硼的去除方法技术

本发明专利技术提供一种抑制总有机碳浓度的上升的同时有效除去被处理水中的硼的方法。一种硼的去除方法，其特征在于，在具有还原葡糖胺基且总有机碳释放量为10μg/L以下的硼选择性离子交换树脂中，以液体空间速度SV达到60～700h

【技术实现步骤摘要】
硼的去除方法


[0001]本专利技术涉及水中的硼的去除方法。

技术介绍

[0002]近年，在半导体制造时的硅的清洗工序等中，要求硼浓度为1ng/L以下的超纯水。作为降低水中的硼浓度的方法，提出利用硼选择性离子交换树脂的方法，例如，专利文献1提出：在纯水或超纯水的制造设备内的任意位置，使预处理水与硼选择性离子交换树脂接触而去除硼的方法。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开平8
‑
84986号公报

技术实现思路

专利技术要解决的课题
[0004]但是，本专利技术人等进行了研究，结果发现：如果想要使用专利文献1等记载的硼选择性离子交换树脂来处理水中的硼，则处理水中的总有机碳(TOC(Total Organic Carbon))浓度与处理前相比容易上升。
[0005]本专利技术人等进一步进行研究，结果发现：上述总有机碳浓度的上升是由于残留于离子交换树脂中的烃类溶出等而产生的，特别是在使用具有还原葡糖胺(glucamine)基的离子交换树脂作为硼选择性离子交换树脂的情况下，残留于离子交换树脂中的未反应的还原葡糖胺溶出，容易使处理水中的总有机碳浓度上升。
[0006]在上述状况下，本专利技术的目的在于提供一种抑制总有机碳浓度的上升的同时有效除去被处理水中的硼的方法。用于解决课题的手段
[0007]本专利技术人为了实现上述目的而反复进行深入研究，结果发现：通过在特定的条件下使被处理水与具有还原葡糖胺基的特定的硼选择性离子交换树脂接触，能够解决上述技术课题，基于上述见解而完成本专利技术。
[0008]即，本专利技术提供如下方式。(1)一种硼的去除方法，其特征在于，在具有还原葡糖胺基且总有机碳释放量为10μg/L以下的硼选择性离子交换树脂中，以液体空间速度SV达到60～700h
‑1的方式通入硼含量为500μg/L以下的被处理水。(2)根据上述(1)记载的硼的去除方法，其中，上述硼选择性离子交换树脂预先与氢氧化钠水溶液接触而进行预处理。专利技术效果
[0009]根据本专利技术，能够提供在抑制总有机碳浓度的上升的同时有效除去被处理水中的硼的方法。
具体实施方式
[0010]本专利技术涉及的硼的去除方法的特征在于，在具有还原葡糖胺基且总有机碳释放量为10μg/L以下的硼选择性离子交换树脂中，以液体空间速度SV达到60～700h
‑1的方式通入硼含量为500μg/L以下的被处理水。
[0011]本专利技术中，被处理水中的硼含量为500μg/L以下，优选为100μg/L以下，更优选为50μg/L以下。在本专利技术中，作为处理对象的被处理水中的硼的含量的下限值没有特别限制，被处理水中的硼含量通常为50ng/L以上。
[0012]在本专利技术中，通过使被处理水中的硼含量为500μg/L以下，能够在抑制硼选择性离子交换树脂的穿透的同时更有效降低被处理水中的硼的含量。
[0013]应予说明，在本申请文件中，水中的硼含量是指通过Agilent Technology公司制造的ICP
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MS8900测定得到的值。
[0014]在本专利技术中，被处理水优选pH5～9，进一步优选pH6～8。在本专利技术中，作为处理对象的被处理水可以在与硼选择性离子交换树脂接触处理之前适当进行pH调节。
[0015]在本专利技术中，作为被处理水，可举出半导体制造时用于硅的清洗用途的水等。
[0016]在本专利技术中，将上述被处理水通入至具有还原葡糖胺基且总有机碳释放量为10μg/L以下的硼选择性离子交换树脂。
[0017]在本专利技术中，具有还原葡糖胺基的硼选择性离子交换树脂通过导入作为与硼容易形成螯合键的螯合生成基团(螯合基团)的还原葡糖胺基来代替离子交换树脂中的离子交换基团，能够选择性吸附硼。
[0018]在本专利技术中，硼选择性离子交换树脂只要是在树脂制基体中导入有还原葡糖胺基的具有特定的总有机碳释放量的离子交换体就没有特别限制，可采用粉末状、珠状、膜状等各种形态的树脂，也可以是凝胶型离子交换树脂或多孔型离子交换树脂中的任一种。
[0019]凝胶型离子交换树脂和多孔型离子交换树脂是基于离子交换树脂的微观结构的分类。其中，凝胶型离子交换树脂是指具有将苯乙烯和二乙烯基苯在无溶剂下聚合而得到的物质作为基体的离子交换树脂不均匀交联而成的凝胶状结构的，最经典的离子交换树脂。
[0020]另外，多孔型离子交换树脂是指将通过在聚合时使用溶剂而形成有孔径20nm～100nm左右的大孔的树脂作为基体的离子交换树脂，也包括被称为MR型的离子交换树脂。多孔型离子交换树脂即使在极性低的溶剂中也能够进入树脂内部，因此也可在非水溶液体系中使用，由于大孔不连续且缺乏均匀度，因此离子交换容量与凝胶型树脂相比低，但物理强度高，对渗透压、机械压力的耐性优异。
[0021]在本专利技术中，作为上述螯合生成基团即还原葡糖胺基结合的基体，具体优选选自交联聚苯乙烯、苯乙烯
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二乙烯基苯共聚物等苯乙烯系化合物、酚类、醛类的缩合物、交联聚丙烯酸等中的一种以上，更优选交联聚苯乙烯或苯乙烯
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二乙烯基苯共聚物。
[0022]在本专利技术中，作为螯合生成基团即还原葡糖胺基结合的硼选择性离子交换树脂，优选以苯乙烯
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二乙烯基苯共聚物为基体的MR型离子交换树脂。
[0023]在本专利技术中，作为上述螯合生成基团即还原葡糖胺基，没有特别限制，优选为N
‑
烷
基还原葡糖胺基，更优选为N
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甲基还原葡糖胺基。
[0024]在本专利技术中，具有还原葡糖胺基的硼选择性离子交换树脂的总有机碳释放量为10μg/L以下，更优选为5μg/L以下。
[0025]在本申请文件中，上述总有机碳释放量是指：对具有还原葡糖胺基的硼选择性离子交换树脂，在常温下，以液体空间速度SV50hr
‑1通入24小时总有机碳(TOC)为1μg/L以下的试验水时的流出水中的总有机碳(TOC)量。
[0026]应予说明，在本申请文件中，水中的总有机碳(TOC)浓度是指：通过Suez制造的SIEVE RS M9e测定得到的值。
[0027]在本专利技术中，通过使用具有还原葡糖胺基且总有机碳释放量在上述范围内的特定的硼选择性离子交换树脂，能够在抑制总有机碳浓度的上升的同时有效除去被处理水中的硼。
[0028]在本专利技术中，具有还原葡糖胺基的硼选择性离子交换树脂也可以预先与氢氧化钠水溶液接触而进行预处理。在本专利技术中，具有还原葡糖胺基的硼选择性离子交换树脂预先与氢氧化钠水溶液接触而进行预处理，由此能够容易提供具有期望的总有机碳释放量的离子交换树脂。
[0029]在本专利技术中，在具有还原葡糖胺基的硼选择性离子交换树脂预先与氢氧化钠水溶液接触而进行预处理的情况下，优选在以下(1)～(3)的条件下进行预处理。(1)对硼选择性离子交换树脂，以液体空间速度SV＝4hr
‑1通入3～5L/L
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硼的去除方法，其特征在于，在具有还原葡糖胺基且总有机碳释放量为10μg/L以下的硼选择性离子交换树脂中，以液体空间速度SV达到60～700h
‑1...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本浩一郎，横田治雄，
申请(专利权)人：奥加诺株式会社，
类型：发明
国别省市：