一种样品旋转系统及方法技术方案

本公开提供一种样品旋转系统及方法，样品旋转系统包括旋转装置，旋转装置包括：第一载体，与样品连接；驱动部，与第一载体连接，驱动部被设置为驱动第一载体转动，第一载体带动样品由初始位置旋转至目标位置；采集装置，采集装置被设置为采集样品的旋转状态；控制单元，控制单元与驱动部电连接，控制单元被设置为控制驱动部运转。本公开中的驱动部带动第一载体转动，第一载体带动样品旋转至目标位置，完成了样品的快速翻转，节省时间。且将样品旋转至目标位置，便于倒切工艺的进行，有效提升倒切成功率和倒切效率。成功率和倒切效率。成功率和倒切效率。

【技术实现步骤摘要】
一种样品旋转系统及方法


[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种样品旋转系统及方法。

技术介绍

[0002]目前，在半导体制造
中，对半导体器件内部进行分析时，需要制备样品，并配置透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)，以观察样品内部微观结构，实现样品的测试和分析。
[0003]对样品切片进行观察测试时，TEM采用的是双聚焦式离子显微镜(Dual beam FIB)。若样品中同一个表面存在高低不一或者截面上物种原子序大小差异较大时，会引发窗帘效应(curtaining effect)，进而影响测试结果的准确性。

技术实现思路

[0004]以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0005]本公开提供一种样品旋转系统及方法。
[0006]本公开的第一方面提供一种样品旋转系统，其包括：
[0007]旋转装置，所述旋转装置包括：
[0008]第一载体，与样品连接；
[0009]驱动部，与所述第一载体连接，所述驱动部被设置为驱动所述第一载体转动，所述第一载体带动所述样品由初始位置旋转至目标位置；
[0010]采集装置，所述采集装置被设置为采集所述样品的旋转状态；
[0011]控制单元，所述控制单元与所述驱动部电连接，所述控制单元被设置为控制所述驱动部运转。
[0012]本公开的第二方面提供一种样品旋转方法，所述方法包括：
[0013]控制第一载体接收样品；
[0014]驱动所述第一载体转动，使所述第一载体带动所述样品由初始位置旋转至目标位置；
[0015]采集所述样品的旋转状态；
[0016]根据所述样品的旋转状态，以确定所述样品是否旋转至所述目标位置。
[0017]本公开实施例所提供的样品旋转系统及方法，样品旋转系统内，驱动部带动第一载体转动，第一载体带动样品旋转至目标位置，完成了样品的快速翻转，节省时间。且将样品旋转至目标位置，便于倒切工艺的进行，有效提升倒切成功率和倒切效率。
[0018]在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。
附图说明
[0019]并入到说明书中并且构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且与
描述一起用于解释本公开实施例的原理。在这些附图中，类似的附图标记用于表示类似的要素。下面描述中的附图是本公开的一些实施例，而不是全部实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是根据一示例性实施例示出的一种旋转装置的结构示意图。
[0021]图2是根据一示例性实施例示出的一种限位部的结构示意图。
[0022]图3是根据一示例性实施例示出的一种参照体的结构示意图。
[0023]图4是根据一示例性实施例示出的一种参照单元的结构示意图。
[0024]图5是根据一示例性实施例示出的一种样品旋转系统的结构示意图。
[0025]图6是根据一示例性实施例示出的一种样品旋转方法的流程图。
[0026]图7是根据一示例性实施例示出的一种样品旋转方法的流程图。
[0027]图8是根据一示例性实施例示出的一种样品旋转方法的流程图。
[0028]图9是根据一示例性实施例示出的一种样品旋转方法的流程图。
[0029]图10是根据一示例性实施例示出的一种样品旋转方法的流程图。
[0030]图11是根据一示例性实施例示出的一种计算机设备的框图。
[0031]附图标记：
[0032]1、旋转装置；
[0033]11、第一载体；12、驱动部；13、采集装置；14、控制单元；15、载台；
[0034]16、限位部；161、第一侧面；162、第二侧面；163、贯穿通孔；
[0035]2、参照体；3、参照单元；
[0036]4、传送机构；5、第二载体；6、机台。
具体实施方式
[0037]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
[0038]现有技术中，样品的厚度影响TEM下样品测试的成像质量，合适的样品厚度，可以获得满意的TEM观察效果。
[0039]一示例性地，将样品粘接于基板，并将基板研磨去除后，进行样品制备。该种方式耗时且无法定点切割。
[0040]另一示例性地，采用正切的方式，以对样品进行处理，以获得具有较大面积的观察区域。但是，该种方式耗时且成功率低。正切处理后，样品下方的结构由于窗帘效应的存在，样品下方的结构依然不能进行有效观察，无法获得准确的观察结果。
[0041]本公开提供了一种样品旋转系统，该样品旋转系统包括旋转装置，旋转装置包括第一载体、驱动部、采集装置和控制单元。第一载体与样品连接，驱动部与第一载体连接，驱动部被设置为驱动第一载体转动，第一载体带动样品由初始位置旋转至目标位置，采集装置被设置为采集样品的旋转状态。控制单元与驱动部电连接，控制单元被设置为控制驱动部运转。本公开中的驱动部带动第一载体转动，第一载体带动样品旋转至目标位置，完成了
样品的快速翻转，节省时间。且将样品旋转至目标位置，便于倒切工艺的进行，有效提升倒切成功率和倒切效率。
[0042]如图1所示，图1示出了根据本公开一示例性的实施例提供的旋转装置的示意图。
[0043]一种样品旋转系统包括旋转装置1，旋转装置1包括第一载体11、驱动部12、采集装置13和控制单元14(参照图5所示)。
[0044]第一载体11与样品连接，样品可以是硅基板，安装状态下，以样品待观察的一侧朝下为例。第一载体11可以是第一探针，第一探针可以由钨材料制成，使得第一载体11具有硬度高、耐磨、强度和韧性较好、耐热和耐腐蚀等特点。
[0045]第一载体11的自由端部与样品粘接连接，自由端部呈尖端状，第一载体11可以采用沉积工艺手段，以实现与样品的粘接。
[0046]驱动部12与第一载体11连接，第一载体11的固定端部安装于驱动部12。驱动部12被设置为驱动第一载体11转动，第一载体11带动样品由初始位置旋转至目标位置，使样品待观察的一侧朝上，以便于对样品进行倒切。倒切后的样品具有较大的观察区域，满足观察测试的基本需求，便于对样品进行局部观察。
[0047]采集装置13被设置为采集样品的旋转状态，确定样品的当前位置是否为目标位置，避免样品旋转出现偏差，影响倒切时的精准度。若是样品未旋转至目标位置，可以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品旋转系统，其特征在于，所述样品旋转系统包括旋转装置，所述旋转装置包括：第一载体，与样品连接；驱动部，与所述第一载体连接，所述驱动部被设置为驱动所述第一载体转动，所述第一载体带动所述样品由初始位置旋转至目标位置；采集装置，所述采集装置被设置为采集所述样品的旋转状态；控制单元，所述控制单元与所述驱动部电连接，所述控制单元被设置为控制所述驱动部运转。2.根据权利要求1所述的样品旋转系统，其特征在于，所述初始位置与所述目标位置之间具有预设夹角，所述预设夹角为0
°
至180
°
中的任意角度。3.根据权利要求1所述的样品旋转系统，其特征在于，所述旋转装置还包括载台，所述驱动部安装于所述载台，所述第一载体安装于所述载台，所述第一载体的固定端部与所述驱动部连接。4.根据权利要求3所述的样品旋转系统，其特征在于，所述旋转装置还包括与所述载台固定连接的限位部，所述驱动部通过所述限位部安装于所述载台，所述第一载体的所述固定端部穿过所述限位部与所述驱动部连接。5.根据权利要求1所述的样品旋转系统，其特征在于，所述样品旋转系统还包括处理装置，所述处理装置分别与所述控制单元和所述采集装置电连接，所述处理装置被设置为与所述采集装置通信连接。6.根据权利要求5所述的样品旋转系统，其特征在于，所述采集装置包括图像采集单元，所述图像采集单元与所述处理装置电连接，所述图像采集单元被设置为采集所述样品所处位置的图形信息。7.根据权利要求6所述的样品旋转系统，其特征在于，所述图像采集单元包括摄像模组。8.根据权利要求6所述的样品旋转系统，其特征在于，所述样品旋转系统还包括参照体，所述参照体设置于所述目标位置，所述第一载体设置为相对所述参照体运动；其中，所述图像采集单元采集所述样品和所述参照体之间的相对位置的图形信息。9.根据权利要求6所述的样品旋转系统，其特征在于，所述样品旋转系统还包括参照单元，所述参照单元与所述处理装置通信连接，所述参照单元包括多个参考标识点。10.根据权利要求5所述的样品旋转系统，其特征在于，所述样品旋转系统还包括机台和传送机构，所述传送机构安装于所述机台，所述传送机构与所述控制单元电连接；所述控制单元被设置为驱动所述传送机构，所述传送机构带动所述旋转装置移动至所述机台的预定位置。11.根据权利要求10所述的样品旋转系统，其特征在于，所述样品旋转系统还包括第二载体，所述第二载体安装于所述机台；所述第二载体被设置为连接所述样品，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱国容，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：