制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，冷凝管组件包括缓冲组件，缓冲组件包括中心连接条以及多个边缘缓冲板，中心连接条沿第一冷凝介质流通方向活动设置在冷凝管内，多个边缘缓冲板间隔设置在中心连接条两侧。当第一冷凝介质在水泵作用下，由制冷水箱流出，流经需降温的热源时，第一冷凝介质将与设置在冷凝管内的边缘缓冲板相接触，如此，以通过边缘缓冲板减缓第一冷凝介质的流速，增加第一冷凝介质与热源的热交换时间，提高冷凝介质与热源间的热交换效率，进而提高制冷装置的制冷效果。冷装置的制冷效果。冷装置的制冷效果。

【技术实现步骤摘要】
制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置


[0001]本技术涉及微波应用
，特别涉及一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置。

技术介绍

[0002]目前人工合成金刚石的方法有高温高压法(HTHP)，直流电弧等离子体喷射法(DCAPJ)，热丝化学气相沉积法(HFCVD)，微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)，其中MPCVD由于其成品质量好，生产污染少等特点，常作为制备高品质金刚石膜的首选方法。
[0003]现有的微波等离子体化学气相沉积装置在制备金刚石膜时，会不可避免的产生大量的热量，迫使设备整体温度升高，过高的温度会大大影响金刚石的成品质量，然而，现有技术中，并没有一种制冷装置能很好的解决该问题。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提供一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，旨在提供一种可对微波等离子体化学气相沉积装置实现充分散热的制冷装置。
[0005]为实现上述目的，本技术提出的制冷装置，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，所述制冷水箱具有进水口和出水口，所述冷凝管组件包括冷凝管，具有进水端和出水端，所述冷凝管的进水端与所述制冷水箱的出水口相连，所述出水端与所述制冷水箱的进水口相连，以在所述制冷水箱与所述冷凝管组件之间形成流通回路，所述流通回路内流通有第一冷凝介质，所述水泵设置在所述流通回路上；
[0006]其中，所述冷凝管组件包括缓冲组件，所述缓冲组件包括：
[0007]中心连接条，沿所述第一冷凝介质流通方向活动设置在所述冷凝管内；以及，
[0008]多个边缘缓冲板，间隔设置在所述中心连接条两侧。
[0009]可选地，所述中心连接条呈中空设置，形成有第一连通腔；
[0010]各所述边缘缓冲板内部形成有第二连通腔，且均与所述第一连通腔相连通；
[0011]所述第一连通腔和所述第二连通腔内，流通有第二冷凝介质。
[0012]可选地，所述第二冷凝介质包括氨气。
[0013]可选地，所述中心连接条与多个所述边缘缓冲板一体成型设置。
[0014]可选地，所述边缘缓冲板表面设置有通孔，沿所述第一冷凝介质流通方向上，所述通孔的横截面积逐渐减小。
[0015]可选地，所述中心连接条和/或所述边缘缓冲板材质包括弹性橡胶。
[0016]可选地，各所述边缘缓冲板远离所述中心连接条端设置有清洁毛刷。
[0017]可选地，所述冷凝管材质包括玻璃。
[0018]可选地，所述第一冷凝介质包括水。
[0019]本技术还提出一种微波等离子体化学气相沉积装置，所述微波等离子体化学气相沉积装置包括制冷装置，所述制冷装置包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，所述制冷
水箱具有进水口和出水口，所述冷凝管组件包括冷凝管，具有进水端和出水端，所述冷凝管的进水端与所述制冷水箱的出水口相连，所述出水端与所述制冷水箱的进水口相连，以在所述制冷水箱与所述冷凝管组件之间形成流通回路，所述流通回路内流通有第一冷凝介质，所述水泵设置在所述流通回路上；
[0020]其中，所述冷凝管组件包括缓冲组件，所述缓冲组件包括：
[0021]中心连接条，沿所述第一冷凝介质流通方向活动设置在所述冷凝管内；以及，
[0022]多个边缘缓冲板，间隔设置在所述中心连接条两侧。
[0023]本技术技术方案中，所述微波等离子体化学气相沉积装置需降温的热源表面(后文称热源)设置有冷凝管，所述冷凝管内设置有缓冲组件，所述缓冲组件包括沿所述第一冷凝介质流通方向活动设置在所述冷凝管内的中心连接条，以及间隔设置在所述中心连接条两侧的多个边缘缓冲板，当所述第一冷凝介质在水泵作用下，由所述制冷水箱流出，流经需降温的热源时，所述第一冷凝介质将与设置在所述冷凝管内的边缘缓冲板相接触，如此，以通过所述边缘缓冲板减缓所述第一冷凝介质的流速，增加所述第一冷凝介质与热源的热交换时间，提高所述冷凝介质与所述热源间的热交换效率，进而提高所述制冷装置的制冷效果。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0025]图1为本技术所提供的冷凝管组件的一实施例的剖视图；
[0026]图2为图1中边缘缓冲板的剖面图。
[0027]附图标号说明：
[0028]标号名称标号名称1冷凝管组件122边缘缓冲板11冷凝管1221第二连通腔12缓冲组件1222通孔121中心连接条123清洁毛刷1211第一连通腔
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[0029]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如
果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0032]另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0033]目前人工合成金刚石的方法有高温高压法，直流电弧等离子体喷射法，热丝化学气相沉积法，微波等离子体化学气相沉积法，其中由于其成品质量好，生产污染少等特点，常作为制备高品质金刚石膜的首选方法。
[0034]现有的微波等离子体化学气相沉积装置在制备金刚石膜时，会不可避免的产生大量的热量，迫使设备整体温度升高，过高的温度会大大影响金刚石的成品质量，然而，现有技术中，并没有一种制冷装置能很好的解决该问题。
[0035]为解决上述问题，本技术提出一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，旨在提供一种可对微波等离子体化学气相沉积装置实现充分散热的制冷装置，其中，图1和图2为本技术所提供的冷凝管组件的一实施例的剖视图。
[0036]请参照图1，所述制冷装置包括水泵(图中未标注出)、制冷水箱(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制冷装置，用于微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，所述制冷水箱具有进水口和出水口，所述冷凝管组件包括冷凝管，具有进水端和出水端，所述冷凝管的进水端与所述制冷水箱的出水口相连，所述出水端与所述制冷水箱的进水口相连，以在所述制冷水箱与所述冷凝管组件之间形成流通回路，所述流通回路内流通有第一冷凝介质，所述水泵设置在所述流通回路上；其中，所述冷凝管组件包括缓冲组件，所述缓冲组件包括：中心连接条，沿所述第一冷凝介质流通方向活动设置在所述冷凝管内；以及，多个边缘缓冲板，间隔设置在所述中心连接条两侧。2.如权利要求1所述的制冷装置，其特征在于，所述中心连接条呈中空设置，形成有第一连通腔；各所述边缘缓冲板内部形成有第二连通腔，且均与所述第一连通腔相连通；所述第一连通腔和所述第二连通腔内，流通有第二冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，黄永镇，郭蕾，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：