脂润滑分子泵轴承保护结构、其制造方法及脂润滑分子泵技术

本发明专利技术提供一种脂润滑分子泵轴承保护结构、其制造方法及脂润滑分子泵，所述脂润滑分子泵包括轴承、电机和主轴，所述保护结构包括底座，所述底座内部具有空腔，其所述底座上开设有：第一安装孔、第二安装孔、第三安装孔和吹扫孔，第一安装孔适于安装所述轴承，第二安装孔适于所述主轴穿过并与所述主轴之间形成空隙，所述第三安装孔适于安装所述电机，使主轴通过空腔与电机的转子连接，吹扫孔与所述空腔连通，适于向所述空腔内吹入吹扫气体。吹扫气流通过空腔和第二安装孔与主轴的空隙吹向轴承，将粉尘或腐蚀性气体吹离轴承，从而对轴承进行保护，避免粉尘或腐蚀性气体侵蚀轴承，保证轴承运作的稳定性。证轴承运作的稳定性。证轴承运作的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
脂润滑分子泵轴承保护结构、其制造方法及脂润滑分子泵


[0001]本专利技术涉及脂润滑分子泵的
，具体涉及一种脂润滑分子泵轴承保护结构、其制造方法及脂润滑分子泵。

技术介绍

[0002]分子泵是一种常用的真空获得设备，其内部成型有腔室，在腔室中安装有高转速电机，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并使之获得定向速度至排气口排出，近年来分子泵大批量的应用于工业领域。
[0003]脂润滑分子泵作为一种高速旋转的动量传输型真空泵，其稳定高速的旋转运作取决于轴承的稳定性，据统计脂润滑分子泵本身的故障中大约有60％的故障都与分子泵轴承有关，因此轴承的可靠性也是关系分子泵可靠性的关键。在分子泵运行过程中，若腔室内被抽出的介质当中含有腐蚀性的气体或者工艺过程中会产生粉尘，轴承的寿命将会受到极大折损，导致分子泵运转噪音大，运行参数异常，运行故障甚至于碎泵。
[0004]目前，仅能通过使用耐腐蚀润滑脂轴承来改善腐蚀性气体对轴承的影响，但仍然无法改善粉尘问题，而且耐腐蚀润滑脂的高精密轴承还会对分子泵动平衡生产工艺产生影响。另外，若采用吹扫装置对粉尘进行吹扫，需要依赖昂贵的高精度流量计和流量阀等多个仪器组合，不仅不便于分子泵的运作，还会提高分子泵的造价成本。

技术实现思路

[0005]因此，为了减少进入轴承内的粉尘，对轴承以及分子泵进行保护，本专利技术提供脂润滑分子泵轴承保护结构、其制造方法及脂润滑分子泵。
[0006]第一方面，本专利技术提供一种脂润滑分子泵轴承保护结构，所述脂润滑分子泵包括轴承、电机和主轴，所述保护结构包括底座，所述底座内部具有空腔，其所述底座上开设有：
[0007]第一安装孔，适于安装所述轴承；
[0008]第二安装孔，将所述第一安装孔与所述空腔连通，并与所述第一安装孔同轴设置，适于所述主轴穿过并与所述主轴之间形成空隙；
[0009]第三安装孔，设置在所述空腔远离所述第一安装孔的一侧，并与所述第一安装孔同轴设置，所述第三安装孔适于安装所述电机，且所述第三安装孔与所述空腔连通，使主轴通过空腔与电机的转子连接；
[0010]吹扫孔，与所述空腔连通，适于向所述空腔内吹入吹扫气体。
[0011]可选地，所述吹扫孔包括：
[0012]直孔部；
[0013]收缩孔部，连接在所述直孔部远离所述空腔的一侧，所述收缩孔部位为随着远离所述直孔部直径逐渐增大的锥孔，在所述底座的外壁上形成直径大于所述直孔部直径的进气口；
[0014]敞孔部，连接在所述直孔部靠近所述空腔的一侧，所述敞孔部也为随着远离所述
直孔部直径逐渐增大的锥孔，在所述空腔内形成直径大于所述直孔部的出气口。
[0015]可选地，所述收缩孔部的锥度大于所述敞孔部的锥度，所述收缩孔部的长度小于所述敞孔部的长度。
[0016]可选地，所述吹扫孔还包括预设孔部，所述预设孔部为内径与所述进气口直径相同的直孔，其连接在所述敞孔部远离所述直孔部的一侧并与所述外界连通。
[0017]可选地，所述第一安装孔的孔底设有向所述第二安装孔一侧凹陷形成的凹槽，所述凹槽与所述第一安装孔之间形成限位台阶，所述限位台阶适于抵接所述轴承的外圈。
[0018]可选地，所述吹扫孔靠近空腔的一端向所述第三安装孔的方向倾斜设置；和/或，所述吹扫孔的轴线在垂直于所述第一安装孔轴线的平面上的投影线，与所述第一安装孔的径向方向存在预设夹角。
[0019]第二方面，本专利技术提供一种脂润滑分子泵轴承保护结构的制造方法，其包括以下步骤：
[0020]在底座外壁上预设与所需开设的吹扫孔轴线垂直的钻孔台；
[0021]基于所需开设的吹扫孔轴线，在所述钻孔台的端面设置钻孔点；
[0022]基于所述钻孔点，由所述钻孔台的端面向所述空腔一侧钻出与空腔连通且内径与所述直孔部内径相同的定位孔；
[0023]在所述钻孔台的端面对所述定位孔进行扩孔，形成所述预设孔部；
[0024]在所述预设孔部的孔底对所述定位孔进行扩孔，形成所述收缩孔部；
[0025]对所述定位孔靠近空腔的一端进行扩孔，形成所述敞孔部，同时在所述敞孔部和所述收缩孔部之间形成所述直孔部。
[0026]可选地，预设的所述钻孔台为直径与所需开设吹扫孔轴线重合的圆台，所述钻孔点为所述钻孔台端面的圆心。
[0027]可选地，所述对定位孔靠近空腔的一端进行扩孔形成所述敞孔部的方法包括：利用多个锥度相同、长度不同的锥形扩孔器，由小至大依次通过空腔对所述定位孔进行分段多次扩孔，扩孔到预设深度后形成所述敞孔部。
[0028]第三方面，本专利技术还提供一种脂润滑分子泵，其包括上述任意一种实施方式中的轴承保护结构。
[0029]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0030]1.本专利技术提供的轴承保护结构，利用底座上开设的吹扫孔，在分子泵运作过程中，利用吹扫孔向空腔内送入吹扫气体，吹扫气体经过第二安装孔和主轴之间的空隙吹向轴承一侧，将粉尘或腐蚀性气体吹离轴承，避免对轴承的运作产生影响，同时吹扫气体还能够对轴承进行冷却，从而对轴承进行保护，使轴承的运作平稳，提高分子泵运作的稳定性。
[0031]2.本专利技术提供的轴承保护结构，吹扫孔由收缩孔部、直孔部和敞孔部组成，在文丘里管的特性下，能够有效克服空气粉尘对吹扫孔的侵蚀和堵塞，还能通过调整吹扫孔外侧的气体压强来精确控制进入吹扫孔内侧的流量。
[0032]3.本专利技术提供的分子泵轴承保护结构，倾斜设置的吹扫孔可使吹扫气流进入空气时，避免产生湍流而对底座、电机的转子等部件产生气蚀，还能够令吹扫气流呈螺旋状向轴承一侧流动，加强对轴承的吹扫效果。
[0033]4.本专利技术提供的轴承保护结构的制造方法，通过设置钻孔台的方式，可准确的在
钻孔台的端面定位吹扫孔的轴线位置；同时，通过先加工定位孔，再对定位孔进行扩孔的方式依次形成预设孔部、收缩孔部和敞孔部，一次成型率高，同轴度较好，具有开孔成本低、操作难度小的优点。
[0034]5.本专利技术提供的脂润滑分子泵，通过设置轴承保护结构，可避免粉尘或腐蚀性气体侵蚀轴承，令轴承运转的更加平稳，确保分子泵运转过程中的性能稳定，使用寿命较长。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本专利技术中轴承保护结构与电机、轴承和主轴连接关系的局部剖视图；
[0037]图2为本专利技术中轴承保护结构的吹扫孔轴线倾斜设置的局部剖视图；
[0038]图3为本专利技术中轴承保护结构制造方法的流程示意图。
[0039]附图标记说明：1、底座；11、空腔；12、第一安装孔；13、第二安装孔；14、第三安装孔；15、凹槽；2、电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脂润滑分子泵轴承保护结构，所述脂润滑分子泵包括轴承、电机(2)和主轴(3)，其特征在于，所述保护结构包括底座(1)，所述底座(1)内部具有空腔(11)，其所述底座(1)上开设有：第一安装孔(12)，适于安装所述轴承；第二安装孔(13)，将所述第一安装孔(12)与所述空腔(11)连通，并与所述第一安装孔(12)同轴设置，适于所述主轴(3)穿过并与所述主轴(3)之间形成空隙；第三安装孔(14)，设置在所述空腔(11)远离所述第一安装孔(12)的一侧，并与所述第一安装孔(12)同轴设置，所述第三安装孔(14)适于安装所述电机(2)，且所述第三安装孔(14)与所述空腔(11)连通，使主轴(3)通过空腔(11)与电机(2)的转子连接；吹扫孔(6)，与所述空腔(11)连通，适于向所述空腔(11)内吹入吹扫气体。2.根据权利要求1所述的轴承保护结构，其特征在于，所述吹扫孔(6)包括：直孔部(63)；收缩孔部(62)，连接在所述直孔部(63)远离所述空腔(11)的一侧，所述收缩孔部(62)位为随着远离所述直孔部(63)直径逐渐增大的锥孔，在所述底座(1)的外壁上形成直径大于所述直孔部(63)直径的进气口；敞孔部(64)，连接在所述直孔部(63)靠近所述空腔(11)的一侧，所述敞孔部(64)也为随着远离所述直孔部(63)直径逐渐增大的锥孔，在所述空腔(11)内形成直径大于所述直孔部(63)的出气口。3.根据权利要求2所述的轴承保护结构，其特征在于，所述收缩孔部(62)的锥度大于所述敞孔部(64)的锥度，收缩孔部(62)的长度小于敞孔部(64)的长度。4.根据权利要求3所述的轴承保护结构，其特征在于，所述吹扫孔(6)还包括预设孔部(61)，所述预设孔部(61)为内径与所述进气口直径相同的直孔，其连接在所述敞孔部(64)远离所述直孔部(63)的一侧并与所述外界连通。5.根据权利要求1所述的轴承保护结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：何跃，王轶群，胡艳娟，袁帅，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：