本实用新型专利技术涉及线切割机技术领域，具体提供一种喷淋装置、切割液系统及线切割机，本申请旨在解决如何使得喷淋装置的切割流量满足不同尺寸的待切割材料的冷却要求的问题。为此目的，本申请喷淋装置包括：喷淋管、导流板和调流板，喷淋管两端密封，喷淋管上设置有进液口和喷淋孔；导流板设置在喷淋管的下方，且向远离喷淋管的一侧延伸，从而引导喷淋孔喷出的切割液流出；调流板设置在导流板的上方，用于调整调流板与导流板之间的流通口的大小，使得喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整流通口的大小，进而改变切割液的流量，以满足不同尺寸的待切割材料的要求，提高切割材料的切割质量和切割效率。量和切割效率。量和切割效率。
【技术实现步骤摘要】
喷淋装置、切割液系统及线切割机
[0001]本技术涉及电器设备
，具体提供一种喷淋装置、切割液系统及线切割机。
技术介绍
[0002]目前，线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于半导体工件切割生产中。以金刚线线切割硅棒为例，金刚线在对硅棒切片时，金刚线高速运动并在线切割机的切割主辊带动下在硅棒表面高速往复磨削，将硅棒切削加工为硅片。但是切割过程中由于金刚线与硅棒之间的摩擦会产生高温和硅粉，使得硅片线痕和TTV(Total Thickness Variation，硅片厚度变化量)占比升高，硅片的切割良率降低。
[0003]现有的线切割机，无论是金刚线切割机还是砂浆线切割机，均会设置喷淋装置，通过喷射冷却液的方式对硅棒降温，清洁切割下来的硅粉，从而增加硅片的切割良率。
[0004]但是，目前的喷淋装置的切割液流量固定，该切割液流量只适应于特定尺寸的材料，而对于其他尺寸的材料的冷却效果较差，从而导致设备的切割质量不稳定。
[0005]因此，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。
技术实现思路
[0006]为了解决现有技术中的至少一个问题，即为了解决如何实现喷淋装置的切割液流量满足不同尺寸的待切割材料的冷却要求的问题，本申请提供了一种喷淋装置，所述喷淋装置包括：喷淋管，所述喷淋管两端密封，所述喷淋管上设置有进液口和喷淋孔；导流板，所述导流板设置在所述喷淋管的下方，且向远离所述喷淋管的一侧延伸，从而引导所述喷淋孔喷出的切割液流出；调流板，所述调流板设置在所述导流板的上方，用于调整所述调流板与所述导流板之间的流通口的大小。
[0007]通过调流板设置在导流板的上方，来调整调流板与导流板之间的流通口的大小，使得喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整流通口的大小，进而改变切割液的流量，以满足不同尺寸的待切割材料的要求，提高待切割材料的切割质量和切割效率。
[0008]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述调流板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构通过紧固件连接于第一待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调流板能够沿直线方向调节。
[0009]通过在调流板上设置第一连接结构，喷淋管上设置第二连接结构，两个连接结构通过紧固件连接，使得调流板能够沿着直线方向移动改变流通口的大小，从而改变切割液流量，实现了喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整切割液的流量。
[0010]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括固定板，所述固定板设置于所述导流板的上方，所述第二连接结构设置于所述固定板。
[0011]通过在导流板的上方设置固定板，第二连接结构设置于固定板上，使得调流板能够与固定板配合改变流通口的大小，进而改变切割液流量。
[0012]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述第一连接结构为腰孔，所述第二连接结构为圆孔；或者所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为腰孔；或者所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个；或者所述第一连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个，所述第二连接结构为圆孔。
[0013]通过第一连接结构为腰孔，第二连接结构为圆孔，或者第一连接结构为圆孔，第二连接结构为腰孔，或者第一连接结构为圆孔，第二连接结构为定位孔，且定位孔设置多个，再或者第一连接结构为定位孔，且定位孔设置多个，第二连接结构为圆孔，能够调整调流板位置，改变流通口的大小，使得喷淋装置能够适应不同尺寸的待切割材料，提高了不同尺寸的待切割材料的冷却效果。
[0014]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述导流板的两侧均设置有挡流板，所述挡流板沿所述导流板的顶部向上延伸，所述固定板的两侧固定于所述挡流板。
[0015]通过在导流板的两侧均设置有挡流板，挡流板沿导流板的顶部向上延伸，从而形成由挡流板与导流板组成的流通通道，避免切割液从导流板两侧流出，造成切割液浪费；通过将固定板固定于两个挡流板，使得挡流板与固定板之间能够形成流通口，供切割液流动。
[0016]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述调流板上设置有第三连接结构，所述第三连接结构通过紧固件连接于第二待安装位置设置的所述第四连接结构连接上，使得所述调流板能够相对于所述导流板枢转。
[0017]通过在调流板上设置第三连接结构，喷淋管上设置第四连接结构，第三连接结构通过紧固件连接于第二待安装位置设置的第四连接结构连接上，使得调流板能够相对于导流板枢转从而改变流通口大小，进而改变切割液流量，实现了喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整切割液的流量。
[0018]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述喷淋管内部设置有沿所述喷淋管轴向延伸的孔板。
[0019]通过在喷淋管内部设置孔板，孔板能够对进入到喷淋管内的切割液进行导流、分流，提高切割液流量的均匀性和稳定性，有利于提高了线切割过程中切割液在待切割材料的不同位置的带入量的一致性，提高了切割材料的切割质量和切割效率。
[0020]在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述喷淋管的两端通过密封构件密封，所述密封构件的内侧设置有凸台，所述孔板的两端连接于两个所述凸台上。
[0021]通过喷淋管两端由密封构件密封，孔板连接于密封构件的内侧的凸台上，增加了孔板安装的便捷性。
[0022]本技术还提供了一种切割液系统，所述切割液系统包括上述喷淋装置。
[0023]需要说明的是，该切割液系统具有前述的喷淋装置的所有技术效果，在此不再赘述。
[0024]本技术还提供了一种线切割机，所述线切割机包括上述喷淋装置，或者上述切割液系统。
[0025]需要说明的是，该线切割机具有前述的喷淋装置的所有技术效果，在此不再赘述。
附图说明
[0026]下面结合附图来描述本技术的优选实施方式，附图中：
[0027]图1是本技术一种实施例的喷淋装置的结构图；
[0028]图2是本技术一种实施例的喷淋装置的部分剖面图。
[0029]附图标记列表：
[0030]1、喷淋管；11、喷淋孔；12、进液口；13、安装板；2、调流板；21、流通口；22、腰孔；23、螺栓；3、导流板；4、挡流板；5、固定板；6、密封构件；61、凸台；7、孔板。
具体实施方式
[0031]下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然本实施方式是结合适用于线切割机进行介绍的，但是这并非旨在于限制本申请的保护范围，在不偏离本申请原理的条件下，本领域技术人员可以将本申请应用于其他应用场景。例如，本申请的喷淋装置显然还能够应用于其他类型的切割机，如适用于等离子切割机、激光切割机等。
[0032]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“内”、“底部”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置包括：喷淋管，所述喷淋管两端密封，所述喷淋管上设置有进液口和喷淋孔；导流板，所述导流板设置在所述喷淋管的下方，且向远离所述喷淋管的一侧延伸，从而引导所述喷淋孔喷出的切割液流出；调流板，所述调流板设置在所述导流板的上方，用于调整所述调流板与所述导流板之间的流通口的大小。2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述调流板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构通过紧固件连接于第一待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调流板能够沿直线方向调节。3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括固定板，所述固定板设置于所述导流板的上方，所述第二连接结构设置于所述固定板。4.根据权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一连接结构为腰孔，所述第二连接结构为圆孔；或者所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为腰孔；或者所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个；或者所述第一连接结构为定位孔，且所述定...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙承政，尹德圣，张艾贞，宫云庆，李军，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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