本实用新型专利技术属于扫描电镜样品台技术领域，涉及可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台。包括基台、断面样品固定台、活动支撑块、铰接件、螺杆、铰轴Ⅰ和铰轴Ⅱ，断面样品固定台与基台连接在一起构成连接副，活动支撑块与铰接件连接在一起构成另一连接副，螺杆与基台、铰接件配合连接，与活动支撑块与断面样品固定台接触连接。本实用新型专利技术通过调节螺杆的上下移动，可连续调节断面样品固定台的角度，进而连续调节粘附在断面样品固定台上样品的角度，使样品断面能够保持水平状态，保证扫描电镜发射的电子束能够垂直样品断面，得到的样品形貌成像清晰，表征真实，突破了现有样品台中断面样品固定台角度不能连续调节的局限，科研效率高。效率高。效率高。
【技术实现步骤摘要】
可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台
[0001]本技术属于扫描电镜样品台
，具体涉及可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台。
技术介绍
[0002]扫描电子显微镜是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。扫描电镜的一个重要特点是景深大，扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大数十倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜更多的信息。扫描电镜所显示的样品形貌在教学、科研和生产中，有不可替代的作用。样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的局部特征。
[0003]由于扫描电镜自身结构特征，待观测的样品需要固定于样品台上，且样品被观测表面应垂直于电子束入射的方向(竖直)，即样品被观测表面需要保持水平。
[0004]目前本领域存在的技术问题是：
[0005]由于被测样品断面与其本身长度方向并不一定垂直，当将其放置在样品台上时，其断面并不能完全保持水平状态，造成入射电子束不能垂直射在样品断面上，其后果是样品测试成像模糊且表征失真，无法真实反映断面的形貌。为了解决这一问题，中国专利201220633312.2公开了一种角度可调式扫描电镜用样品台(申请日期2012年11月27日)，可对样品台上的断面样品固定台进行适当的角度调节，部分解决了样品断面与入射电子束不垂直的问题，但在使用根据该技术方案制备的样品台时，发现存在如下问题：虽然其长度调节装置可以微调，但由于半球形槽是间断排列，造成断面样品固定台的角度调节是不连续的，即有档变化，其后果是介于两档中间的角度无法获取，造成适用的样品局限性大。
[0006]如何解决上述问题，是本领域技术人员工作的当务之急。
技术实现思路
[0007]本技术提供可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台，可有效解决如下技术问题：如何做到断面样品固定台的角度可连续调节，进而保证样品断面保持水平状态，扩大被测试样品的适用范围。
[0008]本技术采用如下技术方案：
[0009]可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台，包括基台、断面样品固定台、活动支撑块、铰接件、螺杆、铰轴Ⅰ和铰轴Ⅱ，所述基台包括台体Ⅰ、螺纹孔和铰接耳Ⅰ，台体Ⅰ呈圆柱状，台体Ⅰ上设有螺纹孔和铰接耳Ⅰ，铰接耳Ⅰ上设有铰轴孔Ⅰ；所述断面样品固定台包括台体Ⅱ和铰接耳Ⅱ，铰接耳Ⅱ上设有铰轴孔Ⅱ，断面样品固定台的形状为圆形，在一边缘设有铰接耳Ⅱ。
[0010]进一步的，铰接耳Ⅰ有一个，其中心线过断面样品固定台的圆心；铰接耳Ⅱ有两个，
铰接耳Ⅱ中间装配铰接耳Ⅰ。
[0011]所述活动支撑块包括支撑板和铰接耳Ⅲ，铰接耳Ⅲ上设有铰轴孔Ⅲ；所述铰接件包括圆筒和铰接耳Ⅳ，铰接耳Ⅳ上设有铰轴孔Ⅳ。
[0012]进一步的，铰接耳Ⅳ有一个，铰接耳Ⅲ有两个，两个铰接耳Ⅲ中间装配铰接耳Ⅳ。
[0013]所述的铰轴Ⅰ穿过铰轴孔Ⅰ和铰轴孔Ⅱ，将铰接耳Ⅰ与铰接耳Ⅱ配合连接形成第一转动副，第一转动副将基台与断面样品固定台安装在一起；所述的铰轴Ⅱ穿过铰轴孔Ⅲ和铰轴孔Ⅳ，将铰接耳Ⅲ与铰接耳Ⅳ配合连接形成第二转动副，第二转动副将活动支撑块与铰接件安装在一起。
[0014]所述螺杆包括光杆部、扁平部和螺纹部。
[0015]所述螺杆的光杆部端安装在铰接件的圆筒内，光杆部与圆筒之间的配合是间隙配合，间隙值为0.1mm
‑
0.3mm，所述螺纹部与基台上的螺纹孔通过螺纹配合连接，将螺杆与基台安装在一起。
[0016]本技术具有以下有益技术效果：
[0017]通过调节螺杆的上下移动，可连续调节断面样品固定台的角度，进而连续调节粘附在断面样品固定台上样品的角度，使样品的断面能够保持水平状态，保证扫描电镜发射的电子束能够与样品断面垂直，得到的样品形貌成像清晰，表征真实，突破了现有样品台中断面样品固定台角度不能连续调节的局限，科研效率高。
附图说明
[0018]图1为本技术可细微调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台主视图；
[0019]图2为本技术可细微调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台左视图；
[0020]图3为基台主视图；
[0021]图4为基台俯视图；
[0022]图5为基台左视图；
[0023]图6为断面样品固定台主视图；
[0024]图7为断面样品固定台俯视图；
[0025]图8为活动支撑块主视图；
[0026]图9为图8中A
‑
A面剖视图；
[0027]图10为活动支撑块俯视图；
[0028]图11为铰接件主视图；
[0029]图12为图11中B
‑
B面剖视图；
[0030]图13为铰接件俯视图；
[0031]图14为铰接件仰视图；
[0032]图15为铰接件左视图；
[0033]图16为螺杆主视图；
[0034]图17为螺杆左视图；
[0035]图18为图17中的A向视图。
[0036]附图标记说明：1、基台；1
‑
1、台体；1
‑
2、螺纹孔；1
‑
3、铰接耳Ⅰ；1
‑
4、铰轴孔Ⅰ；2、断面样品固定台；2
‑
1、台体Ⅱ；2
‑
2、铰接耳Ⅱ；2
‑
3、铰轴孔Ⅱ；3、活动支撑块；3
‑
1、支撑板；3
‑
2、铰接耳Ⅲ；3
‑
3、铰轴孔Ⅲ；4、铰接件；4
‑
1、圆筒；4
‑
2、铰接耳Ⅳ；4
‑
3、铰轴孔Ⅳ；5、螺杆；5
‑
1、光杆部；5
‑
2、扁平部；5
‑
3、螺纹部；6、铰轴Ⅰ；7、铰轴Ⅱ；8、导电胶带；9、断面样品。
具体实施方式
[0037]下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本技术的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本技术可以在不需要这些具体细节中的部分细节的情况下实施。本技术不限于下面所提出的任何具体配置，而是在不脱离本技术的精神的前提下覆盖了元素、部件的任何修改、替换和改进。在下面的描述中，没有示出公知的结构和技术，以避免对本技术造成不必要的模糊。
[0038]如图1至图18所示，可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台，包括基台1、断面样品固定台2、活动支撑块3、铰接件4、螺杆5、铰轴Ⅰ6和铰轴Ⅱ7，基台1包括台体Ⅰ1
‑
1、螺纹孔1
‑
2和铰接耳Ⅰ1...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台，包括基台(1)、断面样品固定台(2)、活动支撑块(3)、铰接件(4)、螺杆(5)、铰轴Ⅰ(6)和铰轴Ⅱ(7)，其特征在于：所述基台(1)包括台体Ⅰ(1
‑
1)、螺纹孔(1
‑
2)和铰接耳Ⅰ(1
‑
3)，台体Ⅰ(1
‑
1)呈圆柱状，台体Ⅰ(1
‑
1)上设有螺纹孔(1
‑
2)和铰接耳Ⅰ(1
‑
3)，铰接耳Ⅰ(1
‑
3)上设有铰轴孔Ⅰ(1
‑
4)；所述断面样品固定台(2)包括台体Ⅱ(2
‑
1)和铰接耳Ⅱ(2
‑
2)，铰接耳Ⅱ(2
‑
2)上设有铰轴孔Ⅱ(2
‑
3)；所述活动支撑块(3)包括支撑板(3
‑
1)和铰接耳Ⅲ(3
‑
2)，铰接耳Ⅲ(3
‑
2)上设有铰轴孔Ⅲ(3
‑
3)；所述铰接件(4)包括圆筒(4
‑
1)和铰接耳Ⅳ(4
‑
2)，铰接耳Ⅳ(4
‑
2)上设有铰轴孔Ⅳ(4
‑
3)；所述螺杆(5)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈永，刘胜新，孙传博，李永刚，潘继民，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：新型
国别省市：
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