本发明专利技术涉及排风系统技术领域，具体涉及一种用于匀胶显影单元的排风系统及其控制方法，本发明专利技术能够提高匀胶显影单元工作过程中环境风压的稳定，解决多工位工作时无法保持恒压的技术问题，匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，排风系统包括：公用风道，公用风道设有公用风道排气口；与匀胶显影单元第一工位适配的第一风道，第一风道设有第一进气口，并与公用风道连通；与匀胶显影单元第二工位适配的第二风道，第二风道设有第二进气口，并与公用风道连通；第一风道气控风阀，第一风道气控风阀设于第一风道，并用于控制第一风道的开闭；第二风道气控风阀，第二风道气控风阀设于第二风道，并用于控制第二风道的开闭。道的开闭。道的开闭。
【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法
[0001]本专利技术涉及排风系统
，具体涉及一种用于匀胶显影单元的排风系统。
技术介绍
[0002]随着全球电子信息产业的发展，芯片在汽车家电、3 c电子等领域有大量应用，在生产过程中，匀胶显影是整个工艺过程中关键的一环，匀胶显影机排风系统是针对匀胶显影过程中要求的特殊环境设计的，其主要功能是保持内部气压稳定并及时排出匀胶显影过程中产生的气体及杂质粒子。
[0003]传统的排风系统主要由排风管道、排风风机、进气阀门组成，然而现有技术多采用的单通路排风，对生产过程中存在的不同匀胶显影单元的工作状态难以协调，导致匀胶显影机在长时间工作中良品率下降甚至出现设备损坏。
技术实现思路
[0004]本专利技术能够解决在匀胶显影单元工作过程中双工位旋涂排风恒压不稳定的技术问题。
[0005]为解决上述问题，本专利技术提供了一种用于匀胶显影单元的排风系统，匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，排风系统包括：公用风道，公用风道设有公用风道排气口；与匀胶显影单元第一工位适配的第一风道，第一风道设有第一进气口，并与公用风道连通；与匀胶显影单元第二工位适配的第二风道，第二风道设有第二进气口，并与公用风道连通；第一风道气控风阀，第一风道气控风阀设于第一风道，并用于控制第一风道的开闭；第二风道气控风阀，第二风道气控风阀设于第二风道，并用于控制第二风道的开闭；手动风阀，手动风阀用于调节风道中的风速，手动风阀设于第二风道。
[0006]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：可以理解的是，排风系统在对匀胶显影单元多工位进行排风作业的时候，需要使用多风道进行排风作业，第一风道针对匀胶显影单元第一工位进行排风调节，第二风道针对匀胶显影单元第二工位进行排风调节，第一气控风阀控制第一风道，第二风阀控制第二风道；排风系统在工作时，能够使环境中的废气与杂质颗粒及时排出，进而保持了气压的稳定，同时也实现了换风稳压的目的。
[0007]进一步的，在本专利技术中，第一风道和第二风道并排布置，第二风道的设置位置位于第一风道和公用风道排气口之间，手动风阀设于第二风道。
[0008]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：由于排风系统空间占用较大，采用匀胶显影单元双工位双支路排风系统后，避免了排风结构与显影机内部结构之间的冲突，保证了设备的稳定运行，同时也方便拆解维修；采用第一风道与第二风道并排布置的方式，可以保证排风系统与匀胶显影机之间的配合；仅在第二风道的设置手动风阀便可以满足整个排风系统的稳压调节需求，同时也节省了排风系统内部空间，进一步的也提高排风系统的排风效率。
[0009]进一步的，在本专利技术中，排风系统还包括：公用风道气控风阀，公用风道气控风阀
设于公用风道。
[0010]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：公用风道气控风阀的设置实现了调节公用风道与外部风道的风压的目的，同时也保证了匀胶显影机内部风压的稳定；进一步的，公用风道气控风阀也可以与第一风道、第二风道之间形成配合，促进了匀胶显影单元的泄压，避免了匀胶显影单元泄压不及时而造成匀胶显影机内部气压过高的问题。
[0011]进一步的，在本专利技术中，排风系统还包括：第一双支路风道，第一双支路风道设于第一风道的第一进气口外；和/或第二双支路风道，第二双支路风道设于第二风道的第一进气口外。
[0012]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：双支路风道的设置可与匀胶显影机中如显影液喷嘴等结构形成避让，从而避免了匀胶显影机运行时，排风系统与匀胶显影机中其他结构之间的干扰；且相较于单进气口设计，双支路风道增加了进气口，提高了排气以及换气效率，同时也保障了排风系统的气压稳定。
[0013]进一步的，在本专利技术中，排风系统还包括：第一风道风栅，第一风道风栅设于第一风道；和/或第二风道风栅，第二风道风栅设于第二风道。
[0014]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一风道风栅以及第二风道风栅是匀胶显影机风道口的补充进气装置，用于平衡排风系统与匀胶显影机内部的风压；第一风道风栅以及第二风道风栅还能协助排风系统完成对匀胶显影单元的泄压，同时采用栅格状的风栅对排风系统的均匀进气起到了辅助作用。
[0015]进一步的，在本专利技术中，手动风阀包括：风挡连杆、风挡滚轮与风挡，风挡与风挡滚轮连接，用于通过风挡连杆翻转，遮挡或避让风道；手动阀，手动阀设置于风挡滚轮的任意一端，用于驱动风挡翻转。
[0016]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：手动风阀可以控制匀胶显影机内部环境的初始风压值，使排风系统的启动时的风压更均匀，且手动风阀可以根据匀胶显影单元内的压差表进行人为控制。
[0017]进一步的，在本专利技术中，手动风阀包括：刻度盘，刻度盘上设有刻度盘凹槽，手动阀由刻度盘凹槽限制为顺时针或逆时针拨动。
[0018]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：刻度盘可以使调节过程更准确，同时也提高了手动风阀调节精度。
[0019]进一步的，在本专利技术中还提供了一种排风系统的控制方法，控制方法用于控制上述实施例中的排风系统，控制方法包括：在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者开启的情况下，保持公用风道排气口开启；根据匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位的各自启停状态，控制第一风道气控风阀和第二风道气控风阀的开闭；获取第一风道在排气状态下的第一风压，并获取第二风道在排气状态下的第二风压；在匀胶显影单元第一工位与匀胶显影单元第二工位同时开启时根据第一风压和所述第二风压之间的差异程度，控制手动风阀的开闭。
[0020]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风系统的控制方法适配匀胶显影单元不同的工作模式，在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任
至少一者开启的情况下，排风稳压调节机制可以通过关闭其余风道风阀的方式完成对匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者排风稳压的任务，从而降低了匀胶显影机整体系统的负荷，进一步的也节约了资源；通过控制手动风阀的开闭，实现了人为控制环境风压的目的，保证了环境气压的稳定，提高了匀胶显影单元的排风效率。
[0021]进一步的，在本专利技术中，排风系统还包括公用风道气控风阀：在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位同时开启的情况下，关闭公用风道气控风阀。
[0022]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风系统也能够实现对公用风道的风压稳定的控制，由于公用风道受匀胶显影机内部风压的影响，而在匀胶显影单元多个工位同时运作时关闭公用风道气控风阀，可以最大限度的降低匀胶显影机其他组件对公用风道的影响。
[0023]综上所述，采用本专利技术的技术方案后，能够达到如下技术效果：i）排风系统在对多单元进行排风作业的时候，需要使用多风道进行排风作业，第一风道针对匀胶显影单元第一工位进行排风调节；第二风道本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于匀胶显影单元的排风系统，其特征在于，所述匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，所述排风系统（10）包括：公用风道（100），所述公用风道（100）设有公用风道排气口（101）；与所述匀胶显影单元第一工位适配的第一风道（203），所述第一风道（203）设有第一进气口，并与所述公用风道（100）连通；与所述匀胶显影单元第二工位适配的第二风道（204），所述第二风道（204）设有第二进气口，并与所述公用风道（100）连通；第一风道气控风阀（205），所述第一风道气控风阀（205）设于所述第一风道（203），并用于控制所述第一风道（203）的开闭；第二风道气控风阀（206），所述第二风道气控风阀（206）设于所述第二风道（204），并用于控制所述第二风道（204）的开闭；手动风阀（302），所述手动风阀（302）用于调节风道中的风速，所述手动风阀（302）设于所述第一风道（203）和所述第二风道（204）中的任一者。2.根据权利要求1所述的排风系统，其特征在于，所述第一风道（203）和所述第二风道（204）并排布置，所述第二风道（204）的设置位置位于所述第一风道（203）和所述公用风道排气口（101）之间，所述手动风阀（302）设于所述第二风道（204）。3.根据权利要求1所述的排风系统，其特征在于，所述排风系统还包括：公用风道气控风阀（301），所述公用风道气控风阀（301）设于所述公用风道（100）。4.根据权利要求1所述的排风系统，其特征在于，所述排风系统还包括：第一双支路风道（401），所述第一双支路风道（401）设于所述第一风道（203）的进气口外；和/或 第二双支路风道（402），所述第二双支路风道（402）设于所述第二风道（202）的进气口外。5.根据权利要求1所述的排风系统，其特征在于，所述排风系统还包括：第一风道风...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜岩松，耿克涛，魏澎涛，王石磊，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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