一种探卡固定装置制造方法及图纸

本申请公开了一种探卡固定装置，包括：测试台；探卡盘，所述探卡盘连接于所述测试台上；固定机构，所述固定机构包括压板和第一螺丝，所述压板的一侧轴连接于所述探卡盘上，当所述压板受到沿第一方向的第一压力时，所述压板的另一侧可将探卡压在所述探卡盘上，所述第一方向为所述压板与所述探卡盘排列的方向；所述固定机构具有压合状态和打开状态，当其处于压合状态时，所述第一螺丝穿过所述压板上的第一通孔，与所述探卡盘螺纹紧固，并向所述压板施加所述第一压力；当其处于打开状态时，所述第一螺丝被旋松。该探卡固定装置能更有利于保护被加工的探卡。加工的探卡。加工的探卡。

【技术实现步骤摘要】
一种探卡固定装置


[0001]本申请一般涉及芯片测试领域，尤其涉及一种探卡固定装置。

技术介绍

[0002]探卡作为一种多探针的测试电路，可用于对待测芯片上的不同点位进行同时测试，这样可以极大的提高测试芯片时的效率。在对探卡加工过程中，现有的探卡固定装置一般使用螺丝穿过探卡上的通孔，并将探卡压紧在探卡盘上，然后再将探卡盘固定在测试台上，其中探卡盘用于调节探卡上局部区域的相对位置。但此种固定装置在使用时需要将螺丝穿过探卡上的通孔，操作不慎有可能会将通孔边缘的功能电路破坏；另外如果旋拧螺丝的力度过大还会损坏探卡。因此上述固定方式亟需改进。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种更有利于保护探卡的探卡固定装置。
[0004]具体技术方案如下：
[0005]本申请提供一种探卡固定装置，包括：
[0006]测试台；
[0007]探卡盘，所述探卡盘连接于所述测试台上；
[0008]固定机构，所述固定机构包括压板和第一螺丝，所述压板的一侧轴连接于所述探卡盘上，当所述压板受到沿第一方向的第一压力时，所述压板的另一侧可将探卡压在所述探卡盘上，所述第一方向为所述压板与所述探卡盘排列的方向；所述固定机构具有压合状态和打开状态，当其处于压合状态时，所述第一螺丝穿过所述压板上的第一通孔，与所述探卡盘螺纹紧固，并向所述压板施加所述第一压力；当其处于打开状态时，所述第一螺丝被旋松。
[0009]可选的，所述固定机构还包括弹性件，所述弹性件设于所述压板与所述探卡盘之间，当所述固定机构处于压合状态时，所述弹性件处于压缩状态。
[0010]可选的，所述打开状态包含有第一打开状态和第二打开状态，在所述第一打开状态下，所述压板与所述探卡盘之间呈第一设定角度，所述第一螺丝仍与所述探卡盘连接，所述弹性件仍处于压缩状态；
[0011]在所述第二打开状态下，所述压板与所述探卡盘之间呈第二设定角度，所述第二设定角度大于所述第一设定角度；
[0012]所述固定机构还包括限位组件，所述限位组件包括限位片和第二螺丝，
[0013]所述限位片上设有第二通孔，所述第二螺丝的螺杆穿过所述第二通孔并与所述探卡盘螺纹连接，其螺帽与所述探卡盘之间形成滑动空间，用于容纳所述限位片相对于所述第二螺丝沿第二方向滑动，所述第二方向为所述第二通孔横截面的延伸方向，在所述限位片滑动过程中形成有第一工位和第二工位，当其位于所述第一工位时，所述限位片可将所
述固定机构限定在所述第一打开状态；当其位于所述第二工位时，所述固定机构可由所述第一打开状态切换为所述第二打开状态。
[0014]可选的，所述探卡盘可分为沿所述第一方向排列的第一探卡盘和第二探卡盘，所述固定机构设于所述第一探卡盘上，所述第二探卡盘用于与所述测试台连接，所述第二探卡盘上设有用于容纳所述第一探卡盘的凹槽，所述第一探卡盘放置于所述凹槽内，并可在所述凹槽内转动。
[0015]可选的，还包括转动调节机构，所述转动调节机构包括拨动杆，所述拨动杆铰接于所述第一探卡盘和所述第二探卡盘之间。
[0016]可选的，所述转动调节机构还包括第三螺丝，所述第三螺丝穿过所述拨动杆上的第三通孔，当其与所述第二探卡盘螺纹紧固后，可将所述拨动杆的相对位置锁定。
[0017]可选的，所述第二探卡盘上设有第四通孔；
[0018]所述探卡固定装置还包括第四螺丝，所述第四螺丝与所述第四通孔螺纹配合，所述第四螺丝的一端穿过所述第四通孔并与所述测试台抵接。
[0019]本申请有益效果在于：
[0020]在使用该固定装置时，先将所述探卡盘固定于所述测试台上，然后再将所述第一螺丝拧松，使得所述固定机构处于打开状态，此时在所述压板与所述探卡盘之间形成有缝隙，将探卡的边缘插入该缝隙后，再将所述第一螺丝紧固，所述固定机构处于压合状态。这样探卡盘只是通过与探卡边缘接触即可将其压紧在所述探卡盘上。从而有效避免了对探卡上功能性电路的破坏，进而更加有利于保护探卡。
附图说明
[0021]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0022]图1为本申请实施例提供的探卡固定装置的结构示意图；
[0023]图中标号：2，探卡盘；31，压板；32，第一螺丝；33，限位片；34，第二螺丝；21，第一探卡盘；22，第二探卡盘；41，拨动杆；42，第三螺丝；5，第四螺丝。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0025]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0026]请参考图1，为本实施例提供的一种探卡固定装置，包括：
[0027]测试台；
[0028]探卡盘2，所述探卡盘2连接于所述测试台上；
[0029]固定机构，所述固定机构包括压板31和第一螺丝32，所述压板31的一侧轴连接于所述探卡盘2上，当所述压板31受到沿第一方向的第一压力时，所述压板31的另一侧可将探卡压在所述探卡盘2上，所述第一方向为所述压板31与所述探卡盘2排列的方向；所述固定
机构具有压合状态和打开状态，当其处于压合状态时，所述第一螺丝32穿过所述压板31上的第一通孔，与所述探卡盘2螺纹紧固，并向所述压板31施加所述第一压力；当其处于打开状态时，所述第一螺丝32被旋松。
[0030]在使用该固定装置时，先将所述探卡盘2固定于所述测试台上，然后再将所述第一螺丝32拧松，使得所述固定机构处于打开状态，此时在所述压板31与所述探卡盘2之间形成有缝隙，将探卡的边缘插入该缝隙后，再将所述第一螺丝32紧固，所述固定机构处于压合状态。这样探卡盘2只是通过与探卡边缘接触即可将其压紧在所述探卡盘2上。从而有效避免了对探卡上功能性电路的破坏，进而更加有利于保护探卡。
[0031]其中在提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，所述固定机构还包括弹性件，所述弹性件设于所述压板31与所述探卡盘2之间，当所述固定机构处于压合状态时，所述弹性件处于压缩状态。
[0032]在使用该探卡固定装置取放探卡过程中，需要将所述压板31抬起，而由于在所述压板31与所述探卡盘2之间设置了所述弹性件，因此在取放探卡时，所述固定机构处于打开状态，所述压板31在所述弹性件的作用下，自动抬起。这样便于取放探卡，进而提升了该探卡固定装置的使用便利性。
[0033]其中在进一步提升该探卡固定装置使用便利性的优选实施方式中，所述打开状态包含有第一打开状态和第二打开状态，在所述第一打开状态下，所述压板31与所述探卡盘2之间呈第一设定角度，所述第一螺丝32与所述探卡盘2连接，所述弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探卡固定装置，其特征在于，包括：测试台；探卡盘(2)，所述探卡盘(2)连接于所述测试台上；固定机构，所述固定机构包括压板(31)和第一螺丝(32)，所述压板(31)的一侧轴连接于所述探卡盘(2)上，当所述压板(31)受到沿第一方向的第一压力时，所述压板(31)的另一侧可将探卡压在所述探卡盘(2)上，所述第一方向为所述压板(31)与所述探卡盘(2)排列的方向；所述固定机构具有压合状态和打开状态，当其处于压合状态时，所述第一螺丝(32)穿过所述压板(31)上的第一通孔，与所述探卡盘(2)螺纹紧固，并向所述压板(31)施加所述第一压力；当其处于打开状态时，所述第一螺丝(32)被旋松。2.根据权利要求1所述的探卡固定装置，其特征在于，所述固定机构还包括弹性件，所述弹性件设于所述压板(31)与所述探卡盘(2)之间，当所述固定机构处于压合状态时，所述弹性件处于压缩状态。3.根据权利要求2所述的探卡固定装置，其特征在于，所述打开状态包含有第一打开状态和第二打开状态，在所述第一打开状态下，所述压板(31)与所述探卡盘(2)之间呈第一设定角度，所述第一螺丝(32)与所述探卡盘(2)连接，所述弹性件处于压缩状态；在所述第二打开状态下，所述压板(31)与所述探卡盘(2)之间呈第二设定角度，所述第二设定角度大于所述第一设定角度；所述固定机构还包括限位片(33)和第二螺丝(34)，所述限位片(33)上设有第二通孔，所述第二螺丝(34)的螺杆穿过所述第二通孔并与所述探卡盘(2)螺纹连接，其螺帽与所述探卡盘(2)之间形成滑动空间，用于容纳所述限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨强，
申请(专利权)人：北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：