本实用新型专利技术公开了一种真空设备用穿舱支撑隔振装置，包括：第一支撑柱(10)，金属焊接波纹管(20)以及第二支撑柱(30)；其中，第一支撑柱(10)的一端用于支撑真空设备(40)内的试验设备，另一端穿过金属焊接波纹管(20)固定在第二支撑柱(30)的一个端面(31)上；金属焊接波纹管(20)的一端焊接固定在所述一个端面(31)上，并且包围第一支撑柱(10)的所述另一端；金属焊接波纹管(20)的另一端用于焊接固定在真空设备(40)的腔体上。本装置能够实现穿舱支撑隔振的作用，隔振效果好，适用于各大中小型的真空设备。设备。设备。
【技术实现步骤摘要】
一种真空设备用穿舱支撑隔振装置
[0001]本技术涉及真空设备
，特别是涉及真空设备用穿舱支撑隔振装置。
技术介绍
[0002]真空设备的真空腔体通常安装在地面上，同时真空腔体上会安装有真空抽气设备，这些因素导致了真空腔体会不可避免的产生震动，当真空设备内有需避免震动的试验设备时，如果试验设备直接与真空腔体上的支撑装置安装，则试验设备会随着真空腔体的震动而产生震动，从而导致试验数据的精度低或不准确。
[0003]目前真空腔体内的试验设备支撑一般采用的方法：一是直接将与真空腔体焊接的支撑，与试验设备之间刚性连接，此方法无法避免试验设备震动；二是将与支撑与试验设备之间增加橡胶减震垫，此方法减震效果有限，而且橡胶减震垫不利于真空度的获取，且有污染真空室洁净度的风险；三是将真空腔体整体放在减震台上，此方法造价相对较高，且使用在大中型真空设备上造价较高。
[0004]因此，需要新的技术设备，以至少部分解决现有技术中存在的不足。
技术实现思路
[0005]由此，本技术旨在提供一种真空设备用穿舱支撑隔振装置，在真空设备的真空腔体内的试验设备需避免产生震动时，可通过此装置将试验设备与真空腔体隔开，并支撑试验设备，有效保证试验设备不会因真空腔体震动而随之震动，同时保证真空腔体的真空密封性能。
[0006]根据本技术的一方面，提供一种真空设备用穿舱支撑隔振装置，其特征在于，包括：第一支撑柱(10)，金属焊接波纹管(20)以及第二支撑柱(30)；
[0007]其中，第一支撑柱(10)的一端用于支撑真空设备(40)内的试验设备，另一端穿过金属焊接波纹管(20)固定在第二支撑柱(30)的一个端面(31)上；
[0008]金属焊接波纹管(20)的一端焊接固定在所述一个端面(31)上，并且包围第一支撑柱(10)的所述另一端；金属焊接波纹管(20)的另一端用于焊接固定在真空设备(40)的腔体上。
[0009]根据本技术的实施方案，其中所述真空设备用穿舱支撑隔振装置还包括隔振装置(50)，所述第二支撑柱(30)的另一个端面固定在该隔振装置(50)上。
[0010]根据本技术的实施方案，其中第一支撑柱(10)通过焊接或者螺杆固定在第二支撑柱(30)上。
[0011]根据本技术的实施方案，其中第一支撑柱(10)和第二支撑柱(30)为空心柱体。
[0012]根据本技术的实施方案，其中隔振装置(50)为气浮隔振平台或其他隔振台，如钢弹簧隔振台。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]金属焊接波纹管具有变形量大、真空密封性能好、柔韧性好，易吸收各种运动变形和循环载荷等优点，可有效避免真空腔体内的试验设备因真空腔体的震动而产生震动，保证了穿舱支撑隔振装置的隔振性能。
[0015]根据下文结合附图对本技术具体实施示例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。
[0016]附图的简要说明
[0017]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施示例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。本技术的目标及特征考虑到如下结合附图的描述将更加明显，附图中：
[0018]图1为根据技术实施方案的一种真空设备用穿舱支撑隔振装置结构示意图。
[0019]图中：10
‑
第一支撑柱，20
‑
金属焊接波纹管，30
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第二支撑柱，31
‑
一个端面；32
‑
另一个端面，40
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真空设备，50
‑
隔振装置。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明，但并不用来限制本技术的保护范围。
[0021]图1为根据技术实施方案的真空设备用穿舱支撑隔振装置结构示意图，如图所示，实施方案的穿舱支撑隔振装置可以包括：第一支撑柱10，金属焊接波纹管20、第二支撑柱30以及隔振装置50。
[0022]第一支撑柱10穿过真空设备40(部分示出，在设备的腔体上开设有通孔)，其一端在真空设备的腔体内，用于支撑试验设备(未示出)；另一端穿过金属焊接波纹管20与第二支撑柱30连接固定。例如，第一支撑柱10的另一端可以通过焊接或者螺杆而固定在第二支撑柱30的一个端面31上。第一支撑柱例如可以是金属中空柱，以减轻质量。
[0023]金属焊接波纹管20的一端焊接固定在第二支撑柱30的一个端面31上，并且包围第一支撑柱10的所述另一端；金属焊接波纹管20的另一端焊接固定在真空设备40的腔体上，由此通过金属焊接波纹管实现了与真空设备的一体化真空密封。
[0024]如图所示，第二支撑柱30在真空设备的腔体外，一端与第一支撑柱10及金属焊接波纹管20分别固定，另一个端面32与隔振装置(例如钢弹簧隔振台)固定。第二支撑柱30也可以是中空金属柱，以减轻质量增加隔振性能。
[0025]利用金属焊接波纹管将支撑试验设备用第一支撑柱10与真空设备40隔开，第一支撑柱10、金属焊接波纹管20利用第二支撑柱30安装在隔振装置50上。金属焊接波纹管20具有变形量大、真空密封性能好、柔韧性好，易吸收各种运动变形和循环载荷等优点，可有效避免真空腔体内的试验设备因真空腔体的震动而产生震动，保证了穿舱支撑隔振装置的隔振性能。
[0026]以上通过具体的实施例对本技术进行了说明，但本技术并不限于这些具体的实施例。本领域技术人员应该明白，还可以对本技术做各种修改、等同替换、变化等等，这些变换只要未背离本技术的精神，都应在本技术的保护范围之内。此外，以上多处所述的“一个实施例”表示不同的实施例，当然也可以将其全部或部分结合在一个
实施例中。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空设备用穿舱支撑隔振装置，其特征在于，包括：第一支撑柱(10)，金属焊接波纹管(20)以及第二支撑柱(30)；其中，第一支撑柱(10)的一端用于支撑真空设备(40)内的试验设备，另一端穿过金属焊接波纹管(20)固定在第二支撑柱(30)的一个端面(31)上；金属焊接波纹管(20)的一端焊接固定在所述一个端面(31)上，并且包围第一支撑柱(10)的所述另一端；金属焊接波纹管(20)的另一端用于焊接固定在真空设备(40)的腔体上。2.根据权利要求1所述的一种真空设备用穿舱支撑隔振...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙有虎，鲜伟，
申请(专利权)人：川北真空科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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