摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机技术方案

本实用新型专利技术涉及线切割技术领域，具体涉及一种摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机。本申请旨在解决切割过程中待切割件内外温差过大的问题。为此目的，本申请的摆动喷淋机构包括：滑板箱；摆动装置，摆动装置可摆动地设置于滑板箱，摆动装置的底部能够安装待切割件；喷淋装置，喷淋装置安装于摆动装置，并且喷淋装置用于向待切割件喷淋切割液。通过将喷淋装置设置在摆动装置上，使得喷淋装置喷出的切割液能够喷洒到待切割件的上部，进而提高切割液在待切割件的不同位置的带液量，降低待切割件的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件的整体切割质量，提高待切割件的切割良率。提高待切割件的切割良率。提高待切割件的切割良率。

【技术实现步骤摘要】
摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机


[0001]本技术涉及线切割
，具体涉及一种摆动喷淋机构、切割液系统及线切割机。

技术介绍

[0002]目前，线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于半导体工件切割生产中。以金刚线切割高硬脆材料为例，金刚线在对待切割件进行切片时，金刚线高速运动并在线切割机的切割主辊带动下在待切割件表面高速往复磨削，将待切割件切削加工为切片。
[0003]待切割件在切割时会产生大量热，由此便需要对其进行冷却降温。现有的线切割机上设置有喷淋机构，通过喷洒切割液的方式对待切割件降温，清洁切割下来的粉末，从而提高切割良率。目前，喷淋机构都固定设置在待切割件的侧面，喷淋时只能对金刚线和待切割件的下部表面进行冷却，而切缝内部和待切割件上部则无法有效冷却，容易导致待切割件内外温差过大，产生热变形，严重影响切割质量。
[0004]相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决切割过程中待切割件内外温差过大的问题，本申请提供了一种摆动喷淋机构，包括：
[0006]滑板箱；
[0007]摆动装置，所述摆动装置可摆动地设置于所述滑板箱，所述摆动装置的底部能够安装待切割件；
[0008]喷淋装置，所述喷淋装置安装于所述摆动装置，并且所述喷淋装置用于向所述待切割件喷淋切割液。
[0009]上述技术方案，通过将喷淋装置设置在摆动装置上，使得喷淋装置喷出的切割液能够喷洒到待切割件的上部，切割液沿着待切割件由上至下流动，使得待切割件的上半部分覆盖切割液，进而提高线切割过程中切割液在待切割件的不同位置的带液量，并可以通过切割液来调节待切割件的内外温差，减小切片的热变形，提高待切割件的整体切割质量，提高待切割件的切割良率。另外，将喷淋装置设置在摆动装置上，使得摆动装置在摆动的同时，喷淋装置也能同步摆动，实现喷淋效果稳定。
[0010]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述摆动装置包括摆动上板和摆动下板，所述摆动下板可摆动地连接于所述摆动上板，所述喷淋装置连接在所述摆动下板上。
[0011]上述技术方案，通过将喷淋装置连接在摆动下板上，可以在摆动下板相对于摆动上板摆动时，实现喷淋装置的随摆。
[0012]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置固定连接于所述摆动下板的底面或外周面。
[0013]上述技术方案，通过喷淋装置固定在摆动下板的底面或外周面，安装方式简单，成本低。
[0014]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述摆动喷淋机构还包括输送部，所述输送部设置于所述滑板箱上，所述喷淋装置通过所述输送部与切割液源接通。
[0015]上述技术方案，通过通过在滑板箱上设置输送部，可以在实现向喷淋装置输送切割液的同时，避免供液管路布置杂乱以及与其他机构相干涉，提高布置合理性，降低故障率。
[0016]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述输送部包括第一固定块，所述第一固定块固定连接于所述滑板箱上，且所述第一固定块上设置有彼此连通的第一进口和第一出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述喷淋装置连通。
[0017]上述技术方案，通过设置第一固定块，方便切割液管路的固定与导向，且改造成本低。
[0018]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述输送部还包括第二固定块，所述第二固定块连接于所述滑板箱上，且所述第二固定块上设置有彼此连通的第二进口和第二出口，所述二进口与所述第一出口连通，所述第二出口与所述喷淋装置连通。
[0019]上述技术方案，通过设置第二固定块，可以有效实现第一固定块与第二固定块之间的管路固定，以及第二固定块与喷淋装置之间的管路导向，提高管路连接稳固性。
[0020]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置至少设置为两个。
[0021]上述技术方案，通过设置两个喷淋装置，可以实现两个喷淋装置对待切割件不同位置的喷淋，提高喷淋均匀性。
[0022]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述喷淋装置沿所述待切割件的长度方向安装在所述摆动装置的底部，并且/或者
[0023]所述喷淋装置分别位于所述待切割件的两侧。
[0024]上述技术方案，通过将喷淋装置安装在摆动装置的底部，且喷淋装置沿待切割件的长度方向设置，能够提高待切割件的整体冷却效果。通过将两个喷淋装置设置在待切割件的两侧，使得喷淋装置能够将切割液相对地喷洒在待切割件的两侧上部，利于切割液将待切割件包裹，提高待切割件的冷却效果。
[0025]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块包括一个所述第一进口和两个所述第一出口，所述第二固定块设置有两个，所述第一进口与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通。
[0026]上述技术方案，通过第一固定块设置一个第一进口和两个第一出口，方便切割液的引入，简化引入管路的设置数量，同时方便对两个喷淋装置的切割液进行分流。
[0027]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块上开设有通孔，所述通孔的两端封堵，所述第一进口和所述第一出口同时与所述通孔连通。
[0028]上述技术方案，通过开设通孔并将通孔两端封堵，方便对第一固定块的加工，降低加工成本。
[0029]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第一固定块包括彼此连接的第一结构段和第二结构段，所述第二结构段的端面固定连接于所述滑板箱的顶部，所述第一结构段向远离所述滑板箱的方向延伸，所述通孔开设于所述第一结构段，所述第一进口开设于
所述第一结构段的端面，所述第一出口开设于所述第一结构段的下侧面。
[0030]上述技术方案，第二结构段的端面固定连接在滑板箱的顶面边缘，方便第一固定块的固定。第一进口开设于第一结构段的端面，方便第一进口与切割液源的管路连接。第一出口开设于第一结构段的下侧面，方便第一出口向下引管与第二固定块连接。
[0031]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第二固定块上开设有盲孔，所述盲孔的一端封堵，所述第二进口和所述第二出口同时与所述盲孔连通。
[0032]上述技术方案，通过在第二固定块上开设盲孔，且盲孔一端封堵，方便对第二固定块的加工，降低加工成本。
[0033]在上述摆动喷淋机构的优选技术方案中，所述第二固定块包括彼此连接的第三结构段和第四结构段，所述第三结构段的下侧面固定连接于所述滑板箱的底框上边缘，所述第四结构段沿所述滑板箱的地矿外边缘向下延伸，所述盲孔开设于所述第四结构段的外侧面上部，所述第二进口开设于所述第三结构段的上侧面，所述第二出口开设于所述第四结构段的端面。
[0034]上述技术方案，通过第三结构段下侧面固定连接在滑板箱的底框上边缘，方便第二固定块的固定连接。第二进口开设在第三结构段的上侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种摆动喷淋机构，其特征在于，包括：滑板箱；摆动装置，所述摆动装置可摆动地设置于所述滑板箱，所述摆动装置的底部能够安装待切割件；喷淋装置，所述喷淋装置安装于所述摆动装置，并且所述喷淋装置用于向所述待切割件喷淋切割液。2.根据权利要求1所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述摆动装置包括摆动上板和摆动下板，所述摆动下板可摆动地连接于所述摆动上板，所述喷淋装置连接在所述摆动下板上。3.根据权利要求2所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置固定连接于所述摆动下板的底面或外周面。4.根据权利要求1所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述摆动喷淋机构还包括输送部，所述输送部设置于所述滑板箱上，所述喷淋装置通过所述输送部与切割液源接通。5.根据权利要求4所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述输送部包括第一固定块，所述第一固定块固定连接于所述滑板箱上，且所述第一固定块上设置有彼此连通的第一进口和第一出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述喷淋装置连通。6.根据权利要求5所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述输送部还包括第二固定块，所述第二固定块连接于所述滑板箱上，且所述第二固定块上设置有彼此连通的第二进口和第二出口，所述二进口与所述第一出口连通，所述第二出口与所述喷淋装置连通。7.根据权利要求5所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置至少设置为两个。8.根据权利要求7所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述喷淋装置沿所述待切割件的长度方向安装在所述摆动装置的底部，并且/或者所述喷淋装置分别位于所述待切割件的两侧。9.根据权利要求7所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块包括一个所述第一进口和两个所述第一出口，所述第二固定块设置有两个，所述第一进口与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通。10.根据权利要求9所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块上开设有通孔，所述通孔的两端封堵，所述第一进口和所述第一出口同时与所述通孔连通。11.根据权利要求10所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块包括彼此连接的第一结构段和第二结构段，所述第二结构段的端面固定连接于所述滑板箱的顶部，所述第一结构段向远离所述滑板箱的方向延伸，所述通孔开设于所述第一结构段，所述第一进口开设于所述第一结构段的端面，所述第一出口开设于所述第一结构段的下侧面。12.根据权利要求5所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第二固定块上开设有盲孔，所述盲孔的一端封堵，所述第二进口和所述第二出口同时与所述盲孔连通。13.根据权利要求12所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第二固定块包括彼此连接的第三结构段和第四结构段，所述第三结构段的下侧面固定连接于所述滑板箱的底框上边缘，所述第四结构段沿所述滑板箱的地矿外边缘向下延伸，所述盲孔开设于所述第四结构段的外侧面上部，所述第二进口开设于所述第三结构段的上侧面，所述第二出口开设于所
述第四结构段的端面。14.根据权利要求7所述的摆动喷淋机构，其特征在于，所述第一固定块和所述第二固定块分别设置有两个，两个所述第一进口同时与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通；或者所述第一固定块包括一个所述第一进口和一个所述第一出口，所述第二固定块包括一个所述第二进口和两个所述第二出口，所述第一进口与所述切割液源连通，所述第一出口与所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋装置连通；或者所述第一固定块设置有两个，所述第二固定块包括两个所述第二进口和两个所述第二出口，两个所述第一进口同时与所述切割液源连通，每个所述第一出口与一个所述第二进口连通，每个所述第二出口与一个所述喷淋...

【专利技术属性】
技术研发人员：于云飞，张云涛，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：