，例如真空水冷腔体内部的高温加热器的热辐射或者热传导会导致真空水冷腔体本身温度急剧升高，因此需要对真空腔体进行通水冷却。
[0003]现有技术中，对真空镀膜机的散热通常采用自然冷却或者通过在真空镀膜机中加装冷凝管等设备来达到散热的目的，自然冷却降温速度较慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，同时降温时间过长，会大大降低镀膜机的镀膜效率，然而在真空镀膜机内部加装冷凝管等设备，可以起到短时间散热的目的，但是会导致冷凝管处温度过低，想要准确散热的部分反而没能得到充分散热，存在很严重的散热不均的问题，并且不能局部散热，导致设备热量损耗过大，同时冷凝管需配套压缩机等昂贵的设备同时使用，生产成本较高。因此这种情况需要改变。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型冷却结构的水冷腔体，以解决上述
技术介绍
中所提到的散热不均、不能局部散热以及生产成本较高等问题。
[0005]为实现以上技术目的，采用的技术方案为：
[0006]一种新型冷却结构的水冷腔体，包括腔体本体，应用于真空镀膜设备并套设于所述真空镀膜设备外部，所述腔体本体呈多边棱柱体结构设计，在所述腔体本体的各个面设置有密封板，所述密封板与所述腔体本体槽接，在所述腔体本体的内部开设有若干条冷却水通道，所述冷却水通道包括水平孔道和竖直孔道，所述水平孔道呈正多边形结构设计并设置于所述腔体本体的上下表面，所述竖直孔道垂直设置于所述腔体本体的若干条棱柱内部。
[0007]本技术进一步设置为：在所述水平孔道的正多边形顶角处设置有冷却水接头一。
[0008]本技术进一步设置为：在所述竖直孔道的两端设置有冷却水接头二
[0009]本技术进一步设置为：所述冷却水通道由机加工孔道构成。
[0010]本技术进一步设置为：所述水平孔道与所述竖直孔道内部导通连接。
[0011]本技术进一步设置为：在所述密封板的内部设置有高温加热器。
[0012]综上所述，与现有技术相比，本技术公开了一种新型冷却结构的水冷腔体，包括腔体本体，应用于真空镀膜设备并套设于所述真空镀膜设备外部，腔体本体呈多边棱柱体结构设计，在腔体本体的各个面设置有密封板，密封板与腔体本体槽接，在腔体本体的内部开设有若干条冷却水通道，冷却水通道包括水平孔道和竖直孔道，水平孔道呈正多边形结构设计并设置于腔体本体的上下表面，竖直孔道垂直设置于腔体本体的若干条棱柱内部。
[0013]本技术，一方面，通过在所述腔体本体内部水平和竖直方向设置分别可选水冷结构：水平孔道和竖直孔道，提高设备功率，可以做到局部精准散热，减少热量损失；另一方面，将所述腔体本体设置为多边棱柱体结构方便布置附件，且方便配合工艺角度易于加工，减少生产成本，提高了产品的市场竞争力。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1是本实施例提供的一种新型冷却结构的水冷腔体的整体结构示意图；
[0016]图2是本实施例提供的一种新型冷却结构的水冷腔体的腔体本体的立体结构示意图；
[0017]图3是本实施例提供的一种新型冷却结构的水冷腔体的前视图；
[0018]图4是本实施例提供的一种新型冷却结构的水冷腔体的A
‑
A视角剖视图；
[0019]图5是本实施例提供的一种新型冷却结构的水冷腔体的B
‑
B视角剖视图。
[0020]附图标记：1、腔体本体；2、密封板；3、冷却水通道；31、水平孔道；311、冷却水接头一；32、竖直孔道；321、冷却水接头二；4、高温加热器；5、真空镀膜设备。
具体实施方式
[0021]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]此外，上面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0025]一种新型冷却结构的水冷腔体，如图1
‑
图5所示，包括腔体本体1，应用于真空镀膜设备5并套设于所述真空镀膜设备5外部，腔体本体1呈多边棱柱体结构设计，在腔体本体1的各个面设置有密封板2，密封板2与腔体本体1槽接，在腔体本体1的内部开设有若干条冷却水通道3，冷却水通道3包括水平孔道31和竖直孔道32，水平孔道31呈正多边形结构设计并设置于腔体本体1的上下表面，若干条竖直孔道32垂直设置于腔体本体1的棱柱内部。
[0026]需要进一步说明的是，腔体本体1用于给真空镀膜设备5进行散热并设置于所述真空镀膜设备5外部，腔体本体1设置为多边棱柱体结构，一方面是为了配合工艺加工角度，便于生产切割，降低生产成品，节约成本；另一方面是设计成多边棱柱体，方便在多边棱柱的各个面添加附加装置，增添可选择性，提高了产品的实用性和市场竞争力。
[0027]进一步的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型冷却结构的水冷腔体，包括腔体本体，应用于真空镀膜设备并套设于所述真空镀膜设备外部，其特征在于：所述腔体本体呈多边棱柱体结构设计，在所述腔体本体的各个面设置有密封板，所述密封板与所述腔体本体槽接，在所述腔体本体的内部开设有若干条冷却水通道，所述冷却水通道包括水平孔道和竖直孔道，所述水平孔道呈正多边形结构设计并设置于所述腔体本体的上下表面，若干条所述竖直孔道垂直设置于所述腔体本体的棱柱内部。2.如权利要求1所述的一种新型冷却结构的水冷腔体，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：高卫民，马续航，胡青莲，
申请(专利权)人：深圳市新普真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：